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对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 @v}B6j b; F,GN[f- @)>D))+ f`8OM}un& 设计任务 F(
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dxY 1级参数优化 .}k(L4T|= QN>7~=` `e]6#iJ^ (>=7ng^ 结果-容差分析 _1*7Z=| Olfn 2 $ !D* < R0;efD 结果-容差分析 _Cy:]2o U{~SXk'2+ %d m-?` Eq^uKi VirtualLab Fusion一瞥 mmEp'E |!H?+Jj: pilh@#_h =s}Xy_+: VirtualLab Fusion中的工作流程
sM\lO 8ga_pNe 构建光栅结构 _P,^_%}V06 −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] s$DrR
−倾斜光栅高级设定[用例] 9B dt (}0A •光栅衍射效率分析 JI|6B −光栅阶序分析器[用例] S2C]?6cTq •使用参数优化进行光栅参数优化 Jqr)V2Y •使用参数运行的容差分析 1%J.WH6eQ )9=(|Lp RGD]8mw V&Mf:@y VirtualLab Fusion技术 ;`v% sx# _7kM]">j P20|RvE ,>LRa
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