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对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 9'Cu9nR EL^j}P
<0btwsv} E0*62OI~O 设计任务 U:q4OtiP h )% e
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Th*a VirtualLab Fusion中的工作流程 &\W5|*`x- bW2Msv/H 构建光栅结构 Q94p*]W" −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] S #C;"se −倾斜光栅高级设定[用例] +a|u,'u •光栅衍射效率分析 6Tg'9|g −光栅阶序分析器[用例] rU_FRk •使用参数优化进行光栅参数优化 0IxHB|^$ •使用参数运行的容差分析 J:dNV<A^ l:(?|1_ ^:2>I $ 97n,^t2F\ VirtualLab Fusion技术 9=9R"X>L fO}Y$y\q
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