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对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 1C .<@IZ jw(v08u >
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rWG •光栅衍射效率分析 1_GUi −光栅阶序分析器[用例] 9{xP~0g •使用参数优化进行光栅参数优化 *PZN Z{|m •使用参数运行的容差分析 f5d"H6%L {!'AR`| oh#6>| t[iE > VirtualLab Fusion技术 !:rQ@PSy9 3Yg/-=U(
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