切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 《杂散光抑制与评估技术》 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) 光学设计与光学元件
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 先进光刻机曝光系统光学设计 CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 1477阅读
    • 0回复

    [技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    7377
    光币
    31026
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-30
    对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 BiZYGq  
    JQW7y!Z  
    EV;"]lC9  
     d^"|ESQEU  
    设计任务 m,F4N$  
     p.,`3"C1  
     C @P$RVS  
    V]Uc@7S/  
    1级参数优化 {H 3wL  
    xg;F};}5$  
     %V(U]sbV  
    i{r[zA]$  
    结果-容差分析 HLqDI lL  
    <co:z<^lqu  
     W^eQ}A+Z  
    $`L |  
    结果-容差分析 Seq ^o=  
    )1<GSr9  
     '"6*C*XS  
    1=^|  
    VirtualLab Fusion一瞥 w=~X6[+3  
    CH6;jo]  
     8w~X4A,  
    ]hbrzv o  
    VirtualLab Fusion中的工作流程 t ;y@;?~  
    MQX9BJ%  
    构建光栅结构 `mquGk|)  
    −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] zGP@!R`_  
    −倾斜光栅高级设定[用例] %htwq]rZd  
    •光栅衍射效率分析 jTqE V(  
    −光栅阶序分析器[用例] *(sv5c!0M8  
    •使用参数优化进行光栅参数优化 ? ~oc4J*>(  
    •使用参数运行的容差分析     1.nYT*  
    j% '~l#nw  
    JRDIGS_~  
    $;)A:*e  
    VirtualLab Fusion技术 Zy>y7O(,  
    ~hT(uxU/  
     BD mF+  
    =b Q\BY#  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表