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对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 kA(q-Re$B* <P<^,aC/j
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P;!4 VK m1lfC VirtualLab Fusion一瞥 d<l-Ldle blA]z!FU
2F#R;B#2 B^G{k3]t VirtualLab Fusion中的工作流程 vH^^QI:em #]5|Qhrr+ 构建光栅结构 Ig6>+Mw −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] i iZK^/P$ −倾斜光栅高级设定[用例] P=9Zm •光栅衍射效率分析 ^#L?HIM −光栅阶序分析器[用例] n"{oj7E0a •使用参数优化进行光栅参数优化 c~UYs\ •使用参数运行的容差分析 -/#tQ~{gs o$r]Z1 ywV8s|o #Rdq^TGMi; VirtualLab Fusion技术 ~ ]q^Akq ;{~F7:i
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