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对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 }d2]QD#O ?]}1FP
iWu$$IV?- k,S'i#4q4 设计任务 H4 }^6><V V.kUFTCvf
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F{\MIuoy l|[cA}HtB VirtualLab Fusion一瞥 4f<%<Z /"+n{*9
s4bLL MzRURH, VirtualLab Fusion中的工作流程 4(MZ*6G]? ++-\^'&1 构建光栅结构 #uJGXrGt= −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] zJS,f5L6) −倾斜光栅高级设定[用例] }wrZP}zM> •光栅衍射效率分析 RuDn1h#u{ −光栅阶序分析器[用例] LD5n_W •使用参数优化进行光栅参数优化 mXT{)pU •使用参数运行的容差分析 =jjUwcl dL'hC#!h F MB\$(g QA\eXnR VirtualLab Fusion技术 iIu CXGq>cQ=d
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