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对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 Aj"fkY|Q LUA<N:
R1Q~UX]d= +GNXV-S 设计任务 z+j3j2 2&2t8.<
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X>eFGCz}I g` 41d VirtualLab Fusion一瞥 >2#F5c67 h:r:qk
E&\ 0+-Dw w[/m:R?eX VirtualLab Fusion中的工作流程 ynZfO2kf 3moDu 构建光栅结构 E7@m& R −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] }IV=qW, −倾斜光栅高级设定[用例] Y".4."NX •光栅衍射效率分析 k}e~xbh-y −光栅阶序分析器[用例] ;_A?Zl} •使用参数优化进行光栅参数优化 ,UW!?}@ •使用参数运行的容差分析 6FEIQ#`{ D3C3_
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