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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 s*"Yi~  
    83 O+`f  
    -8j<`(M' 5  
    8VbHZ9Q  
    建模任务 _|VWf8?\  
    {fwA=J9%KS  
    J^}w,r *=  
    概述 i%1ny`Q  
    E5-f{Qc  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 {`2R<O  
    •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 G+k[.  
    $$U Mc-Pq  
    ~hubh!d=  
    z:RclDm  
    光线追迹仿真 XS$5TNI  
    qTbY'V5A  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 l>l)m-;O  
    •单击go! :)!X%2 _  
    •获得了3D光线追迹结果。 mcbr3P  
    m!{}Y]FZn  
    ls5s}X  
    -P|EV|8=  
    光线追迹仿真 Oeua<,]Z~  
    r?{$k3Vl  
    •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 "`b"PQ<x  
    •单击go! q1:Y]Rbe  
    •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 eY3l^Su1  
    HPc7Vo(  
    R|7yhsJq,  
    HK@LA3  
    场追迹仿真 4vri=P 2%  
    h'{}eYb+   
    •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 5F@7A2ZR  
    •单击go! ]1A"l!yf  
    VieX 5  
    |K},f,  
    )&G uZ  
    场追迹仿真(相机探测器) 7qfo%n"  
    6pkZ8Vp:  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 %s.hqr,I  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 MA\^<x_?L}  
    "AN2K  
    g.AMCM?z  
    }E=:k&IDPB  
    场追迹仿真(电磁场探测器) %O 5 k+~9  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 "][MCVYP  
    B{fPj9Y0  
    ]+1?T)<!  
    @"BvyS,p  
    场追迹仿真(电磁场探测器) VE4Z;Dr"  
    1WGcv O)<  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 EJ$-  
    ML6V,V/e  
    ISHNeO8  
    C$X )I~M  
     
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