-
UID：317649
-
- 注册时间2020-06-19
- 最后登录2026-01-14
- 在线时间1914小时
-
-
访问TA的空间加好友用道具
|
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 kfMhw M8kP
Je# !Wd
sBP}n.#$
j!zA+hF ( 建模任务 ]dP Vtk &\;<t, 3A~  2-vJ v+- 概述
'O.+6`& y-w2O] •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 `ir&]jh.A •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 *'U hlFed U0NOU#
 >.DF"]XM
F^ I\X 光线追迹仿真 1*C:h g@ JP{UgcaF •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 9
9Ba{qj •单击go！ cZNi~ •获得了3D光线追迹结果。 0lX) C l ?8 SK\{9r6
 k_,MoDz *) MX%`Z} 光线追迹仿真 >Y 7r \ j y7 •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 %xf)m[JU= •单击go！ gKmX^A5< •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 -'I _*fu 7m@
)Lv
 q>^h oW2$C VLf
g[*k 场追迹仿真 T#\p%w9d <A)+|Y"^h6 •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。
*f79=x •单击go！ LYp'vZ! Uh>.v |P6  ! mm5I#s
y)6,0K {k 场追迹仿真（相机探测器） ?Q@L-H` J#0GlK@" •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 N*~_\x •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 Z`rK\Bc JxjP@nr
 !tI=`Ml[ A^pu 场追迹仿真（电磁场探测器） d 4%dIR) •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 4py(R-8\ Y5HfN[u^7  I[ai:
HeCcF+ 场追迹仿真（电磁场探测器） 0Qm"n6NQ
fCB:733H •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 CoJ55TAW xS"$g9o0
 WM/# . 8 4z6zFv?Q
|
