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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 Z/ Tm)Xd
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 l$hJ E;n
_GKB6e% 建模任务 3/#:~a9Q D3c2^r $Z  2r%lA\,h$ 概述 <94_ @3 6DZ),F,M •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 Od?qz1 •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 oDcKtB+2 *G UAO){'
 ^;c 16 +w 8R!jdA 光线追迹仿真 CU7F5@+ QKE9R-K TE •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 R<x'l=,D( •单击go！ -TZ p
FT" •获得了3D光线追迹结果。 2Dd|~{% 0R0{t=VJZ
 a=TG[* s wZh:F
! 光线追迹仿真 3Oa*%kP+ 1&:@ •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ?m
c%.Bt •单击go！ gDIBnH •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 CB~Q%QLG tD Dy]==E
 hAj1{pA, 4Z*U}w) 场追迹仿真 TPE:e)GO M/z}p •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 BGr.yEy •单击go！ _p?s9& ^2 ]LV6I  { BEo &
,i.%nZw\ 场追迹仿真（相机探测器） B cj/y4" dO7;}>F$n •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 IHC1G1KW=A •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 S- #q~X!yJ YwcPX `eg
 D7"p}PD>~ /=?ETth @ 场追迹仿真（电磁场探测器） YK{a •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Iak0 [6Ey gK|R =J  f f 7 (
@DC)]C2 场追迹仿真（电磁场探测器） Y RlDX:oX~
UofTll) •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Y\2|x*KwvF V^Rkt%JY
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