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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 '-"/ =j&d[  
    }`,t$NV`  
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     5&q8g;XiEM  
    建模任务 Ju :CMkv  
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    }` != m  
    概述 86mp=6@  
    9)gC6 IiW  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 !qN||m CH  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 .P MZX%*v  
    IuRmEL_Q_  
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    cQ" ~\  
    光线追迹仿真 52,m:EhL  
    7El[ >  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 /(BMG/Tb  
    •单击go！ 2h=!k|6  
    •获得了3D光线追迹结果。  OP x`u  
    }=8B*  
     66I"=:  
    Ts ^"xlK  
    光线追迹仿真 n_(/JE>  
    ;F~LqC$  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Bxfc}vC.  
    •单击go！ :9_L6  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 E8n)}[k!0  
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     j;fpQ_KL  
    p-zXp K"  
    场追迹仿真 u( wGl_  
    e*;c(3>(  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 B{C??g8/  
    •单击go！ QZ:8+[oy  
    *i- _6s  
    $} =krz:r  
     %JHGiCv|  
    场追迹仿真（相机探测器） ?$6Y2  
    B,@c; K  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 N%"Y  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 YJ;j x0  
    L_+k12lm  
     (jFGa2{  
    v%s`~~u%^  
    场追迹仿真（电磁场探测器） I]&#Dl/  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 LjUy*mxw  
    aP8H`^DFX>  
    Rx);7j/5  
     dUF&."pW e  
    场追迹仿真（电磁场探测器） l-s!A(l  
     gUpb4uN  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 QzzW x2  
    sZL#xZ5 Df  
     u#V5?i  
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