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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 $ gS>FJ  
    nc|p)  
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     K(,F~ .<  
    建模任务 |_@>*Vmg  
    'AH0ww_)n  
    @r/n F5  
    概述 ]-/VHh  
    +!.^zp21  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 Dwfu.ZJa  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 b!5~7Ub.No  
    xYpd: Sm  
     dVT$VQg  
    9m~p0ILh  
    光线追迹仿真 `&ckZiq  
    U#WF ;q0L  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 P?of<i2E  
    •单击go！ ^sLdAC  
    •获得了3D光线追迹结果。 x-&@wMqkc  
    LuvY<~u  
     lchPpm9  
    CN8Y\<Ar  
    光线追迹仿真 tG22#F`  
    ={@6{-tl  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 JO6)-U$7UG  
    •单击go！ +}os&[S  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 K F!Yf\  
    ,M ^<CJ  
     PP33i@G  
    R)s:rJQ=p  
    场追迹仿真 K} X&AJ5A  
    ML56k~"BL  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 Ls+2Zbh  
    •单击go！ "n5N[1b k  
    dn$!&  
    y,,dCca  
     EaY?aAuS:  
    场追迹仿真（相机探测器） >$/>#e~  
    ]Wlco  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 eF-."1  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 O:{~urV  
    o~y;j75{.*  
     =wV<hg)C  
    wIaony  
    场追迹仿真（电磁场探测器） }-2 2XYh  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 h_,i&d@(  
    0gP}zM73  
    bI9~jWgGp  
     LG|fq/;  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ~/iKh1 1  
     a P@N)"  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Ww+IWW@  
    ZdWm:(nkU  
     T<Z &kYU:R  
    paE[rS\  
     
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