切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 光学设计仿真实验指导 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) 光学设计与光学元件
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 现代光学设计及应用(Zemax) CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 977阅读
    • 0回复

    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    6655
    光币
    27424
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 V+u0J"/8  
    [8b{Yba z  
    98|1K>C  
     `)i4ZmE|  
    建模任务 !}d_$U$  
    ;F2"gTQS  
    r-hb]!t  
    概述 JFRbW Q0  
    C]zG@O !  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 vQ5rhRG)E  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 `'rvDaP  
    -ADb5-px  
     ! 4 "$O@U4  
    ?;rRR48T9E  
    光线追迹仿真 Mf9x=K9  
    < ?rdhx  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 t4zKI~cO  
    •单击go！ s_!F`[  
    •获得了3D光线追迹结果。 :K*/  
    9KL)5_6 M  
     ` b)i;m  
    C61E=$  
    光线追迹仿真 oJc v D  
    g s%[Cv  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 u~'j?K.^  
    •单击go！ ~. 5[  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 5n=~l[O  
    SQdK`]4  
     /p{$HkVw  
    qwuA[QkPi  
    场追迹仿真 &7w*=f8I  
    |x ir93|  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 AHplvksb  
    •单击go！ _]kw |[)  
    x c?=fv  
    W> $mU&ew[  
     K!tM "`a  
    场追迹仿真（相机探测器） *kNXju  
    )5<c8lzp  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 0fw>/"v  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 Cyp%E5b7  
    gGbJk&E  
     :W[d&e  
    XTq+  9  
    场追迹仿真（电磁场探测器） *5" )3\/  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 5Noy~;  
    <xD6}h/  
    nhB.>ReAi  
     )Q~K\bJf  
    场追迹仿真（电磁场探测器） \~:_ h#bW  
     ?fvK<0S`  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Gr|102  
    j'LO '&sQ(  
     zRA,Yi4;+  
    6M6r&,yRu  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表