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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 0Xw$l3@N^  
    +L,V_z  
    gJZH??b  
     $VxKv7:  
    建模任务 i< b-$9  
    Pxvf"SXX  
    0#S#v2r5  
    概述 @dyh: 2!  
    Bc*FH>E  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 )vsX (/WU  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 }1#prQ0F  
    bk=ee7E7>  
     xjy(f~'  
    rk-GQ#SKU  
    光线追迹仿真 FPE%h =sw  
    w$DHMpW'  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 KDS} "/  
    •单击go！ *6bO2LO"  
    •获得了3D光线追迹结果。 ;EB^1*A Ew  
    F;L8FL-  
     *N&~Uq^  
    kK|D&Xy`  
    光线追迹仿真 h5Ee*D e  
    H:F'5Zt  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 bP Q=88*  
    •单击go！ ]SmN}Iq1  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 +,1 Ea )  
    cSTF$62E  
     #M)+sK$H%f  
    .>a [  
    场追迹仿真 NZ"nG<;5  
    jx{wOb~oO)  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 0Lf4 ^9N  
    •单击go！ VTa%  
    2e9.U/9  
    +# 3e<+!F  
     PbnAY{J  
    场追迹仿真（相机探测器） ph$ vP;}  
    FuM:~jv  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 v1rTl5H  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 L|L;<  
    E)`:sSd9  
     yv|`A2@9  
    #U(kK(uO  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 1\a.o[g3e  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Ew JNpecX  
    <L+1 &H  
    (6Ciqf8  
     Z(XohWe2  
    场追迹仿真（电磁场探测器） _G&gF .|  
     9:*[Q"v  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 IZLBv2m  
    nMK$&h,{  
     >6R3KJe  
    uBl&{$<  
     
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