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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 k B>F(^  
    ;_(f(8BO   
    2; ^ME\  
     \nZB@u;S  
    建模任务 {zAI-?#*u  
    oa:YAq T  
    [HQ)4xG  
    概述 3{3@>8{w  
    w95M B*N  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 m]2xOR_  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 <PpvVDy3  
    ?A3L8^tR  
     l\s!A&L  
    X@`a_XAfd  
    光线追迹仿真 p' >i3T(  
    q ;'f3Y  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 g5B TZZ  
    •单击go！ !y _{mE?V(  
    •获得了3D光线追迹结果。 5YD~l(,S1]  
    ~w>h#{RB  
     ;>?h/tS6  
    o&q>[c  
    光线追迹仿真 {]^Ixm-,f  
    ss)x fG  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 h+ [6i{  
    •单击go！ |ri)-Bk ,  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 WBE>0L  
    T^}UE<  
     MoIh =rw  
    ~sk p}g]  
    场追迹仿真 .Fn|Okn^gr  
    <>3)S`C`p  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 F[jE#M=k  
    •单击go！ 7QsD"rL  
    TQ4@|S:OF  
    (9'^T.J  
     zU?O)w1'  
    场追迹仿真（相机探测器） WUYI1Ij;  
    CFaY=Cy  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 !$Nj!  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 (&:gD4.  
    ~Bzzu % S  
     IP62|~Ap  
    3"y 6|e/5  
    场追迹仿真（电磁场探测器） xl\Kj2^  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 p-[WpY3  
    75^6?#GS  
    c5YPV"X  
     &3Zq1o  
    场追迹仿真（电磁场探测器） |9I)YD  
     >d/H4;8  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 8+F5n!  
    [qYr~:`-[  
     6CY&pbR  
    "7B}hZ^)W  
     
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