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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 6Db1mvSe  
    |&`NB|  
    \-a^8{.^E  
     "*CQ<@+  
    建模任务 N%v}$58Z  
    Q#Q]xJH  
    =o^oMn  
    概述 |&eZ[Sy(=l  
    jku_0Q0*?  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 57k@] 3 4  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。  ;)s$Et%  
    ,+-l1GpL  
     #n2'N^t  
    /k qW  
    光线追迹仿真 3 GmU$w  
    6S)$wj*w  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ~B;kFdcVXn  
    •单击go！ JV(qTb W  
    •获得了3D光线追迹结果。 +dq&9N/  
    q4'szDYO2  
     3`uv/O2~i  
    3/>T/To&2  
    光线追迹仿真 6Qne rd%Ec  
    CG*eo!Nw  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 kW0|\  
    •单击go！ 92!1I$zi  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 $"1Unu&P  
    /yPFts_q  
     @8E mY,{;  
    h}r*   
    场追迹仿真 0h/gqlTK1  
    `T7gfb%1-3  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 R_ymTB}<t(  
    •单击go！ A:PQIcR;V  
    ^ZV1Ev8T6  
    MkgeECMf  
     ,e$]jC<sv2  
    场追迹仿真（相机探测器） &6<>hqR^  
    t0h @i`  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 qp3J/(F  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 RnC96"";R.  
    z(b0U6)qQ  
     AdBB#zd  
    8oiO:lyLSt  
    场追迹仿真（电磁场探测器） >]K:lJ]l  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 {:BAh 5e|  
    XgL-t~_  
    ]D_"tQ?i  
     UJ0fYTeuI  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ]S;^QZ  
     OXcQMVa 6  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 :EJ8^'0Q  
    29{Ep   
     S.&=>   
    x&}pM}ea  
     
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