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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 0}4FwcCr\  
    [g Y.h/  
    "k> ;K,:  
     b!l/O2 G  
    建模任务 \L5h&  
    G5Z_[Q ~z  
    b&g`AnYT  
    概述 @ C"w 1}  
    #U ?=D/  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 wK*b2r}0/  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ;n2b$MB?nM  
    L9bIdiB7  
     )BX-Y@fpA  
    \f-HfYG  
    光线追迹仿真 oc0z1u  
    41s[p56+@  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 7a#zr_r  
    •单击go！ :yS Q[AJ"  
    •获得了3D光线追迹结果。 N1l&$#Fr!s  
    /OsTZ"*.2/  
     I]jK]]@  
    <1XJa2  
    光线追迹仿真 y0b FzR9  
    U66}nN9  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Ynx.$$`$=  
    •单击go！ hcJny  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 _ ATIV  
    15U[F0b  
     ?YA5g' l  
    t=6Wk4  
    场追迹仿真 !vwx0  
    'boAv%1_sa  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 jPyhn8Vw  
    •单击go！ oP`yBX  
    YA'_Ba(v)  
    %>)&QZig/  
     1Zi(5S)  
    场追迹仿真（相机探测器） h_?#.z0ih;  
    d\ {a&\v  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 +f]\>{o4  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 h8-'I= ~  
    i#1~<U  
     3!<} -sW4  
    =F>nqklc  
    场追迹仿真（电磁场探测器） :eR[lR^4*  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 \[5mBuk  
    -7\6j#;l  
    uL[%R2  
     7iM;X2=7}  
    场追迹仿真（电磁场探测器） Z+J;nl  
     C~([aH@-I  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 wG2-,\:  
    S&w(H'4N  
     D-!#TN`Y  
    AcCM W@e  
     
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