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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 @xSS`&b  
    k2 k/v[60  
    Ur?a%]  
     J --9VlC'  
    建模任务 w<-CKM3qe  
    /3'-+bp^=  
    G/N'8Q)  
    概述 wEQV"I  
    ]*ZL>fuD|  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 J@p[v3W  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 iNd 8M V  
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     k3}ymhUf  
    M:Xswwq  
    光线追迹仿真 #f\U3p  
    pWwaN4  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 $-jj%x\}  
    •单击go！ ]\ sBl  
    •获得了3D光线追迹结果。 Ia0.I " ,  
    T$0//7$')  
     6@ ToPbj4  
    6b6}HO  
    光线追迹仿真 7W5FHZd'  
    v&xk?F?WU,  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 a}hpcr({?  
    •单击go！ az?B'|VX  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 Y>R|Uf.o z  
    F1w~f <  
     Z[ZqQ` 7N  
    b H?dyS6Bx  
    场追迹仿真 &r/a\t,8n  
    ;oH%d;H  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 4g$mz:vo  
    •单击go！ azS"*#r6}  
    {%N*AxkvId  
    e~i ?E  
     "  F~uTo  
    场追迹仿真（相机探测器） -KCm#!  
    &owBmpz  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 dAm( uJ  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 FxTOc@<  
    V[HHP_  
     ]+ XgH #I  
    Jc-0.^]E}  
    场追迹仿真（电磁场探测器） C-@@`EP  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 df&d+jY  
    IgG@v9'  
    N$6Rg1  
     >]&LbUW+  
    场追迹仿真（电磁场探测器） g(;t,Vy,I  
     )DI/y1  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 #T99p+O  
    %K\_gR}V  
     PHyS^J`  
    X%h1r`h&  
     
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