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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 1&P<  
    y| Ir._bt  
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    建模任务 1?| f lK  
    *FmTy|  
    =L C:SFzF  
    概述 Y;)dct  
    %/>Y/!;  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 U-:ieao@  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 Z*])6=2Q  
    ?_ dIIQ  
     cetvQAGXY  
    on8WQf'A#  
    光线追迹仿真 l/Vo-#  
    =b[_@zq]  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 =+x yI  
    •单击go！ ]r-C1bKD`  
    •获得了3D光线追迹结果。 1Jj Y!  
    jZ%TJ0(H  
     5l,ZoB8  
    Nr0 (E   
    光线追迹仿真 sg8/#_S1i  
    ]IL;`>Gp  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 meCC?YAB  
    •单击go！ Z(ZiFPx2Z  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 7#~+@'Oe  
    Q43|U4a  
     @?[1_g_'P  
    $ -c!W!H  
    场追迹仿真 t!2(7=P30(  
    Dk='+\  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 )NO<s0?&  
    •单击go！ I"1;|`L~:  
    q|%(3,)ig  
    uK'&Dam  
     >5wx+n)/)  
    场追迹仿真（相机探测器） 6&!&\  
    n3lE, b  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 .7 asW(  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 5'Q|EIL  
    )~V4+*<  
     x)UwV  
    siTX_`0  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ^T.E+2=>z  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 *FfMI  
    U;n*j3wT  
    ,KJw|x4}\  
     KK,Z"){  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 1.D-FPK  
     I2 a6w<b  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 \j2;4O?`  
    '&99?s`u  
     TM8 =U-A  
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