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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 C\Z5%2<Z  
    -p%cw0*Y]C  
    #3tC"2MZ  
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    建模任务 Al]*iw{  
    cltx(C>   
    {6%-/$LX  
    概述 wz{c;v\J^  
    ;.<HpDfG_  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 C9_[ke[1D  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 R\Ckk;<$  
    9Fw NX  
     K"hnGYt?  
    E^A!k=>  
    光线追迹仿真 ]826kpq_  
    =p7id5"  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 )| |CU]"b?  
    •单击go！ J qmL|S)  
    •获得了3D光线追迹结果。 ;JMmr-@  
    k2.k}?w!JO  
     :`lP+y?a1  
    ;)SWwhQ  
    光线追迹仿真 +md"X@k5*  
    vR>GE? s6  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 o q6^  
    •单击go！ h(GSM'v  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 .XVL JJ#  
    JStEOQF4  
     g_! xD;0  
    GctV  
    场追迹仿真 ep0dT3&  
    lgD %  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 0P!Fci/t  
    •单击go！ Ino]::ZJ/  
    HV7f%U  
    rQ6>*0xL_  
     G1*,~1i  
    场追迹仿真（相机探测器） _y sakn  
    g$vOWSI +  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 \rO!lvX  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ori[[~OyB  
    ~=t9-AF-  
     a#x@ e?GvI  
    Ab:ah 7!  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ;j[:tt\k  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 g[ uf e<  
    &}|`h8JA]K  
    }f% Qk0^  
     QAMcI:5  
    场追迹仿真（电磁场探测器） _meW9)B  
     e.#,9  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ,7DyTeMpN  
    D~|q^Ms,%  
     ?AQA>D#W  
    #yU"n-eLR  
     
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