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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 ?/.])'&b  
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    建模任务 & DP"RWT/  
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    概述 e|tx`yA  
    $n<1D -0!r  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 U^_\V BAk  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 <WUgH6"  
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     n*[ZS[I  
    ;mpYcpI  
    光线追迹仿真 n/v.U,f&l@  
    Yi9Y`~J  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 dk7x<$h-h0  
    •单击go！ ;Rv WF )  
    •获得了3D光线追迹结果。 ,a>Dv@$Y  
    6w%n$tiX  
     vAM1|,U  
    LuZlGm  
    光线追迹仿真 g[~{iu_$d  
    #w''WOk@ZG  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 "M:ui0YP  
    •单击go！ M[qhy.  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 @x1cV_s[  
    9,8/DW.K  
     kI"9T`owR  
    y{M7kYWtHV  
    场追迹仿真 -3ePCAtXbe  
    s17)zi,?4  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 huZ5?'/Fg  
    •单击go！ u.A}&'H  
    (&.T  
    ;8<HB1 &,  
     ?n# $y@U  
    场追迹仿真（相机探测器） f%PLR9Nh5@  
    (g@X.*c8  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 s/ABT.ZO  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 GJWGT`"  
    e;v"d!H/  
     %e[E@H7  
    Bvvja C  
    场追迹仿真（电磁场探测器） `Hw][qy#  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 -~c-mt  
    Z'A 3\f   
    &yP|t":HWX  
     *ELU">!}G  
    场追迹仿真（电磁场探测器） %KVmpWku  
     V]Te_ >E;w  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 (1cB Tf  
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