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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 _nz_.w0H9  
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     E71H=C 4  
    建模任务 iu<Tv,{8  
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    X4\T=Q?uLx  
    概述 aUa+]H[  
    JT<JS6vw#  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ~eP~c"L  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 U:7w8$_  
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    JDa_;bqL  
    光线追迹仿真 on8$Kc  
    1jKj' 7/K  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 OB=bRLd.IR  
    •单击go！ CTg79 ITYk  
    •获得了3D光线追迹结果。 *uK!w(;2  
    =ePwGm1:c  
     !Y|xu07  
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    光线追迹仿真 X xwcvE  
    .1^ Kk3  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 |*ZM{$  
    •单击go！ ]==7P;_-  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 9k62_]w@6  
    < <0[PJ  
     Z?[ R;V1j  
    KMfIp:~  
    场追迹仿真 @Kt!uKrI  
    l_04b];  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 m7A3i<6p  
    •单击go！ U . <c#S  
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    8* m,#   
     O:,Gmft+  
    场追迹仿真（相机探测器） t vW0 W  
    JY:Fu  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ".AW   
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 rKOa9M  
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     )2d1@]6#  
    )9/iH(  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 753gcY#i  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 07(LLhk@d  
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    场追迹仿真（电磁场探测器） 7r(c@4yPI  
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    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 X H!n{Of  
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