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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 )2J#pz?.  
    GK&R.R]  
    Ryn@">sVI  
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    建模任务 SDO~g~NTp  
    BJjxy0+  
    R^rA.7T  
    概述 n6{nx[%7N7  
    /Q'O]h0a  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 :AyZe7:(D  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 rLcXo %w  
    \b?O+;5Cj  
     Fl++rUT  
    |`Be(  
    光线追迹仿真 S9 @*g3  
    wD SSgk  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 e r"gPW  
    •单击go！ wV'_{ /WM  
    •获得了3D光线追迹结果。 F8B:P7I  
    ~TjTd  
     F2v9 XMi  
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    光线追迹仿真 cyWDtq  
    \8`^QgV`@  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 I bE Nq  
    •单击go！ :U-yO 9!j  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 )T@+"Pw8t  
    M B,Z4 ^  
     }te dh  
    WiFZY*iu5  
    场追迹仿真 _RX*Ps=  
    b2YOnV  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 uQkQ#'e|  
    •单击go！ @4jPaqa(  
    XNkQ0o0  
    >u=nGeO  
     A{Q~@1  
    场追迹仿真（相机探测器） eb<' >a  
    HA. O"A8`  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 / !A&z4;D  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 (ce"ED`1  
    s4>xh=PoJ  
     ;T WYO  
    62#8c~ dL  
    场追迹仿真（电磁场探测器） XU$\.g p-  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Y'o.`':\~  
    'deqF|Iox  
    :#UN^"(m}  
     66cPoG  
    场追迹仿真（电磁场探测器） K|.!)L  
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    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 5<?/M<i  
    G)\6W#de4  
     el,n5O Z7  
    RQ[6svfP  
     
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