切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 光学系统设计：理论、仿真与系统检测 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) ZEMAX光学系统设计实战
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 光学设计与光学元件 CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    • 867阅读
    • 0回复

    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    6421
    光币
    26250
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 ,IHb+K  
    TQ@d~GR  
    D=r))  
     YT#3n  
    建模任务 [bz T& o  
    <|B1wa:|  
    C.Uju`3  
    概述 RFaSwf,5n  
    UUe#{6Jx_  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 XGrue6 ya  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 N)2f7j4C &  
    -~{c u47_  
     'tgKe!-@  
    ?~e3 &ux  
    光线追迹仿真 u{<"NR h  
    }_'IE1bA  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 (!L5-8O  
    •单击go！ :mppv8bh  
    •获得了3D光线追迹结果。 Jju#iwb  
    (N-RIk73/O  
     pKUP2m`MW  
    9A'Y4Kg<C  
    光线追迹仿真 g=L]S-e  
    SLL3v,P(7  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 -fI`3#  
    •单击go！ ||7x;2e  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ;bzX% f?|G  
    v X~RP *  
     <W8t|jt  
    ;*TIM%6#  
    场追迹仿真 XN=67f$Hw  
    S0,R_d')  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 $@-P5WcRs  
    •单击go！ %8~Q!=*Iq  
    hXIro  
    %M F;`;1  
     z G }?  
    场追迹仿真（相机探测器） 'NjzgZ~]P  
    JCx WWre  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 5zJj]A  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 kl!wVLE  
    {6;9b-a]  
     #AkV/1Y  
    ^ 2GHe<Y  
    场追迹仿真（电磁场探测器） jdZ~z#`(!:  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 -&x2&WE'  
    P9Yy9_a|x  
    E907fX[R~  
     h` U?1xS  
    场追迹仿真（电磁场探测器） j`'`)3f  
     x5`br.b  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 J?@DGp+t  
    ,j;m!V  
     c .3ZXqpI;  
    ZX!r1*c 6  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表