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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 s${|A =  
    ~a RK=i$F  
    @x4IxGlUs  
     YS|Ve*t(L=  
    建模任务 q<2b,w==  
    ML= :&M!ao  
    HT@/0MF{J  
    概述 0DIXd*oj&  
    "^3pP(8;~  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 Y7L1`<SC  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 @4ECz>Q  
    ^|+;~3<J  
     5N'Z"C0  
    Dg_AoC  
    光线追迹仿真 b+DBz}L4  
    l^"HcP6  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 PL6f**{-  
    •单击go！ d_r1 }+ao  
    •获得了3D光线追迹结果。 <:gNx%R  
    FJYc*l  
     =yy7P[D  
    }0(.HMiGj  
    光线追迹仿真 0**.:K<i  
     E qc,/  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 {WYHT6Z  
    •单击go！ {YoK63b$  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 yo=0Ov  
    CPj8`kl  
     p~!UE/V  
    Sph:OX8  
    场追迹仿真 'K:zW>l  
    ?~_[/  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 &|8R4l C|  
    •单击go！ pMy];9SvW  
    [fjP.kw;J  
    cIJqF.k  
     o7A+O%dX  
    场追迹仿真（相机探测器） 7B"*< %<  
    k9|8@3(h  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 =,4iMENm!  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 =Co[pt  
    1[&V6=n  
     {*jo,<4ee  
    <hA1[S}  
    场追迹仿真（电磁场探测器） {0t-Q k  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 j4fv-{=$  
    /eI]!a  
    m[t4XK  
     HL*Fs /W  
    场追迹仿真（电磁场探测器） NUvHY:  
     :w+2L4lGs  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 4U1!SR]s  
    >Y\$9W=t  
     K~I%"r|l  
    2[; 4D/`*  
     
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