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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 lVgin54Q  
    #=#bv`  
    0iVeM!bM  
     c!]yT0v&s  
    建模任务 [9\Mf4lh#  
    ~{q; - &  
    L\\'n )  
    概述 S y^et  
    wN:vI(C  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 PKYm{wO-  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 2D4c|R@+  
    "O8iO!:  
     `/9&o;qM   
    :+%Yul  
    光线追迹仿真 `$yi18F  
    bRI`ZT0  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 3q.HZfN~  
    •单击go！ #|F5Kh"  
    •获得了3D光线追迹结果。 ? J6\?ct4  
    l|fb;Giq=D  
     dl+:u}9M$  
    =/(R_BFna  
    光线追迹仿真 4\m#:fj %  
    G<`6S5J>hr  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Y 9@ 2d  
    •单击go！ GW0e=Y=LR  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 K.42 VM)F  
    O@-(fyG  
     OK%d1M^8j  
    AhQsv.t   
    场追迹仿真 TCK<IZKLqK  
    T 5>'q;jM  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 =Iy khrS  
    •单击go！ ;:8SN&).  
    ij02J`w:Ra  
    !~te&ccPE  
     {r_x\VC=p  
    场追迹仿真（相机探测器） ||'A9  
    _o{w<b&  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 %h& F  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 bjql<x5d  
    #=czqZw  
     sH :_sOV*  
    ~[:Cl  
    场追迹仿真（电磁场探测器） N==Y]Z$G  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 $8fJDN  
    Qp~3DUM  
    iV.j!H7o  
     7rIEpN>*  
    场追迹仿真（电磁场探测器） "$e p=h+  
     5XinZ~  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 FTcXjWBPF9  
    <O4W!UVg  
     7xCm"jgP  
    im"3n=  
     
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