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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 d`=MgHz  
    1APe=tJ  
    $D~0~gn~  
     ~f&E7su-6+  
    建模任务 1Z/(G1  
    J\} twYty  
    e }?db  
    概述 i(rL|d+'  
    Fj8z  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 xC?6v '  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 Q",t3i4  
    T$)^gHS  
     ,a{P4Bq  
    <[a=ceL]|  
    光线追迹仿真 L~(j3D* 3  
    kf\PioD8  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 r Xt}6[S  
    •单击go！ m^!Z_]A![  
    •获得了3D光线追迹结果。 T8?Ghbn  
    imhwY#D  
     7~G9'P<  
    P8OaoPj  
    光线追迹仿真 hIYNhZv  
    v|)4ocFK  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 "=HA Y  
    •单击go！ @(EAq<5{  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 a Yg6H2Un  
    y>8sZuH0  
     9R!atPz9  
    o)M}!MT  
    场追迹仿真 nI?[rCM  
    W 8<&gh+  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 { T/[cu<  
    •单击go！ d~])K#oJ  
    B-RjMxX4>  
    {LI=:xJJv  
     5ORo3T%  
    场追迹仿真（相机探测器） @Myo'{3vF  
    JMCKcZ%N  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 |MTnH/|  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 Y1 w9y  
    rET\n(AJ  
     aL\PGdgO  
    F>Ah0U0  
    场追迹仿真（电磁场探测器） lf`{zc r:  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 MVpGWTH@F  
    X;+sUj8  
    9Z$"K-G  
     IV~>I-rd  
    场追迹仿真（电磁场探测器） *xAqnk   
     d"1]4.c  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 "m):Y;9iQ?  
    4!{KWL`A  
     -u+vJ6EY  
    DaQ?\uq  
     
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