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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 AA.Ys89V  
    q\_DJ)qpn  
    `:3&@.{T(  
     MA"#rOcP  
    建模任务 qOgtGN}k  
    kYtHX~@  
    \bRy(Z)  
    概述 X#7}c5^Y  
    3FY_A(+  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 Z fqQ {_  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 |Cq8%  
    [yvt1:q  
     OaNc9c"  
    3B -NY Ja  
    光线追迹仿真 -;<>tq'3`  
    kU(kU2u%9  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 26}u4W$  
    •单击go！ :@;6  
    •获得了3D光线追迹结果。 AtT"RG-6  
    59~FpjJ  
     6~3jn+K$1  
    $>(9~Yh0  
    光线追迹仿真 h-,?a_  
    'DeW<Sa~  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 uYabJqV  
    •单击go！ *{Yi}d@h(  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 +/(|?7i@  
    {9Xm<}%u]]  
     MyqiBGTb  
    iA&oLu[y3  
    场追迹仿真 !^]q0x  
    qKA_ A%  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 i<bxc  
    •单击go！ YV4 : 8At1  
    ~@?"' !U  
    Z$1.^H.Db  
     4*H(sq  
    场追迹仿真（相机探测器） ,5=kDw2  
    R~!\ -6%_  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 C)U #T)  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 V*>73I  
    48:liR  
     (;C$gnr.C  
    gu^_iU  
    场追迹仿真（电磁场探测器） :|zp8|  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 m'3OGvd  
    |1lf(\T_  
    xSx&79Ez<*  
     "-28[a3q  
    场追迹仿真（电磁场探测器） *&h6*zP?  
     L!?v BL  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ypgliq(  
    kHGeCJe\{  
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