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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    在线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 hDfsqSK0 /  
    NB>fr#pb  
    ya|7hz{  
     ymzlRs1^Ct  
    建模任务 ,!Q2^R   
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    s K s D  
    概述 1'}~;?_  
     G#K=n  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 :}j{NM#  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 wLNO\JP'  
    o,u-%  
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    CxwZ$0  
    光线追迹仿真 5]gd,&^?>  
    s_VP(Fe@K  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 L%N|8P[  
    •单击go！ ` 8.d  
    •获得了3D光线追迹结果。 uE+]]ir  
    Bm.%bA>  
     O~w&4F;{  
    dRt]9gIsx  
    光线追迹仿真 n Hy|  
    Xgc@cwd  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ,LU/xI0O  
    •单击go！ M2mte#h  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 R~;<}!Gtx  
    $c[8-=  
     >* dqFZF  
    A=E1S{C  
    场追迹仿真 [,$] %|6wt  
    BEN=/ v  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 BPe5c :z  
    •单击go！ L)J0T Sh  
    g/'MECB  
    !{"{(h)+@  
     vt@.fT#e  
    场追迹仿真（相机探测器） Pf-k"7y  
    TU7Qt<  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 hH|3s-o  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 GR Rv0M  
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    场追迹仿真（电磁场探测器） U,~\}$<I  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 z45ImItH  
    ON\_9\kv  
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    场追迹仿真（电磁场探测器） @|idlIey  
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    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 v&D^N9hy9  
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