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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 8HdAFRw  
    s"?3]P  
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     76` .Y  
    建模任务 (_{y B[z>`  
    4nz35BLr  
    uSBa DYg  
    概述 tFl"n;~T  
    sUm'  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 &]-DqK7  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 XBw)H  
    9Lfv^V0  
     Fea(zJ_  
    FNId ;  
    光线追迹仿真 @AuO`I@p=  
    G<;*SYAb  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 uA#;G/$  
    •单击go！ VOh4#%Vj  
    •获得了3D光线追迹结果。 x3eZ^8^1}  
    eQvg7aO;  
     -1@<=jX3_  
    ,wdD8ZT'Ip  
    光线追迹仿真 _oDz-  
    ;P&OX5~V  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Y:)e(c"A  
    •单击go！ *G 9V'9  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 FN) $0  
    U|j`e5)  
     9]o-O]7/  
    ?#Q #u|~  
    场追迹仿真 5d!-G$ @  
    &XUiKnNW  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 [;myHI`tw  
    •单击go！ t.\dpBq  
    &Z|P2dI  
    =zs`#-^8  
     }f7j 8py  
    场追迹仿真（相机探测器） 6/dI6C!  
    DkAAV9*  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 t#eTV@-  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 )TM4R)r%)9  
    QUQ'3  
     "`1bA"E  
    y Fq&8 x<X  
    场追迹仿真（电磁场探测器） WvZ8/T'x  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ^&Y#)II  
    ?p8_AL'RS  
    "i W"NFO  
     ,U dVNA  
    场追迹仿真（电磁场探测器） WQO) =n  
     .y:U&Rw4  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 x `)&J B  
    T:W4$P  
     G[q$QB+  
    5bpEYW+  
     
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