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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 >:%BNeO  
    "w9`cz9a~J  
    !W~QT}  
     &f"T,4Oh  
    建模任务 CG.,/]_  
    UoHd-  
    /22nLc;/Cx  
    概述 7LfcF  
    !3@{U@*Z]  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 cW; H!:&  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 G0Hs,B@5?  
    W tVf wC_  
     2[ksi51y  
    oPsK:GC`U  
    光线追迹仿真 Q,~x#  
    "b`7[;a  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 L:pUvcAc?  
    •单击go！ *,&S',S-  
    •获得了3D光线追迹结果。 O5M2`6|As  
    F5U|9<  
     I>aGp|4  
    %A) 538F  
    光线追迹仿真 IT18v[-G  
    l#$TYJi  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 >azEed<B  
    •单击go！ t!:)L+$3  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 AuXs B  
    (0R2T"/  
     ?!y"OrHg  
    )b0];&hw]  
    场追迹仿真 BPewc9RxV  
    `7\H41%\pp  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 Z9VR]cf?  
    •单击go！ 1x{kl01m%  
    :BD>yOlG  
    1O0X-C,wo$  
     #A )Ab%r8"  
    场追迹仿真（相机探测器） QZ~0o7  
    N571s  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 j8a[ (  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 W-m"@<Z  
    /NU103F yt  
     +>}o;`hPe  
    B`1kGEx .  
    场追迹仿真（电磁场探测器） j^nu|  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ~b6GrY"vB  
    %K l(>{N  
    i ?-Y  
     0>FE%  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 'Wp @b678  
     ;MPKJS68@  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 kP^*h O!%  
    \=fh-c(J,  
     F>-}*o  
    $8g42LR'  
     
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