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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 AoY -\E  
    )64@2 ~4y  
     zG+R5:  
     dG@"!!,  
    建模任务 )X04K~6lY  
    vQ<90Z xqB  
    f5F@^QXQ  
    概述 0MV>"aV  
    L{:9Cx!F  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ##KBifU"  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 0- ><q  
    "@evXql3`  
     |4 v0:ETb$  
    FSUttg"  
    光线追迹仿真 y'FS/=u>0  
    ]"+95*B  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ?in|qevL  
    •单击go！ .R)PJc5^  
    •获得了3D光线追迹结果。 XIvn_&d;G  
    Jwj%_<  
     3:5 &Aa!  
    ?aC'.jH+  
    光线追迹仿真 6`!Fv-  
    :*t"8;O[  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 nM\eDNK  
    •单击go！ Q F-LU  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 1?)Xp|O  
    RbCPmiZcH  
     pX/n)q[  
    :1 (p.q=  
    场追迹仿真 x&^_c0fn  
    !l_lo`)  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 _nD$b={g  
    •单击go！ / y A7%2  
    T_X6Ulp  
    iZPCNS"  
     R-NS,i={  
    场追迹仿真（相机探测器） ]V-W~r=  
    p`nPhk,:b  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 !1n8vzs"c  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 )>b.;  
    k4,BNJt'Z  
     YhbZ'SJ  
    [~kdPk  
    场追迹仿真（电磁场探测器） WZazJ=27}  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 on0]vEE  
    Glxuz0]  
    +zrAG 24q  
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    场追迹仿真（电磁场探测器） n8uv#DsdK  
     SF}<{x_  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 7@Zx@  
    [vMvV4,  
     g8Q5m=O*  
    @mE)|.f  
     
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