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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 nz^nptw  
    cv3L&zg M  
    Ig<}dM.Z[  
     kEO1TS  
    建模任务 z VdKYs i^  
    xJ-*%'(KZ  
    D/Rv&>Jh  
    概述 l{8CISO*  
    ASR-a't6  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 JfMJF[Mb  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 h-7A9:  
    ;v_ls)_,-  
     1YFeVMc  
    s}wO7Df=+  
    光线追迹仿真 I-,>DLG  
    ?FN9rhAC  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 W+8^P( K  
    •单击go！ 5:c;RRn  
    •获得了3D光线追迹结果。 m=H_?W;  
    kfXS_\@iW1  
     6z Ay)~  
    QO2Ut!Y  
    光线追迹仿真 wS V@=)H\:  
    i-b1d'?Rb  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 gt/!~f0r  
    •单击go！ gV|Y54}T  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 H<,bq*@  
    #pX8{Tf[  
     glx2I_y  
    }t\ 10nQ  
    场追迹仿真 !3h{lE B  
    k52QaMKa~A  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 (k8Z=/N~  
    •单击go！ QWw"K$l  
    zj{(p Z1  
    to'j2jP  
     p5-<P?B  
    场追迹仿真（相机探测器） y:.?5KsPI  
    &U&Zo@ot"x  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 6}ftBmv  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 uJY.5w  
    dMJ!>l>2  
     >yKpM }6l{  
    .a:Z!KF  
    场追迹仿真（电磁场探测器） M6_-f ;.  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ds]?;l"  
    LJWTSf"f?  
    z?kd'j`FG  
     _s*! t  
    场追迹仿真（电磁场探测器） i:d`{kJ|[  
     kon5+g9q  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Ukc'?p,*  
    /'4Q{8.a  
     f*<ps o  
    &dRjqn^&X  
     
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