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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 06-28
    高数值孔径物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 Fq!12/Nn  
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    BIEc4k5(  
    3UU]w`At  
    建模任务 '(mJ*Eb  
    8Y*SZTzV  
    a% |[m,FvP  
    概述 [HI&>dm=$  
    j/4N  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 a\S"d  
    •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 nF~</>  
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    7Fw`s@/%  
    光线追迹仿真 * t6 XU  
    5 WSu  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 8J{I6nPF  
    •单击go!  *Dtwr  
    •获得了3D光线追迹结果。 +(0Fab8g  
    ]as_7  
    !4GG q  
    Ja>UcE29  
    光线追迹仿真 CB<1]Z  
    &sR=N60n  
    •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 0@d)DLM?  
    •单击go! h>-JXuN  
    •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 &,4]XT  
    A`Q'I$fj  
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    Q}FDu,  
    场追迹仿真 Zq=t&$*  
    OLJb8kO  
    •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 u3vBMe0v[  
    •单击go! Z)EmX=  
    "'h?O*V]u{  
    4J0{$Xuu 0  
    J;h4)w~9H3  
    场追迹仿真(相机探测器) z"*X/T  
    XIh2Y\33ys  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ez=$]cln  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 })!d4EcZf  
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    Mnyg:y*=  
    场追迹仿真(电磁场探测器) H1_XEcaM+*  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 JIvVbI  
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    p8K4^H  
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    场追迹仿真(电磁场探测器) ?(Q" y\  
    TU$PAwn=  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 U^vQr%ha  
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