切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 《杂散光抑制与评估技术》 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) 光学设计与光学元件
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 现代光学设计及应用(Zemax) CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 1098阅读
    • 0回复

    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    6902
    光币
    28660
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 _R/^P>Q?  
    \+9~\eeXb  
    ' \8|`Zb  
     76'@}wNnw  
    建模任务 =P}BAJ  
    hwD;1n  
    \Ei(HmEU  
    概述 Jm#mC  
    k'6Poz+<  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 = n>aJ(=Pd  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 @gc|Z]CV  
    'c[|\M!u  
     GS*Mv{JJ  
    NT1"?Thx|  
    光线追迹仿真 'B"A*!" b  
    -O~ V4004  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 eV"Za.a.  
    •单击go！ \>7hT;Av=G  
    •获得了3D光线追迹结果。 i!nPiac  
    ",O}{z  
     (>)f#t[9J  
    dv7IHUFf  
    光线追迹仿真 QIb4ghm,  
    :nLhg$wMs  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 L_~vPp  
    •单击go！ ^.Xom~  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 Fv!KLw@  
    <+r<3ZBA  
     _yH=w'8.  
    3;E,B7,mQ  
    场追迹仿真 #P,C9OQD  
    jI%g!  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ^#0k\f>_  
    •单击go！ `A0trC3  
    wI{ED  
    J]"IT*-Ht  
     B |pdqSI  
    场追迹仿真（相机探测器） +\D?H.P  
    4k6,pt"  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ;zpSyyp@  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 $%GW~|S\C  
    F Cp\w1+  
     '*d);{D8  
    7%7 \2!0J}  
    场追迹仿真（电磁场探测器） B098/`r  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 O9/7?"l"  
    15)y]N={^  
    bAkCk]>5  
     >P_/a,O8  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ^?Y x{r~9  
     ?z/ )Hkw  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 W&'[Xj  
    \|wUxijJ*,  
     h+"UK=  
    YB?5s`vr9d  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表