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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 NZN-^ >  
    cL8#S>>u.  
    zq1mmFIO  
     g(O;{Q_  
    建模任务 g\GdkiIj  
    ~|wos-nM  
    Y${l!+q  
    概述 J ti(b*~  
    T\VNqs@  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ?3Ij*}_O2  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 0W`LVue  
    Px5t,5xT8  
     l{ex?  
    7n)&FX K`  
    光线追迹仿真 A=Dhod  
    VGw(6`|!  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 h{ lDxOH*  
    •单击go！ WxbsD S;  
    •获得了3D光线追迹结果。 9kKnAf4Z  
    Sd IX-k.  
     IMQ]1uq0$  
    JNWg|Qt  
    光线追迹仿真 A>NsKWf{  
    ^D@b;EyK  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 I\\QS.2  
    •单击go！ &X`u9 V  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 f>$h@/-*  
    gQ~5M'#  
     IfDx@?OB  
    -{|`H[nmD  
    场追迹仿真 [ neXFp}S  
    <-UOISyf  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 #$\fh;!W  
    •单击go！ N0n^L|(R  
    7.<^j[?  
    LF*Q!  
     e=/&(Y  
    场追迹仿真（相机探测器） L6 6-LMkH  
    v| z08\a[  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 SC#sax4N!=  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 (}!C4S3#  
    +rNkN:/L  
     OySy6IN]q  
    S"snB/  
    场追迹仿真（电磁场探测器） HTz+K6&  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Mo|wME#M  
    TUp%FJXA|  
    F.q|x|9j  
     K2'O]#  
    场追迹仿真（电磁场探测器） IGj`_a  
     :ipoD%@  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Q^eJ4{Ya:  
    3$M3Q]z  
     !)NidG  
    Aq#/2t  
     
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