-
UID:317649
-
- 注册时间2020-06-19
- 最后登录2025-12-12
- 在线时间1894小时
-
-
访问TA的空间加好友用道具
|
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 s*"Yi~ 83 O+`f
-8j<`(M'5 8VbHZ9Q 建模任务 _|VWf 8?\ {fwA=J9%KS J^}w,r*= 概述 i%1ny`Q E5-f{Qc •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 {`2R<O •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 G+k[. $$UMc-Pq
~hubh!d= z:RclDm 光线追迹仿真 XS$5TNI qTbY'V5A •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 l>l)m-;O •单击go! :)!X%2_ •获得了3D光线追迹结果。 mcbr3P m!{}Y]FZn
ls5s}X -P|EV|8= 光线追迹仿真 Oeua<,]Z~ r?{$k3Vl •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 "`b"PQ<x •单击go! q1 :Y]Rbe •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 eY3l^Su1 HPc7Vo(
R|7yhsJq, HK@LA3 场追迹仿真 4vri=P 2% h'{}eYb+ •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 5F@7A2ZR •单击go! ]1A"l!yf VieX5 |K},f, )&G
uZ 场追迹仿真(相机探测器) 7qfo%n" 6pkZ8Vp: •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 %s.hqr,I •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 MA\^<x_?L} "AN2K
g.AMCM?z }E=:k&IDPB 场追迹仿真(电磁场探测器) %O5
k+~9 •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 "][MCVYP B{fPj9Y0 ]+1?T)<! @"BvyS,p 场追迹仿真(电磁场探测器) VE4Z;Dr" 1WGcv O)< •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 EJ$- ML6V,V/e
ISHNeO8 C$X
)I~M
|