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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 |dIP &9  
    DfYOGs]@  
    iV9wqUkMv  
     3m3ljy  
    建模任务 Ku;|Dz/=o  
    .EeXq }a[  
    ZK:dhwer  
    概述 iMG)zPj  
    _)|_KQQu  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 fP3e{dVf  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 .OhpItn  
    +;z^qn  
     eu=G[>  
    ]0N'Wtbn  
    光线追迹仿真 -& Qm"-?:  
    7$3R}=Z`\q  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 wq yw#)S  
    •单击go！ [/dGOl+  
    •获得了3D光线追迹结果。 <Jt H/oN  
    Pdgn9  
     VnlgX\$}  
    E/bIq}R6  
    光线追迹仿真 &O|!w&  
    6 3TeTGp$  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 0$=Uhi  
    •单击go！ #'`!*VI  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 2n]UNC  
    'I$-h<W  
     ed3d 6/%HR  
    +_^Rxx!XA  
    场追迹仿真 )m8ve)l  
    RLnsy,  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 { 'A`ram  
    •单击go！ Z_b^K^4  
    /zt9;^e  
    .<xzf4C  
     V+\L@mz;  
    场追迹仿真（相机探测器） zk6al$3R  
    s*'L^>iZ  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 !LGnh  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 $'Pn(eZHGv  
    TtZZjeg+V  
     Wp2W:JX:  
    $ghAC  
    场追迹仿真（电磁场探测器） n oWjZ  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 0[A4k:  
    9NUft8QB  
    By3y.}'Ub9  
     P:~X az\F  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 4)]w"z0Pc  
     |X}H&wBWo  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 !T+jb\O_  
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     7CKpt.Sz6  
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