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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 4(MZ*6G]?  
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    建模任务 ]%m0PU#  
    I~EQuQ>=  
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    概述 y\b.0-z  
    T<06y3sN  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 /w{DyHT  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ,9gyHQ~  
    S`TP#uzKu]  
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    k6-Q3W[+a  
    光线追迹仿真 dhpEB J  
    XX",&cp02V  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 J]5 sWs  
    •单击go！ x]lv:m\)jT  
    •获得了3D光线追迹结果。 DoAK]zyJA  
    PhF3' ">  
     g<O*4 ]=  
    A@#9X'C$^  
    光线追迹仿真 @ 'rk[S}A  
    )s(J8J[b*L  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 )nyud$9w'  
    •单击go！ R| t"(6  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 +Ck F#H ~  
    g PogV(V  
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    ufm`h)N  
    场追迹仿真 0l!%}E  
    gbM#jhQ  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 jftoqK- p  
    •单击go！ 6W."h PP  
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    rVq=,>M9  
     w<-8cvNhiz  
    场追迹仿真（相机探测器） 'h_PJ%  
    C"_f3[Z  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 bvzeU n  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ]0.? 1se  
    lG,/tMy  
     \ Xow#@[  
    DesvnV'{`  
    场追迹仿真（电磁场探测器） [R-4e; SRh  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 F@4XORO;  
    ?#ue:O1  
    2KMLpO&De  
     lg1yj}br  
    场追迹仿真（电磁场探测器） O= PFr"  
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    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 S3]Cz$  
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