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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 |Y.?_lC  
    s5. CFA  
    #5uOx(>  
     #<xm.  
    建模任务 Pg{J{gn  
    `WS&rmq&'  
    [V`r^  
    概述 * v#o  
    \Oo Wo  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 s>c=c-SP.  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 -nwypu  
    B#R|*g:x  
     n=q 76W\  
    -'Mf\h 8  
    光线追迹仿真 NxILRKwO  
    !<F3d`a  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 yt2PU_),  
    •单击go！ U $UIN#  
    •获得了3D光线追迹结果。 1Z&(6cDY8M  
    : rVnc =k  
     \{D" !e  
    zT{ VE+=  
    光线追迹仿真 !5N.B|N t  
     Fk;Rfqq  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Uw:"n]G]D?  
    •单击go！ n&!-9:0  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 G+m }MOQP7  
    z(~_AN M4,  
     K)P%;X  
    ji= "DYtL  
    场追迹仿真 3(UVg!t  
    6dYMwMH  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 X wtqi@zlE  
    •单击go！ )M^ gT}M  
    H"F29Pu2  
    `H+ lPM66  
     & nK<:^n  
    场追迹仿真（相机探测器） D43z9z-:L  
    d"Y{UE  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 c*M} N?|6  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 Bbp|!+KP{(  
    3$JoDL(Z  
     DaVa}  
    K> e7pu  
    场追迹仿真（电磁场探测器） !_(Tqyg&  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 :E?V.  
    g\AY|;T  
    BJ0?kX@  
     &m vSiyKX  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ,z?':TZ  
     bPMhfK2 %  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 [00m/fT6  
    -K$)DvV^(E  
     :hA#m[  
    yLcE X  
     
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