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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 " *Ni/p$I  
    3 !}'A  
    orHVL2 KK  
     5utj$ha2  
    建模任务 #4c uNX5m%  
    O^:Pr8|{J  
    &kO4^ A  
    概述 |}mBW@ah  
    7Q[P  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。  g| r  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 9d2$F9]:o  
    9MXauTKI  
     Rwy:.)7B$q  
    R jAeN#,?  
    光线追迹仿真 ?_tOqh@in  
    jgGn"}  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 CyXcA;H,.  
    •单击go！ ;G\rhk  
    •获得了3D光线追迹结果。 7rr5$,Mv  
    xMuy[)b  
     |x kixf4zz  
    2qn~A0r  
    光线追迹仿真 O:Z|fDQ`  
    ~O^_J)  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ~;`i&s  
    •单击go！ J J3vC  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 (wA|lK3  
    {u5)zVYC,U  
     sY#K=5R  
    (8EZ,V:  
    场追迹仿真 ?3z x?>sG  
    mV4} -  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 OVivJx  
    •单击go！ em W#ZX  
    .g|pgFM?  
    Tw`l4S&  
     Aw|3W ]  
    场追迹仿真（相机探测器） W&yw5rt**  
    @?%"nK  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 >5N}ZIN  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 @rJ#Dr  
    j1d=$'a "  
     /3c1{%B\  
    zf S<X  
    场追迹仿真（电磁场探测器） BF@VgozW  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 HR V/ A  
    #IXQ;2%E  
    +22[ h@  
     '"KK|]vJ  
    场追迹仿真（电磁场探测器） k&?QeXW  
     5_i&}c23Vn  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 aY?}4Bx  
    +X- k)9  
     U$J]^-AS  
    yqYX<<!V  
     
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