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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 Cf~H9  
    /'yi!:FZFC  
    -#TF&-  
     Cob<N'.  
    建模任务 aPELAU-  
    >q+q];=(  
    ")gd)_FOS  
    概述 n]K`ofjl^  
    tTX@Bb8  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 E%+aqA)f  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 $e99[y@  
    JDa=+\_  
     { \r1A  
    @bkZ< Gq  
    光线追迹仿真 GnCO{"n  
    8!{;yz  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 /,tQdD&  
    •单击go！ Oo)MxYPU  
    •获得了3D光线追迹结果。 P&6hk6#  
    1u%e7  
      4E"OD+  
    o?9k{  
    光线追迹仿真 *5Mg^}ZC5  
    Qz[4M`M  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 vk^/[eha  
    •单击go！ Q')0 T>F-  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 $ts%SDM  
    oo+nqc`,O  
     &EZq%Sd  
    J2va Kl  
    场追迹仿真 BAJEn6f?  
    }mhD2'E  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 BGe&c,feIc  
    •单击go！ S4'\=w #  
    <"&I'9  
    ; aI`4;  
     !yfQ^a_ O  
    场追迹仿真（相机探测器） gG>|5R0  
    +!'rw D  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 D>HX1LV  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 NHL -ll-R  
    Q\!0V@$  
     ,hggmzA~  
    [6$n  
    场追迹仿真（电磁场探测器） \Y?ByY  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 qh40nqS;9  
    O<H5W|cM  
    4a]$4LQV  
     3lZ5N@z69  
    场追迹仿真（电磁场探测器） cTq}H_hC  
     P ~sX S  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 CP%?,\  
    3ZAPcpB2  
     J7p'_\  
    e 1 yvvi  
     
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