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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 9AQMB1D*v4  
    Cz@[l=-T7  
    aq/'2U 7  
     0c*y~hUVZ  
    建模任务 .{U@Hva_K  
    \[</|]'[  
    LJ7Qwh_",  
    概述 }c/p+Wo  
    o'nju.'  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 oJ}!qrrH  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 9 -7.4!]I  
    {.=4;   
     O3, IR1  
    -90qG"@  
    光线追迹仿真 ;{@ [ek6  
    _?]E)i'RI  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 [K_v,m]   
    •单击go！ 8BP.VxX  
    •获得了3D光线追迹结果。 q)S70M_1  
    KI&+Zw4VL  
     (' yBIb\ue  
    1&\ A#  
    光线追迹仿真 U/2]ACGCN^  
    i co%_fp  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 $ {29[hO  
    •单击go！ Z!\xVCG"q  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 7R W5U'B  
    1u4)  
     <\i}zoPO  
    dg#w/}}m  
    场追迹仿真 !brXQj8D7  
    P,.<3W"4i  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 \Km gFyF  
    •单击go！ a%R'x]  
    b5r.N1ms  
    "`Y.N$M`k  
     ce3w0UeV  
    场追迹仿真（相机探测器） >,JLYz|</  
    01bBZWX  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 R+}x#  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 !YJfP@"e6r  
    rof&O   
     3=r#=u5z  
    (N6 3k1M  
    场追迹仿真（电磁场探测器） IB~`Ht8 b  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 SRL`!  
    ci]IH]x  
    v]`}T/n  
     :)/%*<vq,  
    场追迹仿真（电磁场探测器） Vn:BasS%  
      U~%V;*|4  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 >GRL5Iow  
    (?luV#{5  
     p72:oX\Q I  
    Ps<6kQ(  
     
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