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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 ebI2gEu;a  
    X2Z)> 10  
    KH;~VR8"/  
     E3O^Tg?j  
    建模任务 ) yMrE T m  
    Y /_CPY  
    F!EiF&[\J  
    概述 c**&,aL  
    q/U-6A[0  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 \(P?=] -  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 B??07j  
    f; |fS~  
     {:uv}4Z  
    kaekH*m~  
    光线追迹仿真 |{YN3"qN  
    Mz6(M,hkq  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 \6SjJ]o>  
    •单击go！ Yw3'9m^  
    •获得了3D光线追迹结果。 X>o9mW  
     rvd $4l^  
     E^F<"mL*  
    j %gd:-tA  
    光线追迹仿真 tn' Jkwp  
    0W*{ 1W  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 f<@!{y 2Xe  
    •单击go！ Y\-xX:n.\  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 OY`B{jV-  
    %DKFF4k  
     1}DA| !~  
    11yXI[  
    场追迹仿真 *pJGp:{6V?  
    |g3:+&  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 !g]5y=  
    •单击go！ dyWp'vCQs\  
    c,2& -T}  
    NVv <vu  
     ZiJF.(JS  
    场追迹仿真（相机探测器） Kt_oo[ey{  
    ?8V.iHJk  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 eA4:]A"  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 sh$-}1 ;  
    `3rwqcxA  
     w'H'o!*/  
    SO0\d0?u  
    场追迹仿真（电磁场探测器） luf5-XT  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 /]TNEU,K  
    ]u_j6y!  
     l!|c_  
     !'jq.RawP  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ]5Uuz?:e  
     LW]fme<V?  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 '9V/w[mI  
    %PYl  
     t_3j_`  
    P9cx&Hk9  
     
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