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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 x1:+M]Da  
    ig4wwd@|  
    I= G%r/3  
     Dd-;;Y1C  
    建模任务 :9Zu&t  
    11glFe  
    jV]'/X<  
    概述 b'Pq [ )  
     Zf68 EB  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 |s-q+q{|  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 O$k;p<?M  
    'Y IFHn$!  
     (~:k70V5  
    rlT[tOVAY  
    光线追迹仿真 vA2@Db}  
    `zGK$,[%  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 F1J Sf&8  
    •单击go！ #4%4iR5%  
    •获得了3D光线追迹结果。 ]W7(}~m  
    3UU]w`At  
     '(mJ*Eb  
    8Y*SZTzV  
    光线追迹仿真 a% |[m,FvP  
    [HI&>dm=$  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 j/4N  
    •单击go！ a\S"d  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 nF~</>  
    @=,2{JF*6  
     0#lw?sv  
    hLPg=8nJ_  
    场追迹仿真 \kqa4{7U(  
    RqgH,AN  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 +Mc kR  
    •单击go！ CP_ ?DyWU  
    vDZhoD=VR  
    d af$`  
     F]]np&UV.  
    场追迹仿真（相机探测器） W7>4-gk  
    Qj5~ lX`W  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 E{kh)-  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 j!q5Bc?  
    #qXE[%  
     Xt~`EN  
    zvf:*Na")  
    场追迹仿真（电磁场探测器） @P#uH5U  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ^29w @*  
    eZWN9#p2  
    V#.;OtF]  
     u3vBMe0v[  
    场追迹仿真（电磁场探测器） Z)EmX=  
     bq[j4xH0X  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ;<`F[V Zau  
    pW7vY)hj  
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    XIh2Y\33ys  
     
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