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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 nY?&k$n WP^wNi
~> c;n\HYk H}8kku>7 建模任务 %P C[-(Q
DJ1!Xuu Su+[Q6oC@ 概述 /38XaKc{6 QQ %W3D@ •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。
Yq{R*HO •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 -"x@ V7X AyOy&]g 8}Q2!,9Q meGLT/
光线追迹仿真 :8]y*j R\x3'([A5 •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 on1B~?*D •单击go! I`x[1%y2 F •获得了3D光线追迹结果。 IUD@Kf]S g]d0B!Ar~ :xY9eq= (Dx p 光线追迹仿真 N]F}Z#h +.-mqtM •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 N).'> •单击go! 1=PTiDMJ<* •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 \4O_@d`A B'b OK`p vz&88jt O<MO2U+^x 场追迹仿真 r$Oa n(sseQ|\ •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 !&5*H06 •单击go! >.uIp4@( F'T.-lEO_d WS%yV|e g|tclBx 场追迹仿真(相机探测器) 2G_]Y8 N686~ •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 Q07&7SH_ •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 K87yQOjPv Zh`[A9I/ Zg|l:^E *JZlG%z 场追迹仿真(电磁场探测器) bHQ) :W •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Xv+,Z<>iQ o4agaA3k bV+2U U/_hH*N"! 场追迹仿真(电磁场探测器) MSB/O. m ^w{:\p •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ,;f5OUl?[ ,wngS= 2UxmKp[ B&<P >AZ
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