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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 &al\8  
    -]Mbe2;  
    u27*-X 5  
     _GtG8ebr  
    建模任务 w~|z0;hC  
    A5q%yt I  
    4xsnN@b  
    概述 VT:m!<^  
    {8im{]8_  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 Gi S{=+=5  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ^`f( Pg!  
    =N?K)QD`  
     wM0P#+bA\  
    p6*|)}T_%  
    光线追迹仿真 uzO3_.4Y  
    ] RLEyDB  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 LVAnZ'h/|  
    •单击go！ *nYb9.T]i  
    •获得了3D光线追迹结果。 'kE^oX_  
    ^(.utO  
     *{%d{x}l  
     1k39KO@  
    光线追迹仿真 LQ'VhNU  
    nep-?7x  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Fq`wx  
    •单击go！ zKf.jpF^  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 \?K>~{)  
    cuUlr  
     g| M@/D l  
    `7o(CcF6H  
    场追迹仿真 ?cmv;KV   
    lKA2~o  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 >G<.^~o  
    •单击go！ eGW~4zU  
    /sa\Ze;E  
    =2tl149m/z  
     `mo>~c7  
    场追迹仿真（相机探测器） y|O)i I/g  
    m=e#1Hs   
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 6H:'_|G  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ?D]qw4J  
    $P7G,0-  
     F3,djZq  
    $0wF4$)  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 1Yb9ILX[J  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ]Yd7  
    _>)=c<HL  
    eK_Yt~dj  
     m<wEw-1.  
    场追迹仿真（电磁场探测器） oEuo@\U05v  
     F)Qj<6  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 R`F8J}X_  
     U<Z\jT[  
     Da WzQe=  
    AYLCdCoK.  
     
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