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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 Lt=#tu&d  
    Z\TH=UA  
    %!x\|@C  
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    建模任务 =q>eoXp  
    ~I2 IgEj>]  
    } fSbH  
    概述 2Xgn[oI{  
    q!}&<w~|  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 .rax`@\8  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 FWPkvL  
    IOt!A  
     ]Kil/Y  
    @l BR;B"  
    光线追迹仿真 dH?;!sJ  
    -`#LrO;n  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 M="%NxuS  
    •单击go！ %-H  
    •获得了3D光线追迹结果。 _?`3zm4  
    )%WS(S>8  
     v ;{s@CM m  
    Pp #!yMxBr  
    光线追迹仿真 dIMs{!  
    O:#t> ;  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Gz$DsaG  
    •单击go！ ^yjc"r%B  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 Ewu 7tq Z  
    Ow mI*`  
     hDzKB))<w  
    #%B1, .A  
    场追迹仿真 rOH8W  
    A10/"Ec<u  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 Q]7r?nEEhW  
    •单击go！ 6BNOF66kH  
    ,8EeSnI  
    W<v?D6dFq  
     ]r6,^"  
    场追迹仿真（相机探测器） n%@xnB $ZX  
    }Geip@Ot  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 "k5 C?~  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 lOcvRF  
    HI)ks~E/  
     u!X[xe;  
    _9""3O  
    场追迹仿真（电磁场探测器） y}nM'$p  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Kl\A&O*{  
    ATH0n>)  
    //f[%j*>  
     F(}d|z@@  
    场追迹仿真（电磁场探测器） =i\~][-  
     x-(?^g  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 yz,ak+wp  
    A:& `oJl  
     3-~_F*%ST  
    Fl^.J<Dz  
     
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