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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 ({@" {  
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    建模任务 X)6G :cD  
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    概述 pJs`/   
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    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ZZZ`@pXm;  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 tQRbNY#}Z  
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    F(zCvT   
    光线追迹仿真 pUS:HJk|  
    w\ 0vP  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 >2#<tH0  
    •单击go！ (+;D~iN`k  
    •获得了3D光线追迹结果。 oV;sd5'LG  
    mtkZF{3Jx  
     QV.>Cy  
    Dt>tTU 6  
    光线追迹仿真 S.Kcb=;"L  
    J[r_ag  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 f0Q! lMv  
    •单击go！ 8t=O=l\  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 (gPB@hAv  
    qo 7<g*kf~  
     ("ix!\1K@  
    $GU  s\  
    场追迹仿真 fa,:d8  
    ,/GFD[SQ  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 h.]^o*DJ  
    •单击go！ );AtFP0Y  
    =OtW!vx#R.  
    J k`Jv;  
     llR5qq=t  
    场追迹仿真（相机探测器） /Dd x[P5p=  
    9eq)WI/  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ,mvFeo;@f  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 Og1\6Q  
    H_3Wx fO  
     a@&qdp  
    CQ<d  
    场追迹仿真（电磁场探测器） iG"v  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 x 9\{a  
    3BGcDyYE  
    K3h];F! ^  
     c(vi,U-hC  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 3!@& 7@p  
     PPrvVGP   
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ZL0k  
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