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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 $-Iui0h  
    Rtpk_ND!  
    C- 5QhD  
     Hq$&rNnq\  
    建模任务 rDI}X?JmX  
    {z#!3a  
    +xNV1bM  
    概述 @n,V2`"  
    w3Lr~_j  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 8=!uQQ  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 fk&>2[^&  
    Op()`x m  
     IC"Z.'Ph  
    {ooztC   
    光线追迹仿真 ?_ 476A  
    Upw`|$1S  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 A(eB\qG  
    •单击go！  jYUN:  
    •获得了3D光线追迹结果。 Oh# z zo  
    FYs]I0}|  
     W6gI#  
    |PtfG2Ty?  
    光线追迹仿真 ylm # Xa  
    fHK.q({Qc  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 :a/l9 m(  
    •单击go！ r[g  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 }#r awVe=  
    `%A vn<  
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    p<[MU4  
    场追迹仿真 PctXh, =  
    -w"$[XP  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 !mZDukfjQ  
    •单击go！ +pPfvE`  
    sZx`u+  
    ZyM7)!+kPa  
     9;7Gzr6A"  
    场追迹仿真（相机探测器） brCXimG&jo  
    .(RZ&*4  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 qxB|*P `  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 U ,NGV0  
    a[Nm< qV05  
     +=:_a$98  
    OxQ5P;O  
    场追迹仿真（电磁场探测器） |'Z+`HI  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 %oB0@&!mS  
    xkCM*5:  
    'ZJb`  
     7KesfH?  
    场追迹仿真（电磁场探测器） Mz6\T'rC  
     STl8h}C  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 [tT_ z<e`  
    '_b3m2I.G  
     N5c*#lHI  
     5@DCo  
     
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