切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 光学系统设计：理论、仿真与系统检测 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) ZEMAX光学系统设计实战
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 光学设计与光学元件 CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    • 843阅读
    • 0回复

    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    在线infotek
    科学家
     
    发帖
    6374
    光币
    26015
    光券
    0
    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 FOPfo b[  
    @},|i*H/  
    5!QT }Um  
     5)5$h]Nz>  
    建模任务 BiY-u/bH9a  
    'FNnFm  
    n!aA<  
    概述 R$XHjb)  
    }VU^ 8D  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 7xF)\um  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 "D\>oFu  
    jgvzp  
     r` B(ucE  
    nxWm  
    光线追迹仿真 uTShz3  
    M)F_$ ICE-  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ,.kJF4s&  
    •单击go！ OV G|WC  
    •获得了3D光线追迹结果。 mjQZ"h0  
    ) $`}~  
     z*a-=w0  
    vp32}ze D  
    光线追迹仿真 ')Q  
    c;?J  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 A"e4w?  
    •单击go！ h;+{0a  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 p4F%FS:`  
    z''ejq  
     $7QGi|W*k  
    oE.Ckz~*d  
    场追迹仿真 &6^ --cc  
    $`A{-0=x\U  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 qzj.N$9]  
    •单击go！ "MvSF1  
    vbD""  
    sYq:2Wn>8Q  
     hgj ]Jr  
    场追迹仿真（相机探测器） D6dliU?k  
    M }! qH.W  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 zv7)JH7EV&  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 \#h{bnx  
    %[4u #G`  
     =F2`X#x_j  
    /F$E)qN7n  
    场追迹仿真（电磁场探测器） eZ oAy[  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 86pA+c+U  
    ?n]adS{  
    d5>EvK U  
     ken.#>w  
    场追迹仿真（电磁场探测器） }[{9u#@#  
     #bJp)&LO  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 q@G}Hjn  
    VbDk44X.W  
     1V wcJd  
    ]K3bDU~  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表