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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 cx) EFy.  
    !NtY4O/  
    t=#)3C`Q}  
     E83nEUs  
    建模任务 1<UQJw45  
    -M}iDBJx>#  
    Heu@{t.[!D  
    概述 *yx:nwmo  
    sBMHf9u  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 4(]k=c1<  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 kCV OeXv  
    ;a"Ukh  
     '(}BfDP  
    WD:5C3;  
    光线追迹仿真 "]<Ut{Xb  
    < jF<_j  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 +]X^bB[  
    •单击go！ t$J-6dW  
    •获得了3D光线追迹结果。 x,+zw9  
    AF !_! qc;  
     ]3G2mY;`"%  
    ~ p.23G]x  
    光线追迹仿真 -oj@ c OZ  
    OB%y'mo7]  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 4Bz~_   
    •单击go！ SL*(ZEn"  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 'JydaF~>  
    827N?pU$)  
     :BS`Q/<w  
    : SNp"|  
    场追迹仿真 G+ToZ&f@  
    rlq8J/0/+  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 \)bwdNWI  
    •单击go！ @4pN4v8U  
    c!c!;(  
    [M.Vu  
     =B\ ?(  
    场追迹仿真（相机探测器） 01J.XfCd6  
    t0Uax-E(  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ty ~U~  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 [ 6M8a8C  
    :Vg,[\I{  
     2&M 8Wb#  
    iH2|w  
    场追迹仿真（电磁场探测器） }.#C9<"}  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 jm!G@k6TA  
    li'#< "R?'  
    F[lHG,g-  
     (Q@+W |~  
    场追迹仿真（电磁场探测器） g#e"BBm=A  
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    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 n%Fa;!S  
    J;qHw[6  
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    W];4P=/  
     
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