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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 o;}o"-s  
    VsFRG;:\U  
    &6h,'U  
     :Z,zWk1|  
    建模任务 I~EJctOG  
    (tys7og$'  
     $33wK  
    概述 ~r+;i,,X  
    ge*f<#|0U-  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 z;D[7tT  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 `N;JM3 ck  
    j%0D:jOY]  
     1#6c sZW5  
    ("ql//SL  
    光线追迹仿真 W A-\2  
    IOomBy:  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 Xbe=_9l&p  
    •单击go！ ^_n(>$ EK  
    •获得了3D光线追迹结果。 Nn>Oq+:  
    c#Y/?F2p  
     0.qnbDw_  
    \'x. DVp  
    光线追迹仿真 $zKf>[K  
    m?0caLw<  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。  ~p<w>C9  
    •单击go！ /c6:B5G  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 <BEM`2B  
    !UDTNF?1  
     V9bn  
    &C6Z-bS"  
    场追迹仿真 yp9vgUs  
    \W4|.[  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 \AQ*T`Dq  
    •单击go！ "w7wd5h  
    k> SPtiAs  
    jI[Y< (F ;  
     "V'<dn  
    场追迹仿真（相机探测器） usc"m huQ  
    {Dupk0'(  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 {el,CT#  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 O4t0 VL$  
    _X;xW#go  
     WCRGqSr4  
    \I"n~h^_  
    场追迹仿真（电磁场探测器） @kBy|5  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 POB6#x  
    rU/8R'S  
    QN)EPS:y  
     /3#)  
    场追迹仿真（电磁场探测器） _D.4=2@|l8  
     {0?^$R8j  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 l^!raoH]q  
    I'[gGK4 F  
     &1 t84p:^=  
    JP{Y Q:NF  
     
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