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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 ^BL"wk  
    l0hlM#  
    A={UL  
     ~WN:DXn  
    建模任务 S[T8T|_  
    TW>WHCAm  
    yH}s<@y;7  
    概述 M:6"H%h,W  
    ilva,WFa^  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 `V3Fx{  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 Fr$5RAyg  
    _Y[bMuUb=  
     vA.MRu#  
    jb;hcraR  
    光线追迹仿真 (Clkv  
    $D UZ!zaH!  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 PJ'E/C)i  
    •单击go！ w8D"CwS1Rx  
    •获得了3D光线追迹结果。 a -moI+y  
    WSY}d Vr  
     T${Q.zHY[!  
    @oad,=R&  
    光线追迹仿真 V,?yPi$#E  
    -[DOe?T  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 {$Gd2g O  
    •单击go！ 9 5RBO4w%w  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 O s.4)  
    ]}(H0?OQR  
     E\2%E@0#  
    @k/NY *+  
    场追迹仿真 $"&{aa  
    7 ^mL_SMj  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 [\b 0Lem  
    •单击go！ `I5wV/%ib  
    [=^3n#WW  
    )Iq<+IJ  
     Q&| \r  
    场追迹仿真（相机探测器） :TC@tM~Oy  
    x7x\Y(@  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 AlW66YAuQ  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 U2~kJ  
    5RpjN: 3  
     !GEJIefx_  
    O|N{ v"o  
    场追迹仿真（电磁场探测器） Y]u+\y~  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 fLm*1S|%\  
    M>8A\;"  
    ^_5r<{7/ :  
     hzbw>g+  
    场追迹仿真（电磁场探测器） Y,e B|  
     h@WhNk7"xa  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Eue~Y+K*b  
    ?vHU #  
     Y<ql49-X  
    )sp4Ie  
     
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