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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 [BPK0  
    *C/bf)w  
    J7Z`wjX1  
     HPz9Er  
    建模任务 Y nD_:ZK  
    }BTK+Tk8  
    O*;$))<wX  
    概述 F8u;C:^d  
    m=g\@&N  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 up(6/-/.7  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。  4RPc&%  
    ?8ZOiY(  
     \<cs:C\h7  
    1~J:hjKQ  
    光线追迹仿真 O!uZykdX4!  
    S511}KPbm/  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 Gi=sJV  
    •单击go！ T;7=05k<_  
    •获得了3D光线追迹结果。 5Q)hl.<{o7  
    6wIo95`  
     OoW,mmthj>  
    (8JL/S;Z$  
    光线追迹仿真  "! -  
    ua!i3]18  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ivgV5 )".  
    •单击go！ CcGE4BB  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 caG5S#8-"  
    $#z ` R;  
     c(@(j8@S  
    Fe r&X  
    场追迹仿真 3shRrCL0mf  
    ID{62>R  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 %4bGI/\/  
    •单击go！ [h5~1N  
    n(}cK@  
    yj:<3_-C*  
     ^bD)Tg5K  
    场追迹仿真（相机探测器） e8Ul^]  
    cDkq@H:   
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 !^[i"F:G  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 I{/}pr>  
    [9<c;&$LU  
     Q1Jw7R#?l  
    '' Pu  
    场追迹仿真（电磁场探测器） VnjhEEM!  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 (+(YQ2  
    (h8RthQt  
    8QJ^@|7  
     =&_Y=>rA]0  
    场追迹仿真（电磁场探测器） +.czj,Sq  
     j1 Ns|oph1  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 +hIC N,8!  
    0: 1[F!]'b  
     3rxB]-  
    h^B~Fv>~  
     
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