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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    在线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 N9lCbtn(0x  
    c_oI?D9  
    u2p5* gzZ  
     Lbo8> L(  
    建模任务 ]yzqBbV  
    .Fdqn?c|+  
    z?a<&`W  
    概述 ,<,ige  
    WGxe3(d  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 iymOq9  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 /~k)#44  
    eh@6trzp=  
     v7;zce/~  
    In%K  
    光线追迹仿真 q;Y9_5S  
    %j '_I\  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 co <ATx  
    •单击go！  p^=>N9  
    •获得了3D光线追迹结果。 .iDxq8l  
    %D::$,;<<  
     F4=+xd >0  
    K2= `.  
    光线追迹仿真 &3jq'@6  
    x2 s%qZ#  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 OK=lp4X  
    •单击go！ $}{u6*u.,  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 HkGA$  
    T?p' R  
     Afpj*o  
    95`Q=I|i  
    场追迹仿真 a!`b`r -4  
    yQ^k%hHa  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 I|RMxx y;  
    •单击go！ +Lq;0tRC  
    D][e uB  
    5kX#qT=  
     KJ7[DN'(  
    场追迹仿真（相机探测器） 'Gn-8r+  
    cBgdBPDa  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 HwE1cOT  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 buIy+  
    ER z@o_  
     nG0Uv%?{pj  
    ZcTxE]Y  
    场追迹仿真（电磁场探测器） MhE'_sq  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ^ X&`:f  
    5if4eitS  
    -EwtO4vLJ  
     cfb8kNn~+  
    场追迹仿真（电磁场探测器） IW48Sg  
     Je|D]w  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 f zu#!  
    >e]46 K  
     Hk65c0  
    2TR l @  
     
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