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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 *'w?j)}A9g  
    [[$dPa9  
    %lq[,6?>5  
     CS'LW;#[  
    建模任务 f+!k:}K  
    wKU9I[]  
    =U7P\s w2  
    概述 <@Z`<T6  
    tm&,u*6$W?  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ee/3=/H|;  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 "%}24t%  
    o_8Wnx^  
     6l'J!4*qY  
    ''dS {nQs  
    光线追迹仿真 f$76p!pDa  
    |'Z+`HI  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 9(3]t}J5 d  
    •单击go！ QLH!>9Ch  
    •获得了3D光线追迹结果。 >?O?U=:<  
    vHZq z<  
     {]bmecz  
    I cASzSjYX  
    光线追迹仿真 $l2`@ia"  
    &gJ1*"$9  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 r+8)<Xt+p  
    •单击go！ egK~w8`W%  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 3[j,d]\|  
    ~!S/{Un   
     DKJ_g.]X  
    T+^Sa J  
    场追迹仿真 hraR:l D  
    0SU v5c  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 kebk f,`p  
    •单击go！ &?@[bD'T  
    @0]w!q  
    !E&l=* lM.  
     \=D+7'3  
    场追迹仿真（相机探测器） -RJ~Sky[  
    Qo :vAv  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 O1UArD  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 wo+`WnDh  
    [(2^oTSRaq  
     X~UL$S;  
    Ell14Iki  
    场追迹仿真（电磁场探测器） RP$h;0EQG  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 (kVY\!UAt  
    J6[}o4Z  
    "b402"&  
     7m  ou  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ? V1ik[  
     `v@Z|rv,  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 D_?Tj  
    'j*Q   
     ia3Q1 9r  
    `-%dHvB^R  
     
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