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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 d1';d6.u\  
    RXRoMg!-P  
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    建模任务 fj97_Q=  
    x|$|~ 6f=n  
    "1Y'VpKm(~  
    概述 t76B0L{  
    eX'U d%  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 b\S~uFq6  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 +_1sFH`  
    2ElZ&(RZJF  
     ] @:x<>  
    s#H_ QOE  
    光线追迹仿真 an2Yluc;  
    )&j@={0  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 $wC'qV *  
    •单击go！ ..7 "<"uH  
    •获得了3D光线追迹结果。 |:]} u|O  
    H[RX~Xk2E  
     yoH,4,!G  
    K\FLA_J  
    光线追迹仿真 /2'l=R5#  
    Bo$dIn2_  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 SuXeUiK.[  
    •单击go！ c~+KrWbZ~  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 t:"3M iM=c  
    IGOEqUw*  
     i1S cXKO  
    ;I?x; lH  
    场追迹仿真 !Df>Q5~g  
    ey6ujV7!  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 us E%eF]  
    •单击go！ On|b-  
    4]#$YehM5  
    U!(es0rX  
     >Ptu-*  
    场追迹仿真（相机探测器） cn Oh j  
    wXtp(YwlH  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 adPd}rt;  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 'Y.6sB  
    >p'{!k  
      |nfMoUI  
    ,m8mh)K?0>  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 3l"8_zLP  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 a7685Y  
    O?O=]s u  
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    场追迹仿真（电磁场探测器） bObsj]  
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    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 D^gS.X^  
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