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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 +#@)C?G,TF  
    y7Sey;  
    qh)10*FB  
     L5{DWm~@  
    建模任务 ZOIx+%/Vd#  
    sCrOdJ6|  
    e{RhMjX<D  
    概述 .KeZZLH  
    xC}9W6  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 zMI_8lNz  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 zu52]$Vj  
    p~bx  
     L!l`2[F|  
    "MX9h }7  
    光线追迹仿真 eWw# T^  
    e0 &x?U*/  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 J&w'0  
    •单击go！ b>]MZhLJe  
    •获得了3D光线追迹结果。 q37d:Hp  
    "'@>cJ=  
     N:% }KAc  
    *k^'xL  
    光线追迹仿真 _GF{Duxh  
    >\s8S}p  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 +> Xe_  
    •单击go！ tsf)+`vt  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 tH^]`6"QUa  
    15dbM/Gj  
     k[<Uxh%  
    -Ed<Kl  
    场追迹仿真 2T&n6t$p  
    ]mZN18#  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 G W@g  
    •单击go！ 0E^6"nt7N  
    Nay&cOz  
    5!V%0EQqw  
     S( Vssi|y  
    场追迹仿真（相机探测器） SpJIEw  
    =,w(D~ps  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 QFX/x  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 AR?1_]"=  
    @{LD_>R  
      J]4pPDm  
    FhJtiw@  
    场追迹仿真（电磁场探测器） <4%cKW0  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 mK_2VZj&  
    t;/s^-}  
    tcD DX'S  
     J<h! H  
    场追迹仿真（电磁场探测器） }_|qDMk+  
     W<tw],M-#  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 3Q:HzqG  
    45aFH}w:  
     , aJC7'(  
    zbgH}6b  
     
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