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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 JXAyF6 $  
    kziBHis!  
    VqrMi *W6  
     7`/qL "  
    建模任务 /$z@_U [L  
    6'ZnyWb  
    ;40m goN  
    概述 i6CYD  
    Ib\G{$r  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 PPPwDsJ  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 wUeOD.;#F  
    9/M!S[N9  
     t4*A+"~j  
    \?^wu  
    光线追迹仿真 !S!03|  
    C6M/$_l&a  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 }Yl=lc vw  
    •单击go！ D.o|($S0  
    •获得了3D光线追迹结果。 XgKG\C=3  
    -9I%   
     }# x3IE6'  
    zrO|L|F&P  
    光线追迹仿真 +-\9'Q  
    V^z;^mdd  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 D,j5k3< #  
    •单击go！ wKlCx  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。  {Yk20Zn  
    } XU:DE  
     E@6r{uZ#  
    /&:9VMMj  
    场追迹仿真 J_|}Xd)~t6  
    8VmN? "5v  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 a.IF%hP0xo  
    •单击go！ AV4HX\`{P0  
    U_;J.{n  
    25n (&NV  
     "EYj Y->  
    场追迹仿真（相机探测器） 0r ; nz]'  
    50aWFJYw  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ><MgIV  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 h&M RQno  
    Qz(T[H5%W  
     (OcNC/9  
     RhNaYO  
    场追迹仿真（电磁场探测器） by]|O  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 d 4\E  
    So *Wk "  
    P&3/nL$9N  
     wv.Ul rpx.  
    场追迹仿真（电磁场探测器） K}<!{/fi)  
     #K1BJ#KUt  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 % rY8  
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