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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 z(g4D!  
    1m|Oi%i4  
    bd_U%0)pi1  
     yrR<F5xge  
    建模任务 u Y V=  
    %((F} 9_6  
    (:,N?bg  
    概述 #E5Sc\,  
    @Rig@  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 _MR|(mV  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 , =IbZ  
    QL-((dZ<  
     Pw1V1v&> q  
    92]>"  
    光线追迹仿真 bnWIB+%_  
    W>wIcUP<<  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ?q7V B  
    •单击go！ c;Hf+n  
    •获得了3D光线追迹结果。 +NxEx/{  
    64#~p)  
     BEg%u)"([  
    W |G(x8  
    光线追迹仿真 8~ .r/!wfy  
     X4BDl  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 x/~V ZO  
    •单击go！ |08tQ  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 AQ32rJT8c`  
    Q6_!I42Y`  
     AVOqW0Z+y  
    (jPN+yQ  
    场追迹仿真 4sSQ nK  
    M< *5Y43  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 (5_l7hWY  
    •单击go！ R7KHfXy'm  
    1MRt_*N4  
    16keCG\  
     P{)&#HXUVb  
    场追迹仿真（相机探测器） FGr0W|?v  
    j08 G-_Gjn  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 2xni! *T+  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 qp"gD-,-o  
    s_.q/D@vu  
     [m|\N  
    . 7g^w+W  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 8/-GrdyE  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 mz+>rc  
    ?T$i  
    \hc}xy 0  
     . m7iXd{  
    场追迹仿真（电磁场探测器） k^C;"awh  
     3.Ni%FF`  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 [ \V]tpl!  
    jzI\Q{[m'  
     3+{hO@ O  
    >H ic tH  
     
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