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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 c`jTdVD  
    q{5Vq_s\  
    d8r+UP@#  
     x p$0J<2  
    建模任务 < 1r.p<s  
    D0]9 -h  
    $fn^i.  
    概述 V\xQM;  
    i)p__Is  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 (J;?eeP  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 JH5])i0  
    Bh.'%[',  
     v|'N|k l  
    ]fc:CR  
    光线追迹仿真 j>:T)zhyY  
    J+4uUf/d!  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 df)1} /*L  
    •单击go！ H9Z3.F(2  
    •获得了3D光线追迹结果。 />oU}m"k  
    Af%?WZlOq  
     IpP0|:}  
    4NzHzn  
    光线追迹仿真 (Zn\S*_@/  
    lu}[XN  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 zJy{Ry[Sb  
    •单击go！ E}GSii%S  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 O*PHo_&G  
    g\Z k*5(  
     tv{.iM|V c  
    Ij8tBT?jlL  
    场追迹仿真 5C&f-* Bh  
    7lpVK]  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 GwV FD%  
    •单击go！ %xruPWT:k  
    #(H_w4  
    +u2Co_FJ&  
     tvUvd(8 w  
    场追迹仿真（相机探测器） {?iqO?  
    nX S%>1o,  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 *LVM}| f  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 3{z|301<m  
    ?uN(" I  
     P(;c`   
    C"{on%  
    场追迹仿真（电磁场探测器） g2]-Q.  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 1sJN^BvuG  
    !O-+ h0Z  
    H-W) Tq_?-  
     x(`$D  
    场追迹仿真（电磁场探测器） bij?q\  
     Kd)m"9Cc  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 (`u!/  
    #77UKYj2L-  
     {+:XVT_+  
    g@k9w{_  
     
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