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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 !Yx9=>R p<#WueR[
OQt_nb#z`{ ?1\rf$l8 建模任务 }E626d}uA =FXO 1UZ! EHByo[ 概述 s!*m^zx ay}}v7)GM •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 E/MD]ox •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ?kfLOJQ:I Gh3b*O_,
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Z.s L;d(|7BVv 光线追迹仿真 BeAkG_uG 1"pvrX} •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 SGi(Zkc •单击go! dtHB@\1 •获得了3D光线追迹结果。 ~(W q 5<v kk6Af\NZ
r+6=b" oWg"f* 光线追迹仿真 k+
Shhe1 &z!yY^g
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 L1'R6W~%dN •单击go! ~ ;CnwG
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 G.CkceWRn 9F[k;Uw
koQ\]t'*As {9>LF 场追迹仿真 R(jp O}Y& @V%4k •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 kzq3-NTV •单击go! s,&tD
WU XxXMtiZ6 HV_5
+ 8UY[$lc 场追迹仿真(相机探测器) /l o;:)AiP AUZ^XiK •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 K"lZwU\:On •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 b#ih=qE ;- ~}g 7$
vUtA@ 3zdm-5R.b 场追迹仿真(电磁场探测器) -+9,RtHR7 •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 X8l|^[2F Y
6B7qp A.`)
0dV -M{.KqyW 场追迹仿真(电磁场探测器) QfHJZ7K.4 y2nwDw(xF •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 a#Yo^"*1 Jat|n97$
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