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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 &li&P5!i  
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    \m;"KyP+  
     B|+tK  
    建模任务 wXxk+DV@  
    j=,]b6(  
    LXQ-J  
    概述 k!6wVJ|_Y  
    eA(c{  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 l<# *[TJ  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 "Hw%@  
    $N1UEvC%Q  
     u6(>?r-  
    L(!mm  
    光线追迹仿真 e'Th[ wJ  
    )q+9_KU q  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 NP*M#3$[  
    •单击go！ ,ZLg=  
    •获得了3D光线追迹结果。 |k^ *  
    {|J'd+  
     L E>A|M$X  
    4l*4w x""v  
    光线追迹仿真 q^hL[:ms#  
    .\> I-  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 c 0%%X!!$  
    •单击go！ p4OiCAW;  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 tgbr/eCoU  
    9 6'{ES9D  
     YSE6PG   
    Zu/}TS9bi  
    场追迹仿真 2!35Tj"RFE  
    } 6Uw4D61  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 H]7;O M/g  
    •单击go！ *OQr:e<}  
    &zYo   
    ?#LbhO*   
     &<E*W*b[  
    场追迹仿真（相机探测器） Ysk,9MR(F  
    R)w|bpW  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 Gq/f|43}@O  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 n8eR?'4  
    i>C:C>~  
     zU'\r~c  
    $(6 .K-D  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 6h|@Bz/A  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 'MHbXFM  
    +89s+4Jn  
    ;_lEu" -  
     qi\!<clv  
    场追迹仿真（电磁场探测器） {g>k-.  
     {<HL}m@kQ  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ,HxsU,xiG  
    Jn>7MuG  
     >k?/'R  
    pCQB<6&1N  
     
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