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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 H7{ 6t(0j  
    )kkO:j  
    8kqxr&,[  
     k}BNFv8  
    建模任务 $zdJ\UX  
    xLGAP-mx]  
    ZSbD4 |_  
    概述 dJ|]W|q<  
    #fFEo)YG  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 f2d"b+H#  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 d8x$NW-s  
    2V  
     W0?yPP=.  
    ?d_Cy\G  
    光线追迹仿真 EatpORq  
    YZoH{p9f  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 Bg#NB  
    •单击go！ ,+q5e^P  
    •获得了3D光线追迹结果。 bg$e80  
    & XrV[d[>  
     Bz24U wcZ  
    =GLsoc-b  
    光线追迹仿真 c\R! z&y~  
    ir\   
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 LN7;Yr  
    •单击go！ nVYh1@yLy  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 E2\)>YF{ P  
    zZDr=6|r_  
     A5nu`e9&  
    CjO/q)vV  
    场追迹仿真 Jw86P=  
    Ak1f*HGl|  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 |g7E*1Ie  
    •单击go！ 7g=Ze~aq  
    M"P$hb'F  
    `HHbQXB  
     b?Vu9!  
    场追迹仿真（相机探测器） u{\`*dNx  
    TM"i9a? ;  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 EKDv3aFQZ#  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 xxedezNko  
    "r|O /   
     4[5Z>2w  
    ]r#tJ T`M  
    场追迹仿真（电磁场探测器） GHoPv-#  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 K{ 0mb  
    2 OGg`1XX  
    , X|oCD  
     n ,H;PB  
    场追迹仿真（电磁场探测器） N($j;<Q  
     ;)o%2#I  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Bg34YmZ  
    ]P 2M  
     @ VJr0  
    ukZL  
     
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