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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 d+0^u(gc!8  
    "oe!M'aj`1  
    _KN: o10U  
     \ADLMj`F|  
    建模任务 T{tn.sT  
    e?P%wqB  
    ~;8I5Sge  
    概述 J0sGvj{  
    Wxn#Rk#>  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 Q ?^4\_  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ]+ZM/'X  
    >Mw'eQ0(y  
     _4v"")Xe  
    O@wK[(w^  
    光线追迹仿真 Y& 5.9 s@'  
    jM@?<1  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 Im+ 7<3Z  
    •单击go！ Zw#<E =\  
    •获得了3D光线追迹结果。 m8+:=0|$  
    ceG&,a$\  
     Z9VR]cf?  
    1x{kl01m%  
    光线追迹仿真 :BD>yOlG  
    q/x/N5HU  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 bb1  f/C%  
    •单击go！ @Z q[e   
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 0m A(:"  
    c0ZaFJ  
     $w/E9EJ)3A  
    ]-bQNYKX  
    场追迹仿真 |IN[uQ  
    P0 b4Hq3  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 1qZG`Vz  
    •单击go！ %K l(>{N  
    e2wvc/gG6  
    0>FE%  
     ;A"\?i Q  
    场追迹仿真（相机探测器） ]]PE#DDg  
    $DE&J4K  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 " #v%36U  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 l'uOORI  
    3AeH7g4<  
     x<>YUw8`  
    N}mh}  
    场追迹仿真（电磁场探测器） esI'"hVJ  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 f3#X0.':  
    v2>Z^  
    M*`hDdS  
     c\K<sM{  
    场追迹仿真（电磁场探测器） X~L!e}Rz  
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    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 H=<LutnZ  
    ) rpq+~b  
     ^Xs]C|=W  
    YtYy zX5u7  
     
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