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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 mucY+k1>g  
     h%E25in  
    h}g _;k5R  
     ]Q6,,/nn  
    建模任务 RD=!No?  
    E IsA2 f  
    vJtQ&,zG  
    概述 %Kw5 b ;  
    &.K8c phj  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 P`-(08t  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 TJ?}5h5  
    -x:Wp*,  
     F2z^7n.S  
    z]gxkol\  
    光线追迹仿真 <*8nv.PX*  
    !D7\$ g6g  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 b ?B"u^b!  
    •单击go！ sOz jViv  
    •获得了3D光线追迹结果。 'gI58#v  
    NO`LSF  
     44kY[jhf  
    o! sxfJKl  
    光线追迹仿真 ENA8o}n  
    &|n*&@fF  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 E36<Wog  
    •单击go！ !xj>~7  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ?mG ?N(t/h  
    nITr5$f  
     ,(OA5%A9zK  
    $`{}4,5M  
    场追迹仿真 B?#@<2*=L  
    )K8JDP  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 djZOx;/  
    •单击go！ ;#~rd8Z52  
    je_77G(F  
    :3Ty%W&&  
     B 8C3LP}?  
    场追迹仿真（相机探测器） _$MoMg{uJH  
    JeWW~y`e?{  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ZZ[5Z =te?  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 8eWb{n uJ>  
    "N7C7`izc  
     ;,Lq*x2s  
    YHvmo@  
    场追迹仿真（电磁场探测器） p1J%=  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 < g6 [mS  
    B<8Z?:3YS  
    &&_W,id`  
     ${6 ;]ye  
    场追迹仿真（电磁场探测器） .'__ [|-{;  
     >jN)9}3>-#  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 s x`C<c~u  
    _F,@mQ$!  
     VNXB7#ry  
    MJ}VNv|S  
     
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