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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 j. L`@  
    ve|`I=?2  
    W~&PGmRI  
     M;i4ss,}!  
    建模任务 w/(hEF '  
     Py)'%e  
    N<54_(|X  
    概述 =_/,C  
    4&c7^ 4w~  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 @Yy:MdREA  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 uJP9J  U  
    n^7$ST#'bV  
     E'g2<k  
    D|1pBn.b]'  
    光线追迹仿真  #' =rv  
    Fq<;-  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 > CPJp!u  
    •单击go！ 'h6Vj6  
    •获得了3D光线追迹结果。 /}Z0\ ,  
    }m~2[5q%/  
     S}rW=hO  
    :%?\Wj5HW  
    光线追迹仿真 ir4uy  
    D* oJz3[  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 :  Jh  
    •单击go！ Z-!W#   
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 / !*gH1 s  
    ^'|\8  
     1z\>>N$7B  
    MO{6B#(<F  
    场追迹仿真 `2Buf8|a,  
    N2"4dVV;  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 @42!\1YT  
    •单击go！ QcQ:hHF  
    %` c?cB  
    Xj\SJ*  
     i8`&XGEd  
    场追迹仿真（相机探测器） o 6$Q>g`]  
    BW>f@;egg  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 l/BE~gdl  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 p[QF3)9F  
    [1Dg_>lz  
     _J51 :pi  
    U+!H/R)(  
    场追迹仿真（电磁场探测器） uW&P1 'X  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ; b2)WM:  
    lrSo@JQ  
    S? }@2[  
     {.We%{4V  
    场追迹仿真（电磁场探测器） b|c?xHF}K  
     89B1\ff  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 &/7AW(?  
    N~ -N Q  
     XV2f|8d>  
    K%<Z"2!+  
     
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