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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 TcKt   
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    X5w_ }Nhe  
     iPeW;=-2Wk  
    建模任务 Um2RLM%  
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    poU1Q#+4p*  
    概述 Z;M th#  
    s=[T,:Z  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 J_`a}ox  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 \h48]ZjC`  
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    *VV#o/Q p  
    光线追迹仿真 =;A >1g$  
    KJP}0|[  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 Gr8%%]1!0  
    •单击go！ PP&9ORG  
    •获得了3D光线追迹结果。 Xc8 XgZk  
    OuMj%I  
     =)YDjd_=z  
    U+-R2w]#q_  
    光线追迹仿真 C'.^2s#e8  
    2|\WaH9P  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 9 .18E(-  
    •单击go！ 7Q0vwKC8>  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 DI0Wk^m  
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     Z>PS>6  
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    场追迹仿真 Mb:>  
    k@P?,r  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ~B\O{5W  
    •单击go！ $bFH%EA.  
    utU ;M*  
    &fe67#0r)  
     4L/nEZ!Nsu  
    场追迹仿真（相机探测器） Xmw%f[Xl  
    oS^g "hQ`\  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 4 z^7T  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 }6"l`$=Ev  
     N<~LgH  
     1Vx>\A  
    rEwd76?  
    场追迹仿真（电磁场探测器） a"m-&mN  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 3w}ul~>j  
    JH._/I  
    $6]1T>  
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    场追迹仿真（电磁场探测器） 2(k m]H^  
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    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 {]]#q0|  
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