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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 c~ Q 5A  
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    建模任务 #;<dtw  
    X/23 /_~L`  
    =[`gfw  
    概述 p i\SRDP  
    ~0 Mw\p%}  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 [)nU?l  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 _6C,w`[[6  
    >;k~B  
     =p#:v  
    Q=#!wWVP  
    光线追迹仿真 GD#W=O  
    ` NWmwmWB"  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 (0zYS_m A  
    •单击go！ ?^{Ey[)'(  
    •获得了3D光线追迹结果。 (h% xqXs  
    ou [Wz{  
     -d6PXf5  
    [};?;YN  
    光线追迹仿真 yeN(_t2.  
    {)& b6}2h  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 .,gVquqMY  
    •单击go！ ". wG~H  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 (t"rzH  
    WmZ,c_  
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    场追迹仿真 'd9cCQ}  
    @D@'S:3  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ph@2[rUp  
    •单击go！ D0 rqte  
    /{nZ I_v#  
    k1;Jkq~  
     <`*v/D7\02  
    场追迹仿真（相机探测器） WvWZzlw  
    8rSu,&<  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 %YI!{  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 Ox+}JB [  
    Z%I9:(  
     Aq{7WA  
    4mF=A$Q_/  
    场追迹仿真（电磁场探测器） IR<*OnKn  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 W[.UM  
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    K@;ls  
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    场追迹仿真（电磁场探测器） %{^kmlO  
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    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 )\,hc$<=m  
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