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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 -XIvj'u  
    :XZom+>2n  
    L\b_,'I  
     Jd2Y)  
    建模任务 2LH;d`H[0  
    fvMhq:Bu  
    9l_?n@   
    概述 P(nHXVSUE  
    ZjW| qb  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 xWb?i6)z&  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 UZ3Aq12U}a  
    RW[<e   
     n]c,0N  
    gL"Q.ybA  
    光线追迹仿真 &0Zk3D4  
    KBHKcFk  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 $v@$oPmMj  
    •单击go！ 7#. PMyK9  
    •获得了3D光线追迹结果。 QGG(I7{-  
    H>X1(sh#}  
     a(T4WDl^  
    Y8'_5?+ 0  
    光线追迹仿真 3^yWpSC  
    'wV26Dm  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 @@mW+16  
    •单击go！ rB|:r\Z(jG  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 slO9H6<  
    > 0)`uJ  
     ']e4 !  
    bO%ck-om!  
    场追迹仿真 }C`0" 1  
    <f{`}drp/  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 5MU@g*gj,C  
    •单击go！ >Nl~"J|]q  
    \1 D,Kx;Cb  
     2_v+q  
     ,8 ?*U]}  
    场追迹仿真（相机探测器） sn`?Foh  
     HcS^3^Y  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 !O_^Rn+<2  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ~M1%,]  
    D|3QLG  
     Xb 1^Oj  
    GhA~PjZS  
    场追迹仿真（电磁场探测器） , )3+hnFY  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 urjp&L&  
    *.Hnt\4|  
    58U[r)/  
     8k'em/M~  
    场追迹仿真（电磁场探测器） qqre d>K  
     "z4E|s  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Q[tz)99~  
    W\Y 4%y}  
     b?L43t,  
    X]%4QIeS  
     
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