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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 /~NsHStn  
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    建模任务 -hj@^Auf  
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    ~Z!!wDHS  
    概述 A|1 TE$  
    exrsYo!%  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 w~+5FSdH  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 z=:<]j#=  
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    光线追迹仿真 Y~EKMowI&e  
    VXXo\LQUU  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 #7I,.DUy[  
    •单击go！  98eiYh  
    •获得了3D光线追迹结果。 Xd/gvg{??0  
    9~98v;Z1  
     ?rID fEvV  
    cZI )lX  
    光线追迹仿真 [T#5$J  
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    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ?nJ7lLQA  
    •单击go！ Wc [@,  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 BV,P;T0"D  
    \PU3{_G]  
     rStfluPL  
    0yr=$F(]s  
    场追迹仿真 o:B?gDM  
    ss63/   
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 V{@ xhW0  
    •单击go！ XlIRedZ{  
    Ug02G  
    yzr>]"o  
     `RDl k  
    场追迹仿真（相机探测器） N p9N#m?  
    >ch{u{i6  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 7^,C=2  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 BqC, -gC  
    S o; ;  
     Y)^qF)v,d  
    )w];eF0c  
    场追迹仿真（电磁场探测器） G6K;3B  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 %Z~, F?  
    k%-_z}:3V  
    {Ts@#V=:  
     ^]c/hb|X  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ofbNg_K>  
     i0DYdUj  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Li~(kw3  
    54~`8f  
     ModwJ w  
    <![tn#_  
     
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