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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 rcV-_+KE(B  
    0Vkl`DmeM.  
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     bB!#:j>(v  
    建模任务 ?38lHn`FyQ  
    c.A Yx I"  
    T.REq4<  
    概述 J'b<z.OW  
    -(i(02PX  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 `ltN,?/  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 `lO(s%HC  
    *wuqa) q2  
     F>zl9Vi<  
    O~!T3APGU  
    光线追迹仿真 #`(WUn0H?  
    'fx UV<K&  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 !d,8kG  
    •单击go！ O:'?n8rWL  
    •获得了3D光线追迹结果。 (hB?  
    1|{bDlmt  
     '$G"[ljr  
    FS6<V0pil  
    光线追迹仿真 qH> `}/,P  
    5!I4l1  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 eSEq{ ?>  
    •单击go！ W#'c 5:m 4  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 MZV_5i@:  
    X T[zj <&_  
     Bj Wr5SJ  
    ?m7:if+ y  
    场追迹仿真 p8}(kHUp(  
    slu(SmQ  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 vAb^]d   
    •单击go！ 7j$Pt8$  
    P`$!@T0=  
    &Lm-()wb  
     |TsE-t*E}  
    场追迹仿真（相机探测器） 2f>PO +4S{  
    2 PqS%`XiS  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 G(iJi  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 K+Y^>N4m  
    gU&%J4O  
     o:S0*  
    @L/o\pvc  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 7ZxaPkIu&%  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 NTo!'p:s  
    "9!d]2.-Vk  
    1x)ZB~L  
     K+*Q@R D  
    场追迹仿真（电磁场探测器） O`G/=/GZ  
     q:\g^_!OGA  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 j.e0;! (L}  
    @"-</x3o  
     h RC  
    +Y"r71|A6+  
     
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