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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 m@2;9  
    =4H"&Eu{  
    MRn;D|Q  
     <6(&w9WY  
    建模任务 }.$5'VGO  
    tc2e)WZP  
    wFHbz9|@I  
    概述 z:+fiJB_  
    q=+AN</  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 }vGW lNd#g  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 G&?,L:^t  
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     (='e9H!3D  
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    光线追迹仿真 q4wS<, 3  
    6_#:LFke  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 #;WKuRv   
    •单击go！ [fjP.kw;J  
    •获得了3D光线追迹结果。 tXWh q  
    JJ=%\j  
     6 $k"B/k  
    u#&ZD|  
    光线追迹仿真 ivb?B,Lz0  
    TTSyDl  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 8U$(9X  
    •单击go！ "-U`E)]w*[  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 #3WKm*T/  
    X\yy\`o  
     aGRD`ra  
    6k@(7Mw8A  
    场追迹仿真 F CbU> 1R  
    n(}zq  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ~t` uq  
    •单击go！ c<c"n'  
    ~s[St0  
    [IgB78_$  
     P nxxW?  
    场追迹仿真（相机探测器） (*CGZDg  
    ?8O %k<?  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 w '<8l w  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 %9qG|A,cA  
    2VgDM6h  
     X4bB  
    K\2UwX  
    场追迹仿真（电磁场探测器） y_F{C 9KE  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 2Kg+SLU[~  
    H}[kit*9  
    />EH]-|  
     U~)i&":sN  
    场追迹仿真（电磁场探测器） q|N/vkqPz  
     L,<5l?u  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 \>%.ktG  
    OK6c"*<z  
     av.L%l&d  
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