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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 c]]e(  
    f@7HVv&  
    UEeq@ot/4  
     ,:=g}i  
    建模任务 tB)nQw7  
    ,d`6 {ll  
    pr?k~Bn  
    概述 z`esst\aV  
    @t{`KB+ ^  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 UVlh7wjg  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 #ni:Bwtl{  
    Bj*\)lG<  
     WNo7`)Kx  
    6QM$aLLP?  
    光线追迹仿真 P1qQ)-J  
    ,`,1s 9\&t  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 PP&9ORG  
    •单击go！ /hp [ +K  
    •获得了3D光线追迹结果。 x +]ek  
    yE{\]j| Zf  
     ^Gwpx +  
    Y?#aUQc  
    光线追迹仿真 ?DgeKA"A  
    CEh!X=Nn  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 X+[h]A  
    •单击go！ 7xh91EU:4  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 y%!zXK`cl]  
    7KJ%-&L^  
     Z_Y' 3'^Tw  
    t>}(` 0  
    场追迹仿真 m(KBg'kQ  
    DI0Wk^m  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 P{+,?X\  
    •单击go！ T6nc/|Ot  
    ~A03J:Yc7  
    8e"MP\0V  
     p)Fi{%bc  
    场追迹仿真（相机探测器） WX4 f3Um  
    l1%ubu  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 sv)4e)1  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 a[=;6!  
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     0iI|eE o  
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    场追迹仿真（电磁场探测器） >XPR)&t  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 $[0\Th  
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    场追迹仿真（电磁场探测器） &G)/i*  
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    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 3$4I  
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