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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 uYy&<_r  
    )4CF*>*6V  
    SO8b~N  
     0.kQqy~5  
    建模任务 _X"G(  
    TW)~&;1l  
    S{7 R6,B5  
    概述 Lq cHsUFj  
    Xn3 \a81  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ]s<}'&  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 C'oNGOEd  
    H=1Jq  
     r]lPXj(`  
    WB(Gx_o3  
    光线追迹仿真 <o:|0=Sw b  
    "79"SSfOc  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 MQ7Hn;`B  
    •单击go！ ]^c]*O[8  
    •获得了3D光线追迹结果。 7%F8  
    Im<(  
     {- Y.C*E  
    ml\2%07  
    光线追迹仿真 Aat-938FP6  
    ie9,ye"  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Uh=@8v  
    •单击go！ X$(Dem  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 $Q'S8TU  
    *p=a-s5-  
     lJ$j[Y  
    Ks_B%d  
    场追迹仿真 ux=0N]lc  
    | l|7[  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 nr>Os@\BU  
    •单击go！ 9W+RUh^W  
    %SJ2W>e  
    6&KvT2?tA`  
     Y24H` s1u/  
    场追迹仿真（相机探测器） WO<a^g {  
     V9cKl[  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 8 O% ?t  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 X^c2  
    1SO!a R#g  
     # @~HpqqR  
    }VI}O{  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 5*P+c(=  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 0kOl,%Ey  
    DSX.84  
    OD~B2MpM>  
     9#iv|X  
    场追迹仿真（电磁场探测器） gt Vnn]Jh  
     || 0n%"h>i  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ey ;94n:<  
    ?Ja&LNI9S  
     5kbbeO|0G  
    ;eQOBGX9  
     
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