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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 !<r+h,C 7'u<)V
T'\B17
:* $$ %4,\{l 建模任务 t`NZ_w / #p&&w1 -c-af%xD 概述 S<}2y 9F
x,$N!X •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 piYv}4;:( •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 s2f95<B Yhdt"@;..
r/v'h@ <@i.~EL 光线追迹仿真 #qkokV6` z'@j9vT •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 dxqVZksg(9 •单击go! KHwzQ<Z3 •获得了3D光线追迹结果。 i`[5%6\"& C!Cg.^;
EvZ;i^.8LS kN3 T/96 光线追迹仿真 \b{Aj,6, RmS|X"zc •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 hZGoiWC •单击go! /H#- \r&r •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 []HMUL]" yXU-@~
eXJt9olI ,w~0U 场追迹仿真 UeWEncN(
V|=PaO •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 2p\CCzw •单击go! 8N<0|u g\MHv#v*k :}d`$2Dz y*2R#jTA 场追迹仿真(相机探测器) ^NJ]~h{n$ 9hAS#|vK •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ""Ul6hRgv •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 dz/'
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a 场追迹仿真(电磁场探测器) }.Eq_wP< •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 B{|g+c% |\ Nj j,Sg?&"%= `abQlBb* 场追迹仿真(电磁场探测器) T1zft#1~ 1xK'1g72 •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 F-}-/N]o
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