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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 !<r+h, C  
     7'u<)V  
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    建模任务 t`NZ_w /  
    #p& &w1  
    -c-af%xD  
    概述 S<}2y9F  
    x ,$N!X  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 piYv }4;:(  
    •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 s2f9 5<B  
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    r /v'h@  
    <@i.~EL  
    光线追迹仿真 #qkokV6`  
    z'@j9vT  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 dxqVZksg(9  
    •单击go! KHwzQ<Z3  
    •获得了3D光线追迹结果。 i`[5%6\"&  
    C!Cg.^;  
    EvZ;i^.8LS  
    kN3T/96  
    光线追迹仿真 \b {Aj,6,  
    RmS|X"zc  
    •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 hZGoiWC  
    •单击go! /H#- \r&r  
    •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 []HMUL]"  
    yXU-@~  
    eXJt9olI  
    ,w~0U  
    场追迹仿真 UeWEncN(  
     V|=PaO  
    •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 2p\CCzw  
    •单击go! 8N<0|u  
    g\MHv#v*k  
    :}d`$2Dz  
    y*2R#jTA  
    场追迹仿真(相机探测器) ^NJ]~h{n$  
    9hAS#|vK  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ""Ul6hRgv  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 dz/' m7  
    gfQ&U@N  
    TR!^wB<F  
    34VyR a  
    场追迹仿真(电磁场探测器) }.Eq_wP<  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 B{|g+c%  
    | \Nj  
    j,Sg?&"%=  
    `abQlBb*  
    场追迹仿真(电磁场探测器) T1zft#1~  
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    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 F-}-/N]o q  
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