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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 ,,b_x@y*  
    1rT}mm/e;  
    ^vJ08gu_W  
     r'k-*I  
    建模任务 1%EIP -z  
    's!EAqCN  
    pO GVD  
    概述 NCl$vc;,  
    ]%F3 xzOk  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 44($a9oa2  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 V=\&eS4^"  
    w%j 6zsTz  
     ,7k)cNstW  
    X-6Se  
    光线追迹仿真 h}rrsVj3  
    X62z>mM  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 y! 7;Z~"  
    •单击go！ Z'PL?;&+R  
    •获得了3D光线追迹结果。 ` _[\j]  
    ~Og'IRf  
     +2MsyA?6_  
    {#0B~Zr  
    光线追迹仿真 sw8Ic\vT  
    l*xA5ObV  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 JKGUg3\~  
    •单击go！ *cq#>rN  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 sm4@ywd>  
    Ui'~d(F  
     <`~] P$  
    c;B Q$je}  
    场追迹仿真 :G,GHU'/78  
    E+UOuf*(  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 el 5F>)  
    •单击go！ ,|?B5n&  
    !\RR UH*  
    `p*7MZ9 -  
     ?r2Im5N  
    场追迹仿真（相机探测器） }0}J  
    ,TeDJ\k  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 >c8zMd  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ^7~=+0cF]  
    OCY7Bls4  
     l?Bv9k.^?  
    ir3iW*5k  
    场追迹仿真（电磁场探测器） C[_{ $j(J  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 VOp8 ,!  
    Kx ?}%@b  
    f+1)Ju~  
     wC..LdSR  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ,K8PumM_  
     VCkhK9(N  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 (gs"2  
    z2wR]G5!  
     x]Q+M2g?  
    Q3_ia 5 `O  
     
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