切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 《杂散光抑制与评估技术》 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) 光学设计与光学元件
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 现代光学设计及应用(Zemax) CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 1283阅读
    • 0回复

    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    7184
    光币
    30061
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 9<"l!noy  
    DC=XPn/V  
    *YWk.  
     <2fvEW/#v  
    建模任务 8LlWXeD9  
    Oyy E0  
    S[RVk=A1  
    概述 86~q pN  
    't3nh  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 p;LF-R  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 "XKd#ncP  
    KOD%>+vG$  
     Ryi% }!  
    d0-T\\U  
    光线追迹仿真 +qmV|$rmM  
    Ai5D[ykX  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 JPkI+0  
    •单击go！ incUa;  
    •获得了3D光线追迹结果。 CDWchY  
    jNP%BNd1f  
     DZV U!J  
    LZA pz}  
    光线追迹仿真 $~:|Vj5iZ\  
    <O]B'Wc [  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Dqm;twd>  
    •单击go！  X&.LX  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 41\V;yib  
    N"2P]Z r  
     ]s~%1bd  
    m/NXifi8l  
    场追迹仿真 Eo_; N c  
    mjbV^^>  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 k_7agW  
    •单击go！ &(rR)cG  
    sQ%gf  
    }G 1hB#j  
     iPt{v5}]  
    场追迹仿真（相机探测器） S$i3/t  
    };]f 3  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 &BQ%df<y\  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 +zSdP2s  
    @8V~&yqq  
     p`3$NCJN  
    XnV$}T:?X  
    场追迹仿真（电磁场探测器） #[NNb?`F  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 :faB7wduW;  
    s@5r}6?M  
    x|<89o L  
     - x]gp5  
    场追迹仿真（电磁场探测器） + xRSd *  
     IT\ x0b cv  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 !<j)D_  
    k^r-~q+NV#  
     5tl uS  
    Fx'E"d  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表