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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 :YqQlr\  
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    建模任务 l*K I  
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    概述 %9T~8L @.  
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    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ?aFr8i:)M  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ;GE26Ymqly  
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    光线追迹仿真 |P~O15V*Q  
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    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ^^7L"je]g  
    •单击go！ -ca7x`yo  
    •获得了3D光线追迹结果。 |*^8~u3J"  
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    光线追迹仿真 .P)s4rQ\  
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    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 U~uwm/h  
    •单击go！ C-llq`(d  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 bz{^h'  
    LH=d[3Y  
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    XC|*A$x,  
    场追迹仿真 |DN^NhtE  
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    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 CifA,[l34  
    •单击go！ 2E^"r jLm  
    }m6f^fs}  
    NWEhAj<w  
     lijB#1<8*  
    场追迹仿真（相机探测器） ,*/Pg 52?  
    sYGR-:K  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 t]s94 R q  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 <57g{e0I  
    }>2t&+v+  
     XZ.7c{B<  
    C<_ Urnmn  
    场追迹仿真（电磁场探测器） JXH",""bq  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 @-0Fe9 n=  
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    gs?8Wzh90*  
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    场追迹仿真（电磁场探测器） wHx}U M"  
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    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 hM?`x(P  
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