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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 "=7y6bM  
    e8HGST`  
    b%w?YR   
     [m>kOv6>^  
    建模任务 gZ!vRO <%  
    95.m^~5  
    G(LGa2;Zg  
    概述 U5uO|\+)  
    7$ vs X  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 o% ZtE  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 }Y/uU"t  
    3"ALohlL  
     Ae&470  
    S4/CL4=  
    光线追迹仿真 ZK =`Y@  
    3h:"-{MW.  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 \2q!2XWgK  
    •单击go！ WJefg  
    •获得了3D光线追迹结果。 2s(c#$JVS  
    by 'P}  
     s?=v@|vz)  
    ;pK/t=$  
    光线追迹仿真 ))y`q@  
    W\JbX<mQ  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 LvlVZjT  
    •单击go！ 9#K,@X5 j  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ~x:\xQti  
    0 K T.@P  
     Z=VAjJ;i[  
    ZPrL)']  
    场追迹仿真 Nj8 `<Sl  
    9i hB;m'C)  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 D6cqON0a.  
    •单击go！ ~>h_#sIBC  
    A4Dj4n0  
    )%8 ;C]G;  
     PuKT0*_ 7  
    场追迹仿真（相机探测器） ,>H(l$n  
    G}!dm0s$  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 _wMc7`6F  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 n< npJ*  
    W4 v/,g>  
     El3Y1g3+3  
    &e2|]C4  
    场追迹仿真（电磁场探测器） C%hMh/Li;  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 `zQ2 i}Uju  
    U^ bF}4m  
    A~MAaw!YE  
     s&T"/4  
    场追迹仿真（电磁场探测器） gXrPZ|iS  
     X rBe41  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 *G'R+_tdE  
    ={HYwP;  
     ZbmBwW_ 7  
    ^[]q/v'3m!  
     
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