切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 光学设计仿真实验指导 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) 光学设计与光学元件
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 现代光学设计及应用(Zemax) CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 970阅读
    • 0回复

    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    6634
    光币
    27319
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 T=W;k<P\k  
    K'@lXA:  
    l'Kx#y$  
     +qiI;C_P\  
    建模任务 Rk$  
    \r5L7y$9 h  
    *U}cj A:ZN  
    概述 &W*do  
    {k15!(:i~a  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 E=&":I6O  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 .[Nr2w:>  
    $p)e.ZMgE  
     Sdr,q9+__  
    j0.E!8Ae{  
    光线追迹仿真 yBYZ?gc  
    $ vt6~nfI  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 %Mxc"% w  
    •单击go！ F`e o3z  
    •获得了3D光线追迹结果。 Evy_I+l  
    )/FEjo  
     ;/R\!E   
    /V"6Q'D  
    光线追迹仿真 (/^dyG|X'  
    LUfo@R  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 {+CBThC  
    •单击go！ %h9'kJzNk  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 9:4m@dguh-  
    ai$s  
     ? \p,s-CR:  
    9 .3?$(  
    场追迹仿真 /$=<RUE  
    mrGfu:r  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ^$x1~}D  
    •单击go！ |Ca %dg9$@  
    R\Of ,  
    CYn56eRK  
     }c@duf-l  
    场追迹仿真（相机探测器） 0wpGIT!2  
    ]x1o (~  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 :7L[v9'  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 E/ {v6S{)Y  
    uMb[0-5  
     Qk?J4 B  
    pdq5EUdS  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ^tRy6zG  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 I2^@>/p8\(  
    VxqoE]Dh  
    xWxgv;Ah  
     u_'XUJ32!  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ^EZ?wdL  
     ,UATT]>  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Dwbt^{N ^  
    PE&$2(  
     G"|c_qX  
    c-`izn]  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表