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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 -QR]BD%J*[  
    S8+l!$7   
    tw =A] a*  
     /er{sKVX<  
    建模任务 m/jyc# L:u  
    m #G,m  
    >mpNn  
    概述 Mk=*2=d  
    r}sO},i  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 63_#*6Pv28  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 E2t& @t%W  
    =cb!2%?}  
     dtTfV.y4w  
     LAM{ ,?~  
    光线追迹仿真 @o*~\E<T  
    N 3O!8A_  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 It/hXND `  
    •单击go！ TQ :e! 32  
    •获得了3D光线追迹结果。 {T,}]oX  
    ZXkrFA |  
     KKb7dZbt<  
    kP/<S<h,g  
    光线追迹仿真 GVu[X?q@|  
    c`hENPhW  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 PhV/WjCZ  
    •单击go！ #G?#ot2o  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 =Ti@Y  
    (3Xs  
     Q9h=1G\K  
    rZ5xQ#IA  
    场追迹仿真 0u&x%c  
    ZZwIB3sNhf  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 :f%kk atO  
    •单击go！ X2;72  
    ntB#2S  
    aIQC[ry  
     /*BK6hc  
    场追迹仿真（相机探测器）  W/u(9  
    \CE+P5  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 KF@%tR}V{  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 VAjl?\}6  
    6/Yo0D>M$  
     PX0N7L  
    ( xzruI5P  
    场追迹仿真（电磁场探测器） R/fE@d2~In  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 T][c^K*  
    X(17ESQ/Y  
    CS*lk!C  
     l Le&q  
    场追迹仿真（电磁场探测器） #*lDKn[vO  
     xluA jOQ6  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 y!:vX6l  
    xXI WEZA  
     *SI,K)BP  
    ]]`[tVaFr  
     
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