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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 BRQ5  
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    建模任务 NIcNL(]  
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    概述 !&<Wc^PG  
    HoQ(1e$G-  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 UW~tS  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ,HjHt\!~<  
    N6 Cc%,  
     m0K2p~  
    aG&kl O>m  
    光线追迹仿真 b9!J}hto,  
    pz z`4VS:  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ;R-Q,aCM}  
    •单击go！ '"NdT7*+  
    •获得了3D光线追迹结果。 \}_7^)S;  
    Ffqn|} gb  
     1 </t #r  
    tLGwF3e$A  
    光线追迹仿真 q.Aw!]:!  
    t3kh]2t  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 2LK*Cv[  
    •单击go！ {Eb2<;1o{  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ny;)+v?mN\  
    Xv;ZAa  
     [ZpG+VAJ8  
    t`/RcAwA  
    场追迹仿真 {hp@j#  
    "gVH;<&]  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 P xuz {  
    •单击go！ qv >(  
    Bk(XJAjY  
    "Kf~`0P  
     CX(yrP6;  
    场追迹仿真（相机探测器） 0Nzv@g{3  
    aIyY%QT  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 a[OLS+zf!P  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 +]2~@=<@  
    5^R#e(mr  
     [aVJYr2  
    H<3b+Sg  
    场追迹仿真（电磁场探测器） L ~' N6  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 -cC(d$y  
    # SOj4W  
    q>h+Ke  
     sJ*U Fm{  
    场追迹仿真（电磁场探测器） *fyEw\`a  
     WN?`Od:y  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 <\Dl#DH  
    k.VOS 0  
     o".O#^3H%  
    rY+1s^F  
     
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