切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 光学系统设计：理论、仿真与系统检测 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) ZEMAX光学系统设计实战
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 光学设计与光学元件 CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    • 854阅读
    • 0回复

    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    6401
    光币
    26150
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 xy>mM"DOH  
    %)V3QnBO  
    yRDLg c  
     _Z&R'`kg  
    建模任务 U"Oq85vY  
    cKAl 0_[f"  
    eD0@n :  
    概述 H\vO0 <X  
    XwMC/]lK<  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 eyV904<F  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ^;bkU|(`6  
    24fWj?A|^  
     +a;j>hh  
    ,;y^|X  
    光线追迹仿真 [XK"$C]jHJ  
    5Tq 3L[T5;  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 $4pW#4/4  
    •单击go！ HDOaN  
    •获得了3D光线追迹结果。 u:$x,Q  
    mHy]$Z  
     $'Z!Y;Ue  
    &-A 7%"  
    光线追迹仿真 ~ 5b %~:  
    nFSa~M  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Hn)=:lI  
    •单击go！ ~MX@-Ff  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 Xs/hqIXB  
    EC0auB7G  
     zO,sq%vQn'  
    xAflcY>Ozs  
    场追迹仿真 XA68H!I  
    I uDk9<[b:  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 zD'gGxM1  
    •单击go！ A 3l1$t#w  
    _1~Sj*  
    -~g3?!+Hb  
     Yu=^`I  
    场追迹仿真（相机探测器） >J1o@0tk  
    =zKp(_[D  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 I~I%z'"RQd  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 !8$}]uWP  
    Y~6pJNR  
     6-~  
    7~&Y"&  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ?l/rg6mbI'  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 6yU~^))bx  
    =[,adB  
    ;S7xJ 'H  
     Y'P8`$  
    场追迹仿真（电磁场探测器） t65!2G"<  
     x9=lN^/4  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 b#M<b.R)  
    h$!qb'|  
      <KpQu%2(  
    DuWP)#kg  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表