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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    在线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 c@H_f  
    i-1lppI  
    Ky"]L~8$  
     ! 6y<jJ>  
    建模任务 Uc oVp}vl  
    q\+khy,k  
    Wp2b*B=-  
    概述 6z;C~_BV  
    W(jXOgs+_  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 Dn{ hU $*  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 @9-/p^n1  
    "},0Cs  
     kmfz=q?  
    sEBZ-qql  
    光线追迹仿真 \#1*r'V8  
    Djv0]Sm^!  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 Q[g>ee  
    •单击go！ F_28q15~:  
    •获得了3D光线追迹结果。 | %E\?-TK  
    3&H#LGoV$  
     +Fn^@/?yC  
    z4qw*. 5  
    光线追迹仿真 KDx~^OO  
    CKC%|xke  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 >lyX";X#  
    •单击go！ lqD.epm  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ?&qa3y)wX:  
    Y&vn`#   
     U5rcI6  
    UNx|+  
    场追迹仿真 -)cau-(X  
    FE}!I  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 7d9kr?3(U  
    •单击go！ lrn3yDkR?  
    XwI~ 0  
    '. Ww*N  
     U`{'-L.  
    场追迹仿真（相机探测器） r'!HWR  
    WCa>~dF>  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 {_#~&IQ  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 E;$;g#ksf  
    o+9b%I^1V  
     ixK& E#  
    gmCW__oR  
    场追迹仿真（电磁场探测器） C!]R0L*  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 jO` b&]0  
    2Fi ~GY_  
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     ^,P# <,D,  
    场追迹仿真（电磁场探测器） {zTo[i  
     + F{hFuHV  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 "c0I2wq  
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