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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 m<FWv2)^  
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    建模任务 ~|r'2V*  
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    概述 $KwI}>E4  
    f.aB?\"f6  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 d%#!nq{vd  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 qLQ <1>u  
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    n*vTVt)dJ  
    光线追迹仿真 <fC@KY>#  
    Ge^zX$.'  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 VxkCK02k  
    •单击go！ (B _7\}v|_  
    •获得了3D光线追迹结果。 QQg8+{>  
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     kCaO\#ta  
    vU_d=T%$  
    光线追迹仿真 }J ei$0x  
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    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 X(Y#9N"  
    •单击go！ e2]4a3  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 e/"yGQu  
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     V=j-Um;  
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    场追迹仿真 S=0"f}Jo.  
    ..t,LU@|  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 n S_Ta  
    •单击go！ _BZ1Vnv  
    &8[ZN$Xe"  
    G(U9rJ9  
     qP~WEcH`[  
    场追迹仿真（相机探测器） 1R0ffP]  
    ~Cjz29|gp  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 \~JNQ&_o  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 =N YgGEFq.  
    8YuJ8KC  
     :ozV3`%$(  
    T n"e   
    场追迹仿真（电磁场探测器） NH7`5mF$  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ~I{EE[F>qL  
    D Irgq|8  
    Ye9Y^+-  
     c_ La^HS  
    场追迹仿真（电磁场探测器） e]lJqC  
     |u@+`4o  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 >_XOc  
    Og,Y)a;=  
     t#C,VwMe[  
    n[!;yO  
     
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