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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 89+m?H]K  
    }5zH3MPQH  
    ~EE*/vX  
     @*A(#U8p3  
    建模任务 )Ky 0q-W  
    {lx^57v  
    Ca?pK_Y  
    概述 3Mr)oM< Q  
    ;y4 "wBX  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ikyvst>O  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 vnXpC!1  
    mbJ#-^}V  
     z}u  
    tUz!]P2BUO  
    光线追迹仿真 wjKW 3  
    ?%*Zgk!l7  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 J=zh+oLCV  
    •单击go！ jO!!. w  
    •获得了3D光线追迹结果。 8%vk"h:u:  
    PNg,bcl  
     fvN2]@:  
    vV8 y_  
    光线追迹仿真 wR>\5z )^  
    Gq+!%'][P  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 UAUo)VVi"  
    •单击go！ (fY(-  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 'DRyOJnr  
    zF\k*B  
     y;sr# -L  
    :N%]<Mq  
    场追迹仿真 V&)-u(s_S/  
    Ql [ =  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 'rq [P",  
    •单击go！ gd/W8*NFR  
    )jCAfdnCs  
    H[!by)H  
     >E[cl\5$E  
    场追迹仿真（相机探测器） =(.HO:#  
    ML Id3#Q  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 eUx|_*`  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 d}ue/hdw  
    pkBmAJb@  
     Q]IpHNt[>  
    ECU:3KH>MF  
    场追迹仿真（电磁场探测器） +r4^oT[-  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 )6IO)P/Q~  
     A5Y z|  
    b[$l{RQ[?  
     q3 1swP  
    场追迹仿真（电磁场探测器） LI"ghz=F  
     c KF 8(  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 sq&$   
    5BTQJa  
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