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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 \K_!d]I {  
    5JU(@}Db  
    b]so9aCz  
     Ivt)Eg  
    建模任务 T_oW)G  
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    c~0VNuN  
    概述 L!+[]tB  
    1^WA  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 qs8K jG@  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 My6]k?;}(  
    H~_^w.P  
     zM8/ s96h  
    @WDqP/4  
    光线追迹仿真 P :7l#/x_  
    S{"6PXzb  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 0\_R|i_`>  
    •单击go！ e~2*> 5\:  
    •获得了3D光线追迹结果。  ZZFI\o  
    zOu$H[  
     PE;0 jgsiI  
    8tFyNl`c  
    光线追迹仿真 ]uj.uWD  
    xt<, (4u  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 g6a3MJV`  
    •单击go！ u UVV>An  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 {L2Gb(YLW  
    <8z[,X}bM  
     bcx{_&1p  
    %BYlbEx  
    场追迹仿真 B'BbTI,  
    uy*x~v*I]  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 <,]CVo  
    •单击go！ 1^H<+0  
    DRmh(T  
    z_,]fd=o  
     -I$txa/"|  
    场追迹仿真（相机探测器） uTlT'9)  
    IDk:jO  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 n5,Pq+[  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 3_1Io+uXk  
    iDkWW  
     M3ZJt'|  
    23n8,} H,  
    场追迹仿真（电磁场探测器） EV7+u0uN&Q  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Mb/6>  
    kq.R(z+  
    XY t8vJ  
     ~PAbLSL*u  
    场追迹仿真（电磁场探测器） @okm@6J*X  
     g7Q*KA+  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 "y ,(9_#  
    \3:{LOr%*  
     hr}R,BR|  
    1oW]O@R  
     
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