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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 uY*|bD`6&  
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    建模任务 U{~R39  
    AHtLkfr(r  
    4f{(Scg  
    概述 |h75S.UY  
    *kWrF* )J  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 4e5 5  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 K#oF=4_/|  
    UXN!iU)  
     mtu`m6Xix  
    z4[S02s  
    光线追迹仿真 )4/227b/(  
    dr8`;$;G*  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 KgMW  
    •单击go！ ]>\!}\R<  
    •获得了3D光线追迹结果。 ;*_U)th  
    Uq}-<q  
     -jOCzp  
    "lJ [H=\  
    光线追迹仿真 Kv26rY8Q  
    M,nLPHgK  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Z )f\^  
    •单击go！ , ,=7deR  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 60u}iiC@  
    ;wkoQ8FD9  
     GMO|A.bzzN  
    235wl  
    场追迹仿真 V`MV_zA2  
    I%<,JRAV  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。  'WW['  
    •单击go！ @hE$x-TP0  
    y $K#M  
    \.7O0Q{  
     < BNCo5*  
    场追迹仿真（相机探测器） |p1 pa4%}  
    /K./k!'z  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 q:D!@+U  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 z|gG%fM  
    ^%qh E8  
     u LXV,  
    e~,/Z\i  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 8O5@FU 3  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 j 4B|ktf  
    xe3t_y  
    wEImpsC`  
     _+\hDV>v  
    场追迹仿真（电磁场探测器） -UM5&R+o  
     ages-Z_X  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 &E>zvRBQ  
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