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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 JLd-{}A""- GuK3EM*_
Zt_~Zxn3 lXtsnQOOK 建模任务 V>Dqw! H9;0$Y(e- i;Dj16h 概述 Z8C~o)n9 <W]
RyEg` •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 4)"S/u •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 lfvt9!SJ+/ 8[b_E5!V
[Ef6@ mR|L'[l 光线追迹仿真 [ Y+Ta, |L/EH~| O •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 yPrF2@#XZ/ •单击go! vf&_
N •获得了3D光线追迹结果。 "QD>m7 r[?GO"ej5
}7non BP4xXdG 光线追迹仿真 M*!WXQlud `j1oxJm •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 [Dhqyjq •单击go! TAxu ]C$P •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 H )51J:4 44NMof8N
HQvJ*U4++ GO?hB4 9T 场追迹仿真 7}:+Yx 3CzF@t;5 •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 !4-4i •单击go!
(C;Q< jme`Tyd _ amP:h }?\^^v h7 场追迹仿真(相机探测器) e2e!"kEF G9^xv •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 V/3@iOwD •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 @XJ#oxM^ - "NK"nb
@U3:9~Q E!'6vDVC: 场追迹仿真(电磁场探测器) 78 w •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 dz?On\66 ~-<MoCm! jDb"|l `OfD^Q= 场追迹仿真(电磁场探测器) TjDtNE %s497' •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 s+~GQcj<T (\D E1q
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