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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 JLd-{}A""-  
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    建模任务 V>Dqw!  
    H9;0$Y(e-  
    i;Dj16h  
    概述 Z8C~o)n9  
    <W] RyEg`  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 4)"S /u  
    •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 lfvt9!SJ+/  
    8[b_E5!V  
    [Ef6@  
    mR|L'[l  
    光线追迹仿真 [ Y+Ta,  
    |L/EH~| O  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 yPrF2@#XZ/  
    •单击go! vf&_ N  
    •获得了3D光线追迹结果。 "QD>m7  
    r[?GO"ej5  
    }7non  
    BP4xXdG  
    光线追迹仿真 M*!WXQlud  
     `j1oxJm  
    •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 [Dhqyjq  
    •单击go! TAxu]C$P  
    •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 H )51J:4  
    44NM of8N  
    HQvJ*U4++  
    GO?hB4 9T  
    场追迹仿真 7}:+Yx  
    3CzF@t;5  
    •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 !4-4i  
    •单击go! (C;Q<  
    jme`Tyd  
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    }?\^^v h7  
    场追迹仿真(相机探测器) e2e!"kEF  
    G9^xv  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 V/3@iOwD  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 @XJ#oxM^  
    -"NK"nb  
    @U3:9~Q  
    E!'6v DVC:  
    场追迹仿真(电磁场探测器) 78 w  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 dz?On\66  
    ~-<MoCm!  
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    场追迹仿真(电磁场探测器) TjDtNE  
    %s497'  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 s+~GQcj<T  
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