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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 ~%<PEl|  
    l$zNsf.  
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    建模任务 n|,Es!8:o  
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    (S2<6Nm8  
    概述 ]ei] ) JI  
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    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 `/HygC6  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 20fCWVw}?}  
    @W. `'b-  
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    光线追迹仿真 Xrz0ch  
    W2<X 5'  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 yBl<E$=  
    •单击go！ &1Y+ q]  
    •获得了3D光线追迹结果。 }s)Z:6;(,q  
    \6lXsu;I.X  
     ~(Tz <  
    +\W"n_PPy  
    光线追迹仿真 &>s(f-\8  
    mdZELRu  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 "q(&<+D@  
    •单击go！ <=zGaU,  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 xS(sRx+A  
    t&&OhHK  
     "|Pl(HX  
    fk"{G>&8  
    场追迹仿真 lp9<j1Wl  
    'sA&Pm  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 K&X'^|en  
    •单击go！ 4/h2_  
    Qb|dp~K.M  
    HAiUFO/R  
     sbs"26IE  
    场追迹仿真（相机探测器） c8'8DM  
    jqLyX  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 !;xE7w  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 r zvX~B6  
    ko:I.6-K  
     s{IoL_PJP  
    H,I}R  
    场追迹仿真（电磁场探测器） cpy"1=K~M  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 O<E0L&4-&  
    uqyf3bK  
    |`okIqp  
     5{5ABV  
    场追迹仿真（电磁场探测器） %*gO<U4L]  
     #<~f~{x  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 XgbGC*dQ  
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     +sI.GWQ_:  
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