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白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 h9>~?1$lz d3 fE[/oU 3M+hjc. rM=Q.By+\ 2. 建模任务 NZi5rXN n KDX=73
bveNd0hN 1,,o_e\nn3 3. 干涉条纹的变化 9);a 0}*5 #u|;YC
;=F^G?p^ /LPSI^l!m 4. 走进VirtualLab Fusion SZ1+h TY7d DWm$:M4z
UZmzk z/6kxV 89 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 8'Z9Z*^h#x c}g^wLa
VSms hld Eq~&d.j 6. VirtualLab Fusion 技术 ?Xh=rx_ gPQ2i])"Q
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