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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 *g$agyOfh 'rx?hL3VW
SOI)/u e\~l!f'z 建模任务 sV'v*
1| VR v02m5 CZfE
|T~ 仿真干涉条纹 A\C'dZ <N c
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Z++^YVE 9}XT'+`y •设置输入场 xPvRQ −基本光源模型[教程视频] `5<1EGJsD •使用导入的数据自定义表面轮廓 ) MBS •定义元件的位置和方向 eE,;K1 − LPD II:位置和方向[教程视频] LJ
l1v •正确设置通道以进行非序列追迹 CK Mv7 −非序列追迹的通道设置[用例] pVz pN8! •使用参数运行检查影响/变化 54wM8'+ −参数运行文档的使用[用例] )"-fHW+fy z'e1"Y. zf7rF} ?w8pLE~E VirtualLab Fusion技术 X{'wWWZC kDg{>mf
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