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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 $B$=,^)3 #Q$4EQB
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$ P, S9gG9 建模任务 93'%aSDI% .vT'hu
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kiC 仿真干涉条纹 9)4N2= Js=|r;' ~$Mp >ZB2W 走进VirtualLab Fusion <&+l;z m?M(79u[ vys*=48g txL5'mK VirtualLab Fusion中的工作流程 nt5 ~"8 -k<.Q=]<t •设置输入场 @pG\5 Jnf −基本光源模型[教程视频] N?pD"re)6 •使用导入的数据自定义表面轮廓 sV77WF •定义元件的位置和方向 pP".?|n − LPD II:位置和方向[教程视频] Pq_Il9 •正确设置通道以进行非序列追迹 Rw.
Uz& −非序列追迹的通道设置[用例] CMF1<A4] •使用参数运行检查影响/变化 :*oI"U*f −参数运行文档的使用[用例] }RoM N$r fqZ!Bi <B`=oO%o y'zEaL&SI@ VirtualLab Fusion技术 |"@E"Za^ G! 87F/
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