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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 `_vPElQXZ# "|i1 AR:I
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4Was# 建模任务 cY} jPDH 'tTlBf7# 0(&uH0x 仿真干涉条纹 #~j $J >]}VD "\ 5%S5*c6BD 走进VirtualLab Fusion b5g^{bzwu F@/syX;bb5 8;=?F>]xn &h[)nD VirtualLab Fusion中的工作流程 L\Oxyi<{ \yymp70w •设置输入场 BCExhp −基本光源模型[教程视频] )FB<gCh7X •使用导入的数据自定义表面轮廓 *RkvM?o@jC •定义元件的位置和方向 R7Tl1!,h − LPD II:位置和方向[教程视频] xG~-. •正确设置通道以进行非序列追迹 7TAoWD3
−非序列追迹的通道设置[用例] ed,+Slg •使用参数运行检查影响/变化 ^?%ThPo_ −参数运行文档的使用[用例] JKmd'ZGw "~C\Z} ; rGH7S!\AM >y+j!)\ VirtualLab Fusion技术 8Pom^QopK d{!zJ+n
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