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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 H/Llj.-jg %Q.&ZhB
F{UP;"8' s>^dxF!+ 建模任务
6H'HxB4 KCWc`Oz 3\Xbmq8} 仿真干涉条纹 w+N> h;j s M +WkN}{ Aj0Tfdxy 走进VirtualLab Fusion zD<or&6 G_SG v'BZs ,u/aT5\_ VirtualLab Fusion中的工作流程 f aLtdQi -N"&/) •设置输入场 yR4|S2D3xn −基本光源模型[教程视频] ?.YOI.U^ •使用导入的数据自定义表面轮廓 v{A
KEX* •定义元件的位置和方向 H=\3Jj(4 − LPD II:位置和方向[教程视频] Ud!4"<C_ •正确设置通道以进行非序列追迹
?]x|Zy −非序列追迹的通道设置[用例] Pcw6!xH •使用参数运行检查影响/变化 6qp%$>$Vt; −参数运行文档的使用[用例] #es9d3~\ xe*aC /"B?1?qc,= 'z$Q rFW VirtualLab Fusion技术 HvVts\f 0A( +ZMd
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