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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 N&,]^>^u 9'[ N1Un.=
\ZI'|Ad r'GP$0rr9! 建模任务 Iu[|<Cx 9?<{_' pkgjTXR2b 仿真干涉条纹 ?jx1R^ NZ0O,}m qS|\JG 走进VirtualLab Fusion c; 2#,m^ Wb}c=hZv P"/G u #w29Pm VirtualLab Fusion中的工作流程 Az;t" f+_h !j •设置输入场 FRu]kZv2 −基本光源模型[教程视频] g%[c<l9 •使用导入的数据自定义表面轮廓 `Ag{) •定义元件的位置和方向 jho**TQ P − LPD II:位置和方向[教程视频] 2-N 'ya •正确设置通道以进行非序列追迹 p Z: F:
−非序列追迹的通道设置[用例] BZ54*\t •使用参数运行检查影响/变化 "pP^*9FrA −参数运行文档的使用[用例] 4d b(<h z`UhB%-? ).^}AFta 4%nE*H% VirtualLab Fusion技术 R_XR4)(< l
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