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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 F\|4zM vm'Z A7f6
QodWUbi'& >k/cm3 建模任务 )^+hm+27v xu%eg] &/WE{W 仿真干涉条纹 1j:aGj>{ n.z,-H17 DfP-(Lm) 走进VirtualLab Fusion qZ&~&f|>e Ak8Y?#"wz ! Dj2/][ v"Ax'() VirtualLab Fusion中的工作流程 RS
l*u[fB 14jN0\ •设置输入场 ! ?/:p. −基本光源模型[教程视频] ,v,rY' •使用导入的数据自定义表面轮廓 mt`CQz"_ •定义元件的位置和方向 RjVmHhX − LPD II:位置和方向[教程视频] U+@U/s%8 •正确设置通道以进行非序列追迹 Qh(X7B −非序列追迹的通道设置[用例] [~ 2imS •使用参数运行检查影响/变化 $LFL4Q −参数运行文档的使用[用例] nSC2wTH!1 " aCAA#$J xLDD;Qm, ,"XiI$Le VirtualLab Fusion技术 T'@+MA) ~ ]z/R?SM
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