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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 &XG k fzcPi9+
~{69&T}9 }{FKs!(4 建模任务 CbPCj.MH ]MI>"hn Twqkd8[ 仿真干涉条纹 'zYKG5A Bfh[C]yy dzA5l:5 走进VirtualLab Fusion 6 0C;J!D p1}Y|m! OPm?kr g;p]lVx=> VirtualLab Fusion中的工作流程 ?l\1n,!:8 si`{>e~`6P •设置输入场 X`xI~&t_ −基本光源模型[教程视频] 2 uuI_9 "^ •使用导入的数据自定义表面轮廓 oL?[9aww •定义元件的位置和方向 [h"#Gwb=; − LPD II:位置和方向[教程视频] TTNgnP •正确设置通道以进行非序列追迹 1-z*'Ghys −非序列追迹的通道设置[用例] *7`N^e •使用参数运行检查影响/变化 _W@SCV)yH −参数运行文档的使用[用例] @\~qXz{6J NF?FEUoxz XBJ9"G5 *~p~IX{ VirtualLab Fusion技术 M~&|-Hm
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