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    [技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-27
    扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 :n oZ p:a  
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    VirtualLab Fusion中的工作流程 p1,.f&(f  
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    •设置输入场 .H5^N\V|  
    −基本光源模型[教程视频] A*? Qm  
    •使用导入的数据自定义表面轮廓 "D ivsq^  
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    − LPD II：位置和方向[教程视频] m>'#664q1  
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    −非序列追迹的通道设置[用例] ?O/!pUAu  
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    −参数运行文档的使用[用例] .vpx@_;]9  
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