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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 x#c%+ > xie+ ^
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R=;n M~,N~ N1 Ze"m;T 仿真干涉条纹 28x:]5=jb g`r4f%O P]%)c6Uh 走进VirtualLab Fusion +Hkr\ r}i}4K[1 r2G38/K B<\HK:%{ VirtualLab Fusion中的工作流程 8KMo !p\i HvLx •设置输入场 %_%BbQf −基本光源模型[教程视频] i)th] 1K% •使用导入的数据自定义表面轮廓 H7dT6`<~Y •定义元件的位置和方向 $(+#$F<eo+ − LPD II:位置和方向[教程视频] 14z
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