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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 Aqc( o^NQ]BdH8
v>e4a/ ^KhFBed 建模任务 FUOvH85f R.fRQ>rI cK?t]%S 仿真干涉条纹 LTCjw_<7 m7@`POI tDwXb> 走进VirtualLab Fusion %Wu8RG} q)vD "{0. <zUmcZ K0#tg^z5d VirtualLab Fusion中的工作流程 .Q#Eb %% iVl"H@m/ •设置输入场 IrVeP&KM+ −基本光源模型[教程视频] C8jZcs#4 •使用导入的数据自定义表面轮廓 - Z|1@s& •定义元件的位置和方向 t3WlVUtq3 − LPD II:位置和方向[教程视频] ruW6cvsvet •正确设置通道以进行非序列追迹 yQW\0&a$
−非序列追迹的通道设置[用例] B\mdOTLQ •使用参数运行检查影响/变化 &]M<G)9 −参数运行文档的使用[用例] [|>.iH X o4J K$% nxJhK
T xM*v!J, VirtualLab Fusion技术 .xD-eWw3R `#UTOYx4
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