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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 _<8~CWo: UGb<&) )Z=S'm
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a 建模任务 <Wwcd8d Qms,kX (v)/h>vS 仿真干涉条纹 }Z,x F` J-k/#A4o rP7[{'%r 走进VirtualLab Fusion .XVW2ISv vT&)
5nN )&") J}@ na4^>:r~ VirtualLab Fusion中的工作流程 j1141md5 Sc/\g •设置输入场 SZ&I4- −基本光源模型[教程视频] TOx >Z •使用导入的数据自定义表面轮廓 Jqp;8DV} •定义元件的位置和方向 0XWhSrHM − LPD II:位置和方向[教程视频] n$u@v(I •正确设置通道以进行非序列追迹 ]Uu :t −非序列追迹的通道设置[用例] qk
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