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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 R3?~+y& D1o 8Wo
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建模任务 ,J}lyvkd P2`ks[u+i hXz"}X n 仿真干涉条纹
~{^AP MYN1zYT6j @'C)ss =kj 走进VirtualLab Fusion 2i,Jnv=sR ^jf$V#z0/ -)y"EJ(N D|e 6$O5o VirtualLab Fusion中的工作流程 ec=4L@V* 7DOAG[gH •设置输入场 g-+p(Ll| −基本光源模型[教程视频] Q96g7[ •使用导入的数据自定义表面轮廓 5Qy,Pkje •定义元件的位置和方向 l'
"< − LPD II:位置和方向[教程视频] \F1nEj •正确设置通道以进行非序列追迹 +Kf::[wP7 −非序列追迹的通道设置[用例] D"^ogY#LK •使用参数运行检查影响/变化 Y Nq<%i!> −参数运行文档的使用[用例] 5+ fS$Q
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