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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 wX@H
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8" xq8}6Q •设置输入场 p|xs|O6{ −基本光源模型[教程视频] pW`ntE#L •使用导入的数据自定义表面轮廓 cu)@P 0I •定义元件的位置和方向
MYKs??]Y1 − LPD II:位置和方向[教程视频] 0-6:AHix •正确设置通道以进行非序列追迹 2(@LRl>: −非序列追迹的通道设置[用例] = E##},N" •使用参数运行检查影响/变化 gNG0k$nP −参数运行文档的使用[用例] 5)h+(u C3 -Y5YCY!` g|_HcaW T2;v<( VirtualLab Fusion技术 * [iity j=`y
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