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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 !$Whftg 7E]qP
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pj9*$.{ ,3P@5Ef 建模任务 QMQ\y8E 0vjlSHS;`. lq_(au. 仿真干涉条纹 AL{r/h 5oTj^W8M( d#vo)> 走进VirtualLab Fusion b uOpHQn !V O^oD7 ~bnyk%S
o : pkOZ+t VirtualLab Fusion中的工作流程 4 >`2vb pW,)yo4 •设置输入场 LLD#)Jl{? −基本光源模型[教程视频] Pu0 <Clh •使用导入的数据自定义表面轮廓 9%&
=n •定义元件的位置和方向 {"vTaY@ − LPD II:位置和方向[教程视频] !3;KC"o •正确设置通道以进行非序列追迹 .EB'n{zxd −非序列追迹的通道设置[用例] 4^3lG1^YY •使用参数运行检查影响/变化 AA &>6JB{ −参数运行文档的使用[用例] N% !TFQf ;_iDiLC; H-C$Jy)f" r-8fvBZ5 VirtualLab Fusion技术 m/bP`-/, kdW$>Jqb
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