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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 nXg:lCI-uu -!ARVf *
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] Wpdn^=dhL 建模任务 3[a&|!Yw s (hJ * e=).0S`*F 仿真干涉条纹 ({5`C dVi 1c2zFBl.& pAm
L 走进VirtualLab Fusion i:@n6GW+iw vz*'1ugaA O^_$cq jx?"m=`s: VirtualLab Fusion中的工作流程 NmH:/xU?^ jW!x!8= •设置输入场 !L({i') −基本光源模型[教程视频] |#Q4e51H •使用导入的数据自定义表面轮廓 Vlka+$4! •定义元件的位置和方向 (TF;+FRW − LPD II:位置和方向[教程视频] yf/c •正确设置通道以进行非序列追迹 op|:XLR5 −非序列追迹的通道设置[用例] #6'+e35^ 8 •使用参数运行检查影响/变化 w%NT
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