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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 'Aq^z%| KN}#8.'>3
(/A.,8Ad ;z'&$#pA 建模任务 fx;rMGa hY`<J]-'` 2lTt 仿真干涉条纹 "wgPPop OG5{oH#K zjmoIE 走进VirtualLab Fusion \u,CixV= #_DpiiS,.Q ,Kv6!ib6Q Uu_qy(4 VirtualLab Fusion中的工作流程 p*Z<DEh# 287j,'vR •设置输入场 Z)7{~xq −基本光源模型[教程视频] zG9FO/@av •使用导入的数据自定义表面轮廓 %g9ym@s •定义元件的位置和方向 w!m4>w − LPD II:位置和方向[教程视频] 1CC0]pyHX •正确设置通道以进行非序列追迹 Gdow[x −非序列追迹的通道设置[用例] [+\He/M6 •使用参数运行检查影响/变化 eKiDc=@ −参数运行文档的使用[用例] ,;pUBrz/[ vFUp$[ SY,ns*>1F 7nB4(A2[S4 VirtualLab Fusion技术 ^T&{ORWz \l/(L5gY
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