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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 ['Hl$2 j = ;4cDmZh
LY-fp+ b[%sKl 建模任务 K]1A,Q =bi:<%" qn5e[Vn 仿真干涉条纹 :D""c* !X*+Ct^ \GO^2&g( 走进VirtualLab Fusion Ivmiz{Oii An{`'U(l 79^Y^.D TmxhP
nJ~ VirtualLab Fusion中的工作流程 9@9(zUS| zW+X5yK •设置输入场 p8aGM-+40W −基本光源模型[教程视频] n6Je5fE •使用导入的数据自定义表面轮廓 G~5EAeG •定义元件的位置和方向 dDK4I3a − LPD II:位置和方向[教程视频] }6*+>? •正确设置通道以进行非序列追迹 G>&Ta p> −非序列追迹的通道设置[用例] 0K<y
} •使用参数运行检查影响/变化 aAhXHsZ|26 −参数运行文档的使用[用例] QpxRYv Uus%1hC%a :m#[V7
S:aAR*<6 VirtualLab Fusion技术 I]+xerVd -.<fGhmU
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