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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 ;L&TxO>#J KgN)JD>
wM_c48|d h$N0D ! 建模任务 _ pO ` R}mn*h6 Z/rTVAs@r 仿真干涉条纹 ) _ I,KEe e?bYjJq 5<L_|d)0" 走进VirtualLab Fusion P,=+W(s9} lnGq :- =uDgzdDyE
fI\9\x VirtualLab Fusion中的工作流程 %<8nF5 7*DMVok: •设置输入场 d2s OYCKe −基本光源模型[教程视频] PCn Q_A-Q •使用导入的数据自定义表面轮廓 L!_ZY •定义元件的位置和方向 -G,^1AL> − LPD II:位置和方向[教程视频] >!6i3E^ •正确设置通道以进行非序列追迹 W0jZOP5_.$ −非序列追迹的通道设置[用例] 80M;4nH^5 •使用参数运行检查影响/变化 .yENM[-bQ −参数运行文档的使用[用例] ^[Cv26 %7`f{|. drwgjLC+ >\ST-7[^L VirtualLab Fusion技术 midsnG+jnf 27ckdyQx
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