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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 xj JoWB J5}?<Dd:
&H2j3De d26#0Gt-4i 建模任务 ;bFd*8?; fdgjTX 8Y;2.Z`Rz 仿真干涉条纹 5[P^O6' h@Ix9!?+ Or-LQ^~ 走进VirtualLab Fusion AA}+37@2I X|y0pH:S _$KkSMA~_ [!4V_yOb VirtualLab Fusion中的工作流程 PrF('PH7i #,OiZQJC •设置输入场 *]ME]2qP −基本光源模型[教程视频] y 48zsm{ •使用导入的数据自定义表面轮廓 e?; •定义元件的位置和方向 %4w#EbkSS − LPD II:位置和方向[教程视频] }U**)" •正确设置通道以进行非序列追迹 |lh&l<=(f −非序列追迹的通道设置[用例] 9<5ii •使用参数运行检查影响/变化 LtK,_j −参数运行文档的使用[用例] H h%|}*f_, MF+F8h>/ 3C2~heO>| pK)!o VirtualLab Fusion技术 ;kD
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