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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 Igo`\JY Za@\=}Tt
Oc)n,D)0 #}~tTL 建模任务 3!P^?[p3 kepuh%KY[
+Y?Tr i 仿真干涉条纹 ?'V78N sA fG 2)r @fd< 走进VirtualLab Fusion +Nn >*sz k5RzW4zq; Hca(2 ]T- <$nPGz)} VirtualLab Fusion中的工作流程 "@x(2(Y& :V9Q<B^ •设置输入场 LW=qX%o{ −基本光源模型[教程视频] \9+,ynJH8z •使用导入的数据自定义表面轮廓 %<yW(s9{ •定义元件的位置和方向 e{8C0= − LPD II:位置和方向[教程视频] oIrc))j,$ •正确设置通道以进行非序列追迹 kH 9k<{ −非序列追迹的通道设置[用例] I(6%'s2 •使用参数运行检查影响/变化 +C=vuR −参数运行文档的使用[用例] lg|6~=aQ
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