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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 lgAoJ[ CT@ jZtg0
T~?Ff|qFC Rh2+=N<X 建模任务 G5_=H,Vmd @s>Czm5 Xq4O@V 仿真干涉条纹 Z#jZRNU%ox )* : gqN mUC)gA/ 走进VirtualLab Fusion H'5)UX@LP G't$Qx,IC yN0Vr\r2 5pG}Yk_(x VirtualLab Fusion中的工作流程 5ta `%R_ pad*oPH, •设置输入场 %Xg4b6<9 −基本光源模型[教程视频] ssA`I<p # •使用导入的数据自定义表面轮廓 9=M$AB •定义元件的位置和方向 g/_5unI}u − LPD II:位置和方向[教程视频] ]%SH> •正确设置通道以进行非序列追迹 |i*37r6]= −非序列追迹的通道设置[用例] hag$GX'2k •使用参数运行检查影响/变化 @7c?xQVd$ −参数运行文档的使用[用例] 6wRd<]C /<k/7TF` 7WqH&vU| VCfl`Aq'l VirtualLab Fusion技术 m~ABC#,2 @;4zrzQi7
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