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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 wpdT " J$oJ
2#!D" F X9J^Olq 建模任务 dj#<,e\ x8[8z^BV?e ]So%/rOvX 仿真干涉条纹 d{&z^ =0Mmxd&o=M ?`xId;}J#7 走进VirtualLab Fusion WW.=>]7; he,T\}; y<
84Gw_ %/7`G-a.B VirtualLab Fusion中的工作流程 j,Y=GjfGM tF4"28"h •设置输入场 YG_3@`-< −基本光源模型[教程视频] &AzA0r&, •使用导入的数据自定义表面轮廓 ty ~U~ •定义元件的位置和方向 $d'Gh2IGA − LPD II:位置和方向[教程视频] J<2N~$ •正确设置通道以进行非序列追迹 lH[N*9G( −非序列追迹的通道设置[用例] ev>: 3_ s •使用参数运行检查影响/变化 :mij%nQ>$ −参数运行文档的使用[用例] &wJ"9pQ~6E Kxg09\5i \(Iy>L. n`6vM4rM) VirtualLab Fusion技术 c7'Pzb)' .gB#g{5+J
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