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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 s B
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Bv9kSu9'~ sL^yB 建模任务 9$1)k;ChP/ \9{F5Sz Bh]!WMAw. 仿真干涉条纹 iL]'y\?lv D'_Bz8H!p e8P-k3a"5: 走进VirtualLab Fusion y\c"b-lQX Dg>^A .Y*f2A.v 1(#;&:$`i VirtualLab Fusion中的工作流程 f{&bOF v y$W|~ H •设置输入场 ^%>kO, −基本光源模型[教程视频] (Ddp|a"b •使用导入的数据自定义表面轮廓 {b)~V3rsY •定义元件的位置和方向 LnsD − LPD II:位置和方向[教程视频] )?aaBaN$ •正确设置通道以进行非序列追迹 g"_C,XN −非序列追迹的通道设置[用例] JXqr3Np1 •使用参数运行检查影响/变化 1B=>_3_ −参数运行文档的使用[用例] FnFb[I@eu 'gMfN =8{WZCW5 OE`X<h4r VirtualLab Fusion技术 W"q@Qa`Bm MCTsi:V>+
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