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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 &6 s) X YJg,B\z}
VErv;GyV (&|_quP7O 建模任务 -9
!.m RIu~ @ '{I_\~* 仿真干涉条纹 a,F&`Wg D(p\0V b*a2,MiM 走进VirtualLab Fusion S##1GOO :@W.K5 iv`O/T fO'Wj`&a VirtualLab Fusion中的工作流程 >Vy>O&r Sxdsv9w •设置输入场 $aHAv/&(5 −基本光源模型[教程视频] MMB@.W •使用导入的数据自定义表面轮廓 g %K> •定义元件的位置和方向 Om{l>24i.\ − LPD II:位置和方向[教程视频] 6sIL.S~c) •正确设置通道以进行非序列追迹 r`)L~/ −非序列追迹的通道设置[用例] M(#m0xB •使用参数运行检查影响/变化 26X+
}^52 −参数运行文档的使用[用例] #HS]NA|e@ PH"hn] N#lDW~e' .@
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