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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 ^a&-GhX; RN(>37B3_
5}d"nx x_&=IyU0j 建模任务 B]Vnu7 |F_Z VPG+]>* 仿真干涉条纹 xxWrSl`fB YY~BNQn6d n\8;4]n 走进VirtualLab Fusion % c[Q_ +L(0R&C VhdMKq~` >*#clf;@p VirtualLab Fusion中的工作流程 jiS|ara" ]B'Ac%Rx •设置输入场 |_q:0qo −基本光源模型[教程视频] bqjj6bf'o •使用导入的数据自定义表面轮廓 5ve4 u •定义元件的位置和方向 6( 1xU\x − LPD II:位置和方向[教程视频] f>$Ld1 •正确设置通道以进行非序列追迹 [C)JI; \ −非序列追迹的通道设置[用例] ^B[%|{cO •使用参数运行检查影响/变化 {k.Dy92 −参数运行文档的使用[用例] 2
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