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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 (]mBAQ#hw M^l%*QF[,q
!T)_(}|6} jZ5ac=D&I 建模任务 A9Ea}v9: G~&q
c3fi<?0&| 仿真干涉条纹 G^ <m0ew| H
9/m6F 1GR|$E 走进VirtualLab Fusion B[w.8e5 UZiL NKc ~9!@BL\ %|/\Qu VirtualLab Fusion中的工作流程 vqUYr VWXyN •设置输入场 fK@UlMC]7 −基本光源模型[教程视频] 33}p02# •使用导入的数据自定义表面轮廓 qixnaiZ •定义元件的位置和方向 .gRb' − LPD II:位置和方向[教程视频] ="@f~~ •正确设置通道以进行非序列追迹 fE|"g' −非序列追迹的通道设置[用例]
0lqh;/ •使用参数运行检查影响/变化
_,Q -)\ −参数运行文档的使用[用例] 5``usn/&Kj u[wDOw IA=\c ,HE{&p2y VirtualLab Fusion技术 N1:)Z`r tnb'\}Vn
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