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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 )'4k|@8| uxzze~_+C
Ck!VV2U# 8A+SjJ4$ 建模任务 T16{_ 2^l[(N Bn(W"=1 仿真干涉条纹 u,w:SM@*( ivW(*c >b]S3[Q( 走进VirtualLab Fusion wy}k1E'M x*Y@Q?`>5W 4'LB7}WG 3fh8$A VirtualLab Fusion中的工作流程 HdPoO; N+y&,N, •设置输入场 m2v'WY5u −基本光源模型[教程视频] `IY/9'vT •使用导入的数据自定义表面轮廓 l!g]a2x* •定义元件的位置和方向 1rDqa(7 − LPD II:位置和方向[教程视频] g'|MA~4yB •正确设置通道以进行非序列追迹 *7wAkljP −非序列追迹的通道设置[用例] 6MxKl
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