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    [技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-27
    扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 J#H,QYnf(L  
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    VirtualLab Fusion中的工作流程 \kV|S=~@  
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    •设置输入场 U.Vn|s(`z  
    −基本光源模型[教程视频] VDv.N@ ) 7  
    •使用导入的数据自定义表面轮廓 \c{sG\ >  
    •定义元件的位置和方向 Muq~p~m}  
    − LPD II：位置和方向[教程视频] ~Fo2MwE2~  
    •正确设置通道以进行非序列追迹 f uU"  
    −非序列追迹的通道设置[用例] #k/T\PQ0s  
    •使用参数运行检查影响/变化 z|],s]F>G  
    −参数运行文档的使用[用例] vv)O+xt  
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    VirtualLab Fusion技术 pk'd& .  
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