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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 $!H;,Jxv Mj2`p#5wKh
. =yF 7A<X!a 建模任务 WzDL(~m+Z a9}7K/Y=d nc4KeEl 仿真干涉条纹 ga%gu9 iGlg@ `bY>f_5+ 走进VirtualLab Fusion KP,#x$Bg avxr|uk KxhMPvN' q|r^)0W VirtualLab Fusion中的工作流程 vgKZr "MM)AY*b •设置输入场 g3B%}!| −基本光源模型[教程视频] __LR!F]=i •使用导入的数据自定义表面轮廓 rvfS[@>v •定义元件的位置和方向 rr~O6Db − LPD II:位置和方向[教程视频] }w&W\g+E$ •正确设置通道以进行非序列追迹 x
*:v]6y −非序列追迹的通道设置[用例] w>S;}[fM •使用参数运行检查影响/变化 pUF$Nq>og −参数运行文档的使用[用例] Z{XF!pS%H weX%S? ]WFr5 GW{e"b/x VirtualLab Fusion技术 \*yH33B9 -,:^dxE'
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