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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 Ayqs~&{ tg#jjXV\0p
%u&Vt"6m= NR_3nt^h 建模任务 x+6z9{O ]] 0 M 45.g ; 仿真干涉条纹 ^i_v\E[QU M\CzV$\y ~Uv#) 走进VirtualLab Fusion 2'M5+[8y8 i7h^L)M oowofi(E v*GS>S VirtualLab Fusion中的工作流程 _/>I-\xWA XZ@+aG_%q •设置输入场 L{>rN`{ −基本光源模型[教程视频] !=.y[Db= •使用导入的数据自定义表面轮廓 PZV>A!7C8n •定义元件的位置和方向 fmv:vs /9 − LPD II:位置和方向[教程视频] kn>qX{W •正确设置通道以进行非序列追迹 O
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!tK −非序列追迹的通道设置[用例] Z.@n7G •使用参数运行检查影响/变化 VM<0_R24z −参数运行文档的使用[用例] ZR3,dW6S ['\R4H!x uQ[,^Ee&/ lc5(^~ VirtualLab Fusion技术 w]T_%mdk jA:'P~`Hj
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