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[求助]APC充氧的作用 [复制链接]

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在线xzaxd

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只看楼主倒序阅读楼主发表于: 2022-06-16

请教各位大佬，镀膜中的APC充氧有什么作用？

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离线ouyuu

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只看该作者 1楼发表于: 2022-06-18

补充氧气，稳定真空度。
不同真空度下，膜的分布和致密度都是不一样的。

在线xzaxd

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只看该作者 2楼发表于: 2022-06-20

但是不是真空度越高对膜层堆叠越好吗？

离线奔跑的小骏马

助理工程师

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只看该作者 3楼发表于: 2022-06-21

APC充氧主要作用是保证镀膜材料氧化充分，不然吸收会比较大

离线ouyuu

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只看该作者 4楼发表于: 2022-07-02

回 xzaxd 的帖子

xzaxd:但是不是真空度越高对膜层堆叠越好吗？ (2022-06-20 11:34) 2#^g] o-N

理论上是这样。但是实际上也要考虑机台生产的稳定性。在清机初期抽速较好的情况下，人为的降低一点真空度。有射频离子源的情况下，一般离子源才是供氧的主力。（APC流量一般小于离子源供氧）

在线xzaxd

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只看该作者 5楼发表于: 2022-07-05

回 ouyuu 的帖子

ouyuu:理论上是这样。但是实际上也要考虑机台生产的稳定性。在清机初期抽速较好的情况下，人为的降低一点真空度。有射频离子源的情况下，一般离子源才是供氧的主力。（APC流量一般小于离子源供氧） (2022-07-02 19:40) qP;1LAX

明白了！谢谢版主

在线xzaxd

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只看该作者 6楼发表于: 2022-07-05

回奔跑的小骏马的帖子

奔跑的小骏马:APC充氧主要作用是保证镀膜材料氧化充分，不然吸收会比较大 (2022-06-21 18:22) l SKq

好的！

离线18844167969

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只看该作者 7楼发表于: 2022-08-29

解决吸收，保证材料充分氧化

离线wflney

助理工程师

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只看该作者 8楼发表于: 2022-10-02

补充氧气，稳定真空度

离线shenhan0701

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只看该作者 9楼发表于: 2023-03-29

APC功能上就是压力控制仪，一般和离子源或者MFC（流量质量控制器）配合使用，用来稳定镀膜真空度维持氧气分压的

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