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    [求助]APC充氧的作用 [复制链接]

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    离线xzaxd
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2022-06-16
    请教各位大佬,镀膜中的APC充氧有什么作用?
     
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    离线h391485168
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    只看该作者 10楼 发表于: 2023-06-26
    回 18844167969 的帖子
    18844167969:解决吸收,保证材料充分氧化 (2022-08-29 16:14)  nb::,  
    .`*h2  
    解决吸收,是为了提高穿透吗?
    离线shenhan0701
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    只看该作者 9楼 发表于: 2023-03-29
    APC功能上就是压力控制仪, 一般和离子源或者MFC(流量质量控制器)配合使用,用来稳定镀膜真空度维持氧气分压的 6?8x[l*5M  
    0} v_usP  
    离线wflney
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    只看该作者 8楼 发表于: 2022-10-02
    补充氧气,稳定真空度
    离线18844167969
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    只看该作者 7楼 发表于: 2022-08-29
    解决吸收,保证材料充分氧化
    离线xzaxd
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    只看该作者 6楼 发表于: 2022-07-05
    回 奔跑的小骏马 的帖子
    奔跑的小骏马:APC充氧主要作用是保证镀膜材料氧化充分,不然吸收会比较大 (2022-06-21 18:22)  I[td:9+hK@  
    Zcq 4?-&  
    好的!
    离线xzaxd
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    只看该作者 5楼 发表于: 2022-07-05
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:理论上是这样。但是实际上也要考虑机台生产的稳定性。在清机初期抽速较好的情况下,人为的降低一点真空度。有射频离子源的情况下,一般离子源才是供氧的主力。(APC流量一般小于离子源供氧) (2022-07-02 19:40)  $j~oB:3n7  
    \I\'c.$I.Y  
    明白了!谢谢版主
    离线ouyuu
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    只看该作者 4楼 发表于: 2022-07-02
    回 xzaxd 的帖子
    xzaxd:但是不是真空度越高对膜层堆叠越好吗? (2022-06-20 11:34)  4\q7.X+^  
    B{ NKDkDH  
    理论上是这样。但是实际上也要考虑机台生产的稳定性。在清机初期抽速较好的情况下,人为的降低一点真空度。有射频离子源的情况下,一般离子源才是供氧的主力。(APC流量一般小于离子源供氧)
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    只看该作者 3楼 发表于: 2022-06-21
    APC充氧主要作用是保证镀膜材料氧化充分,不然吸收会比较大
    离线xzaxd
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    只看该作者 2楼 发表于: 2022-06-20
    但是不是真空度越高对膜层堆叠越好吗?