[求助]APC充氧的作用 [复制链接]

请教各位大佬，镀膜中的APC充氧有什么作用？

主要是氧化，防止脱氧折射率变化

ouyuu:理论上是这样。但是实际上也要考虑机台生产的稳定性。在清机初期抽速较好的情况下，人为的降低一点真空度。有射频离子源的情况下，一般离子源才是供氧的主力。（APC流量一般小于离子源供氧） (2022-07-02 19:40)  ts9wSx~[+  

tW/g0lC%  
学习了... Fx|`0LI+C  

18844167969:解决吸收，保证材料充分氧化 (2022-08-29 16:14)  _huJ*W7lR  

E|"SMA,  
解决吸收，是为了提高穿透吗？

APC功能上就是压力控制仪， 一般和离子源或者MFC（流量质量控制器）配合使用，用来稳定镀膜真空度维持氧气分压的 tfGs|x  
0BlEt1e2T  

补充氧气，稳定真空度

解决吸收，保证材料充分氧化

奔跑的小骏马:APC充氧主要作用是保证镀膜材料氧化充分，不然吸收会比较大 (2022-06-21 18:22)  _ox+5?>  

Za:j;u Y  
好的！

ouyuu:理论上是这样。但是实际上也要考虑机台生产的稳定性。在清机初期抽速较好的情况下，人为的降低一点真空度。有射频离子源的情况下，一般离子源才是供氧的主力。（APC流量一般小于离子源供氧） (2022-07-02 19:40)  ;ArwEzo(  

+,Eam6g{  
明白了！谢谢版主

xzaxd:但是不是真空度越高对膜层堆叠越好吗？ (2022-06-20 11:34)  t@%w:*&  

z/7q
#~J,  
理论上是这样。但是实际上也要考虑机台生产的稳定性。在清机初期抽速较好的情况下，人为的降低一点真空度。有射频离子源的情况下，一般离子源才是供氧的主力。（APC流量一般小于离子源供氧）