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可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 : ky`)F` PI9,*rOy
5=pE*ETJ 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) ^_WR) F'K z'YWomfZm 建模任务 0q}i5%m7 x-BU$bx5
[,o:nry'a bA^uzE 单次FMM仿真结果 |oY{TQ<<d !HY^QK
G:AA>t 2u3Kyn 参数扫描(1D) 7Ak<e tHD 7%*#M#(T
&dyQ6i$], Coi[cfg0 参数扫描(2D) EXDDUqZ5\ pY31qhoZ. 2"IV ^O07GYF
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