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可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 okbQ<{9 PDs@?nz, (L^]Lk
x) 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) wgCa58H76 ;4Y%PVz~D 建模任务 dFKM
8_jH O,Cb"{qH8 g+J-Zg6 _/i4MtM 单次FMM仿真结果 'Lu__NfN tH-C8Qxy d_IAs xlQBe-Wg 参数扫描(1D) YW7b)uYf #B4%|v;`E? <J^MCqp!v xg3:} LQ 参数扫描(2D) 4^M ~]QHk?[wc Hv2De0W EOCN&_Z;
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