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可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 /@k#tdj PQkw)D<n]_
v^b4WS+.: 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) Os@b8V 8,A |MFAP!rycS 建模任务 x_nwD" ![\-J$
Ctz#9[| qK a}O* 单次FMM仿真结果 :.,9}\LK tO8\} u4c
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