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可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 nf^k3QS\ _^A
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pNsLoNZ3w 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) meWq9:z =1?yS3 建模任务 fXQRsL8
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)}lV41u O/~^}8TLL 单次FMM仿真结果 [Y~ s P.P>@@+d
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