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可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 #>O+!IH sdXZsQw
7o$S6Y;c4 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) ?pkGejcQ AQgm]ex< 建模任务 ^%}PRl9 _PGS"O?j
]I(<hDuRp lBNB8c0e"{ 单次FMM仿真结果 }cERCS\t *&$2us0%%
D[<~^R;* ]3CWb>!_ 参数扫描(1D) gi<%: [jT DQ%(X&k
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