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可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 +Vg(2Xt lsV>sW4]Z
@yGnrfr 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) 7'+`vt#E EW]DzL3 建模任务 tic3a1 g,E)F90
tLJ 7tnB Fz8& Jn! 单次FMM仿真结果 O#tmB?n* ->|eMV'd
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R?:K\ pz2E+o 参数扫描(2D) KXTk.\c (QFZM"G =2Ju)!%wr \.P'8As
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