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可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 %P<hW+P! ! +a. Ei
r A`V}>Xj 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) N nRD|A u8'Zl8g 建模任务 UvJ}b %>yG+Od5Z
_>5(iDW0 wrc,b{{[iM 单次FMM仿真结果 lsJSYJG& |N4.u
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tWJZoD6}h u__9Z:+ 参数扫描(1D) A}BVep@D -C;^3R[
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?8I?'\F; fFMlDg[]; 参数扫描(2D) D60aH!ft @fHi\W2JG &4 {KV. #pT"BSz]
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