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可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 *Wuctu^9 B'lxlYV1
kp<} 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) ;?HZ,"^I 3ZJagJ\O 建模任务 2gC&R1H ]B-$p p
8n. "5,P 6{Cu~G{]N 单次FMM仿真结果 !=q:>}g R1b
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;5JIY7t L]L~TA<D9i 参数扫描(1D) +(h6{e%) wEHrer
G+QNg.pH t$PnQ@xu 参数扫描(2D) q3pN/f;kr, p*W ZY=Q uX5--o=C nm:let7GB
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