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可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 ij? zA[0mkC?$ qbv#I; 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) vsa92c@T t*?0D\b
2 建模任务 /z}~zO l&[;rh 8cA~R- e6!LS x}y 单次FMM仿真结果 mQY_`&Jq ;INW`b~ @WI2hHD 0@EwM 参数扫描(1D) EI^06q4x KG=h& =MvjLh"s "U\4:k`: 参数扫描(2D) -e8}Pm
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