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    [技术]使用傅里叶模态法分析闪耀光栅 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2022-06-13
    可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中，可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定结构在不同配置下的性能。 J0%e6{C1  
    wtm=  
     m :M=De  
    傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA） c-?2>%;(V  
     R]Iv?)Y  
    建模任务 I=vGS  
    Qv v~nGq$  
     ;|a,1#x  
    5(+9( \x  
    单次FMM仿真结果 f`^\v  
    #KFpT__F  
     ,)u7PMs  
    :h(r2?=7  
    参数扫描（1D） $N@EH;{_0  
    #RN"Ul-B|  
     T^b62j'b5_  
    i,3[0*ge  
    参数扫描（2D） n"Gow/-;  
       #z. QBG@  
    1G6 %?Iph  
    Lt<KRs  
     
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