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可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 ns%gb!FBJX \KnRQtlI
}ofb]_C, 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) UP^8Yhdo mA{?E9W 建模任务 ]5jS6@Vl* Q3tyK{JE
U@NCN2I q4[8\Ua 单次FMM仿真结果 LAlwQ^v| `=H*4I-"
~jL%l `jGeS[FhR 参数扫描(1D) k}v`UiGM *rmC3'}s
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