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可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 mw.aavB 9jBr868
;8kfgpM_ 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) ~u1JR`y E&v-(0 建模任务 ?%n9g)>Yej %?wE/LU>
skArocs [$+61n}.12 单次FMM仿真结果 (~o+pp! (jMp`4P
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