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可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 m}D;=>2$ uJ0'`Q?6R9
M,kO7g 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) HEc.3 B:UM2Jl
建模任务 j$s/YI: t~4Cf])
sz/^Ie-~ Q1yXdw 单次FMM仿真结果 \I}EWI 9(!AKKrr;
=6 zK1Z t\YM Hq<Y 参数扫描(1D) b+arnKo1fk fdwP@6eh
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