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可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 C.#Ha-@uz m%})H"5
./3/3&6 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) w<THPFFF" zfI{cMn'J 建模任务 x?B`p"ifS q:M'|5P
%hBwc#^ h(AL\9{=} 单次FMM仿真结果 g||
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I>l^lv&[+ ~"\v(\P e 参数扫描(1D) PE6,9i0ee 7_Te-i
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