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可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 -qW[.B $!q(-+(
.KeZZLH 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) ]ML(=7z" zMI_8lNz 建模任务 2M`:/ shq
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L!l`2[F| "MX9h }7 单次FMM仿真结果 edZhI BSd\Sg4
[19QpK WM uJ@C-/BD!M 参数扫描(1D) X:kqX[\> 2}<_l 2
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