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    [技术]使用傅里叶模态法分析闪耀光栅 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-13
    可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中，可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定结构在不同配置下的性能。 7,d^?.~S  
    /Tv=BXL-  
     zT6ng#  
    傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA） #U{^L{1Gx  
     vS6}R5  
    建模任务 ! %S9H2Lv  
    qN1(mxa.?  
     gz;().{  
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    单次FMM仿真结果 #?k$0|60  
    lNs 'jaD  
     JR<#el  
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    参数扫描（1D） 9TjAEeU  
    is}o5\JEL  
     &n|#jo(gS  
    ..X efNbl  
    参数扫描（2D） %qcBM~efT  
       +*WE<4"!6  
    =3?t%l;n  
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