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可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 .5g}rxO8 oBw}hH,hp
,h!X k 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) 0>Fqx{!heq sx-F8:Qa 建模任务 BLW]|p|1: .Z5[_'T
UB&2f> +k
rFB?>` 单次FMM仿真结果 oEAfowXSqk #Wx=v$"
$,P\)</VR ;](h2Z`3s 参数扫描(1D) (9z|a, GYqJ!,
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