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可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 n)yDep]$G d(IJ-qJN =g+}4P 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) eT
b!xb A]c'TT@6 建模任务 >zJHvb)b\ /&Q{B f ]SJ#:7 N7?]eD 单次FMM仿真结果 T0 K!Msz E2DfG^sGV B:h<iU:'D UZ<K'H,q 参数扫描(1D) )j;^3LiV3 gnJ8tuS fd[N]I3 m%0-3c( 参数扫描(2D) @gN"Q\;F \2@J^O1, J9lZ1,22 96w2qgc2
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