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可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 fov=Yd! 5ih"Nds[H
a[74%L? 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) #C,f/PXfaB jPYe_y 建模任务 q4.dLU,1 m~j\?mb{+
n@07$lY@; o&XMgY~ 单次FMM仿真结果 |N=@E,33 r0g/ :lJi
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