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可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 eg3L:rk_ [bjN
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RtC'v";6 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) +O+<Go@a ?2ItB `<( 建模任务 #s2B%X QU/3X 1W
eOnTW4 iF9_b 单次FMM仿真结果 ~HmxEk9 YH\j@^n
PZ,z15PG] aFY u}kl 参数扫描(1D) 8!zbF<W9 <m-.aK{9
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