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可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 7UdM S/9DtXQ
yXHUJgjl/ 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) Dey<OE& (oEC6F 建模任务 m 8aITd8 2QJ{a46}
3HcQ(+Z 1Cgso` 单次FMM仿真结果 ?}kG`q /SrCElabP
v7iuL6jl -OapVa c 参数扫描(1D) ;c4gv,q@ e[&L9U6GW-
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