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可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 $PAAmaigi sZ;Gb^{Z
PB!XApTb 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) i"pOYZW1 i0J`{PbI 建模任务 v`]y:Ku|wR *aFY+.;U`
=LGSywWM9 gXM+N(M- 单次FMM仿真结果 $15H_X*! R[)bGl6#
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H8=:LF zqBzataR: 参数扫描(2D) /J&ks>St g"(@+\XZH" y.6/x?Qc 9v?@2sOoE
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