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可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 \$ss ^}wF^ _
DVKb`KJ" 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) {{gt>"D, 5dD8s-;^T 建模任务 BS?$eai@:9 49}WJC7
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VhAJ1[k4! IXm[c@5l 单次FMM仿真结果 zfg+gd)Z *W>, 98
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