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可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 (!L5-8O Jju#iwb
k?B[>aQn.0 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) feM6K!fL` g|X ;ahTT 建模任务 21X`h3+= dUrElXbXd
'dG%oDHX]P sic"pn],U 单次FMM仿真结果 y&~w2{a ;*TIM%6#
"ww|&-W9 796\jf$ 参数扫描(1D) }Db[ 4 Cwa^"r3P1
B(g_Gm< S{t +>/ 参数扫描(2D) 7cP@jj r|Z3$J{^" Qj{8?lew } p
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