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可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中，可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定结构在不同配置下的性能。 FE1En
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 !wro7ilMB 傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA） u =(.}
M?[ 'HoRo 建模任务 9G6auk.m.O
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 wvr`~ e kkj_k:Eah 单次FMM仿真结果 |(Xxi
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