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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-05-18
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 )X;051Q  
    W]oa7VAq  
     MVnN0K4  
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    建模任务 ,-hbwd~M  
    #}Yrxf  
     DuNindo 8  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) q}+zN eC  
     @I}VD\pF  
    某一位置的Talbot图样 cnS;9=,&  
    S)g:+P  
     6I: 6+n  
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    某一位置的Talbot图样 _P=+\ [|y  
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    不同位置的Talbot图样 j g//I<D  
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    不同位置的Talbot图样 V y$*v  
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    沿Z轴的强度 gyD;kn\CP  
    a _+?#m  
     h}! 9?:E  
    F|{uA/P{  
    走进VirtualLab Fusion zBlv?JwG  
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     (ix.  
    2mn AL#  
    VirtualLab Fusion的工作流程 Db<#gH  
    Vi:^bv  
     构建光栅结构 P woiX#vz  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] %0}^M1  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] );%H;X+x  
    hO&b\#@~  
     通过参数运行计算不同位置的强度 c\2rKqFD8  
    - 参数运行文件的使用 [用例] qx b]UV,R  
    G~o!u8^;  
    =$Mf:F@  
    3r, ~-6  
    VirtualLab Fusion技术 Vn4wk>b}$2  
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