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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-05-18
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 f<!3vAh  
    AGwFD  
     SSi-Z  
    B o@B9/ABv  
    建模任务 U}9B wr^  
    ^4jIT1  
     :Ja]Vt  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) vj?v7  
     -b1VY4m-  
    某一位置的Talbot图样 >3R%GNw  
    k_A.aYe  
     3hzI6otKS  
       jY.iQBhjEB  
    某一位置的Talbot图样 Bq}p]R3X  
    Z4eu'.r-y~  
     PFP/Pe Ng;  
    Ift @/A  
    不同位置的Talbot图样 Q4YIKNN|7  
    g[P.lpi{U  
     _)4YxmK%  
    P%Fkd3e+  
    不同位置的Talbot图样 @S3G>i  
    x50,4J%J'r  
     d1=kHU4_9  
    m @K5eh  
    沿Z轴的强度 f< A@D"m/  
    ?sb Ob  
     #lA8yWxr  
    >eHSbQu/Bu  
    走进VirtualLab Fusion D;@*  
     T~I5W=y  
     [UJC/GtjS  
    CTu#KJ?j  
    VirtualLab Fusion的工作流程 W_z2Fs"A  
    jR/YG ru  
     构建光栅结构 5<-_"/_  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] +J`EBoIo  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] UL0%oJ#  
    5B+>28G%  
     通过参数运行计算不同位置的强度 {Mt4QA5iZ  
    - 参数运行文件的使用 [用例] sS$"6  
    *&VH!K#@{  
    A?{ X5` y  
    "*o54z5"  
    VirtualLab Fusion技术 FI,>v`  
    =*Z=My}3~  
     & i,on6  
       xA;o3Or  
     
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