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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-05-18
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 s$f9?(,.Ay  
    pT+OPOSR  
     L6qK3xa}  
    _G4 U  
    建模任务 +{6:]  
    LmsPS.It  
     8$JJI( {bH  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) -k>k<bDAI  
     4Z{R36 {  
    某一位置的Talbot图样  ]E :L  
    -*&aE~Cs  
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    某一位置的Talbot图样 x=K'Jj  
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    不同位置的Talbot图样 ^|U5@u_  
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    不同位置的Talbot图样 ~P!=fU)  
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    沿Z轴的强度 9*"K+t:  
    ~h+B&F+5  
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    走进VirtualLab Fusion \ X6y".|-  
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    VirtualLab Fusion的工作流程 z __#P Q,n  
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     构建光栅结构 sSiZG  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] ~Wm'~y>  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] Mns=X)/hc  
    E}36  
     通过参数运行计算不同位置的强度 ;%>X+/.y0  
    - 参数运行文件的使用 [用例] %74f6\  
    Ex}TDmTu  
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    #s}tH$MT#  
    VirtualLab Fusion技术  >qI:  
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     LM.#~7jC  
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