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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-05-18
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 p6>Svcc  
    RzE_K'M  
     m Bu  
    +hg3I8q:  
    建模任务 I_} SB|  
    ayR-\mZ  
     1"MhGNynB>  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) 6F!+T=  
     "l3_=Gua  
    某一位置的Talbot图样 Cjm`|~&e+  
    ^}/PGG\~r  
     il4^zj82  
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    某一位置的Talbot图样 h7G"G"  
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    不同位置的Talbot图样 `i3NG1 v0  
    at#ja_ hd  
     6Zm# bFQ  
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    不同位置的Talbot图样 )B"jF>9)[  
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     W <9T0sZ  
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    沿Z轴的强度 rK'L6o  
    BTqS'NuT  
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    走进VirtualLab Fusion S'Q@ScJ  
    oR)Jznmi}  
     6 a(yp3  
    + nrbShV  
    VirtualLab Fusion的工作流程 %a>&5V  
    "h{q#~s  
     构建光栅结构 !E<[JM  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] `x+ B+)0X  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] %". HaI]  
    >,V9H$n  
     通过参数运行计算不同位置的强度 o5Dk:Bw  
    - 参数运行文件的使用 [用例] pA'4|ffwe  
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    t6bV?nc  
    dU&a{ $ku[  
    VirtualLab Fusion技术  ~^NtO  
    .5^cb%B*  
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