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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-05-18
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 7_9+=. +X5  
    ePp[m zg6  
     o 'C~~Vg).  
    <nDNiM#  
    建模任务 tJ=3'?T_k  
    ;asm 0H(  
     F:M>z=  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) R'6@n#:  
     EXA^!/)  
    某一位置的Talbot图样 wgY6D!Y   
    ?gLR<d_  
     zlH28V  
       j~Q}F|i8  
    某一位置的Talbot图样 >M?H79fF2s  
    +7V=aNRlE  
     8y$5oD6g9  
    _ XE;-weE  
    不同位置的Talbot图样 8 AFMn[{  
    Hx$.9'Oq\Q  
     :qxm !P  
    jm+ V$YBP  
    不同位置的Talbot图样 }@d>,1DU  
    `9/0J-7*  
     d9O:,DKf  
    SOVj Eo4'3  
    沿Z轴的强度 6\NvG,8  
    "tqnx?pM  
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