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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-05-18
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 MbRTOH  
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    建模任务 lx:$EJ  
    GmH DG-  
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    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) fN&\8SPE  
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    某一位置的Talbot图样 :<J7g`f  
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    沿Z轴的强度 FzInIif  
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     +{:uPY#1  
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    走进VirtualLab Fusion ]fM|cN8(zM  
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    = lo.LFV  
    VirtualLab Fusion的工作流程 q1}!Okr"2  
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     构建光栅结构 h&0zR#t  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] [^qT?se{  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] jWrU'X  
    hXTfmFy{n  
     通过参数运行计算不同位置的强度 5XKTb  
    - 参数运行文件的使用 [用例] eAy,T<#  
    r: K1PO  
    }S> 4.8  
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    VirtualLab Fusion技术 d[a(u WEl  
    pfN(Ae Pt  
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