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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-05-18
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 syip;;  
    [ofqGwpDG  
     "RVcA",  
    ~[k%oA%W  
    建模任务 gX{loG  
    9dMrgz&'  
      p!Eft/A(  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) nUq<TJ  
     T5Dw0Y6u,  
    某一位置的Talbot图样 iCP/P%  
    =h(W4scgqX  
     4@.|_zY  
       ^\B :R,  
    某一位置的Talbot图样 Pmi#TW3X  
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     ]nhr+;of/-  
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    不同位置的Talbot图样 VL9-NfeqR  
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     XPB9~::  
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    不同位置的Talbot图样 5>J=YLq  
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    WWT",gio  
    沿Z轴的强度 c`x7u}C  
    Ax oD8|  
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    q_ =b<.;  
    走进VirtualLab Fusion ~lEVXea!  
    S' dV>m`  
     5-)#f?  
    tweY'x.{  
    VirtualLab Fusion的工作流程 _WX#a|4h{  
    UZ8?[  
     构建光栅结构 0iCPi)B  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] Gamr6I"K  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] K.gEj*@  
    *%Qn{x  
     通过参数运行计算不同位置的强度  n6F/Ac:  
    - 参数运行文件的使用 [用例] R~bC,`Bh  
    *M7E#bQ5B  
    ~f|Z%&l|  
    "QoQ4r<|  
    VirtualLab Fusion技术 FZB~|3eq{  
    SPj><5Ro  
     {f9{8-W <u  
       .s/fhk,  
     
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