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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2022-05-18
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 '!Sj]+  
    /qp`xJ  
     |fJ,+)_(  
    .:;i*  
    建模任务 nBD7  
    91,\y  
     2 Sr'B;`p  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) +}1]8:>cq  
     eR}d"F4W  
    某一位置的Talbot图样 Y Jv{Z^;M  
    -p)HH@6a  
     )V>FU=  
       u.arkp  
    某一位置的Talbot图样 0P)c)x5  
    &3^40s/+  
     Y#Z&$&n  
    I#mT#xs6  
    不同位置的Talbot图样 OI-%Ig%C#l  
    Z2`e*c-[E  
     Z$pR_dazU  
    D ,)~j6OG8  
    不同位置的Talbot图样 ~f@;.  
    7O{\^Jz1  
     E+01"G<Q  
    0p#36czqy  
    沿Z轴的强度 VJNPs6  
    JhD8.@} b~  
     %] Bb;0G  
    A1Zu^_y'  
    走进VirtualLab Fusion F{}z[0  
    :2?'mKa7  
     7_{x '#7  
    Fq{nc]L6  
    VirtualLab Fusion的工作流程 :4 ;>).  
    ( {8Q=Gh  
     构建光栅结构 l/1uP  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] ;;U2I5 M7  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] YnNei 7R  
    &d*9#?9  
     通过参数运行计算不同位置的强度 \myj Y  
    - 参数运行文件的使用 [用例] |{_%YM($  
    -x RsYYw  
    F-ZD6l9O  
    q|j;dI&  
    VirtualLab Fusion技术 7IvCMb&%R  
    PffwNj/l  
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       L%BWrmg  
     
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