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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2022-05-18
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 y3u+_KY-  
    Fm_y&7._  
     $ <8~k^  
    7%?jL9Vw  
    建模任务 I`(l*U  
    bizTd  
     i+3fhV  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) SlLw{Yb7\.  
     U:6W+p8  
    某一位置的Talbot图样 MTGiAFE  
    D#A~Nbc  
     YV4#%I!<  
       Scm36sT{  
    某一位置的Talbot图样 P>Euq'ajX  
    C#;jYBtT7?  
     ?jQ](i&  
    %#L]]-%  
    不同位置的Talbot图样 FbnO/! $8  
    nP~({ :l8X  
     iZ3W"Vd`b  
    {%v-(  
    不同位置的Talbot图样 dx*qb  
    PYRd] %X  
     'V+dBt3  
    o'<^LYSnB  
    沿Z轴的强度 R #]jSiS  
    R =Ws#'  
     nfW&1a  
    ^04Q%,  
    走进VirtualLab Fusion V(MFna)  
    $eV$2p3H  
     -F"Q EL#  
    EVX{ 7%  
    VirtualLab Fusion的工作流程 p R dk>Ph  
    vzel#  
     构建光栅结构 SQ,?N XZ  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] [OTJVpC  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] 0n~Zz  
    ?;YC'bF  
     通过参数运行计算不同位置的强度 GsbAlNP  
    - 参数运行文件的使用 [用例] F["wD O  
    1pv}]&X  
    @=]~\[e\  
    ;VO.!5W@eg  
    VirtualLab Fusion技术 a9zw)A  
    2-zT$`[]J  
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       @''GPL@  
     
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