切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 《杂散光抑制与评估技术》 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) 光学设计与光学元件
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 现代光学设计及应用(Zemax) CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 1622阅读
    • 0回复

    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    7184
    光币
    30061
    光券
    0
    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2022-05-18
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 ~fF }  
    OT& E)eR  
     1b7xw#gLx  
    sKuTG93sr@  
    建模任务 Uaj=}p\+.p  
    '*XNgvX  
     p<zXuocQ  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) i-FUAR  
     iXm||?Rnx  
    某一位置的Talbot图样 !TOi]`vqc  
    B R:  
     N39nJqo>"  
        mo,l`UL  
    某一位置的Talbot图样 P\mm8s`f  
    W^ :/0WR  
     ?Bzi#Z  
    a-E-hX2  
    不同位置的Talbot图样 !:<UgbiVv  
    VqL 5f  
     W|#ev*'F  
    |{PJT#W%  
    不同位置的Talbot图样 CdDd+h8  
    _0*>I1F~  
     YU=ZZEVi  
    `,Nn4  
    沿Z轴的强度 M#cr*%  
    6lWFxbh  
     0c61q Q6  
    o$ce1LO?|N  
    走进VirtualLab Fusion DjzUH{6O  
    @5jG  
     8}{o2r@  
    S9NN.dKu  
    VirtualLab Fusion的工作流程 T4=3VrS  
    =_=Z;#`cXk  
     构建光栅结构 06^1#M$'  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] _Hu2[lV  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] !Gp3/<"Wy$  
    bfJ`}xl(8  
     通过参数运行计算不同位置的强度 q83~j `ZJ$  
    - 参数运行文件的使用 [用例] U[QD!  
    ix9HSa{d  
    PGPbpl&\t  
    `f+8WPJPZ  
    VirtualLab Fusion技术 [-t> G!)  
    ~BvY8\@B  
     T_x+sv=|X!  
       K@P`_yxN  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表