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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2022-05-18
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 $y&W:  
    G{]RC^Zo  
     IdN3Ea]  
    r5N TTc  
    建模任务 %~x?C4L8  
    }6!/Nb  
     *Z^`H!&  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) Zp3-Yo w2  
     M:GpyE%  
    某一位置的Talbot图样 ]95VM yN  
    Rx&O}>"E>l  
     nH&z4-1Y?  
       Ht4O5yl"  
    某一位置的Talbot图样 :CW^$Zvq  
    Vy I\Jmr  
     n0T|U  
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    不同位置的Talbot图样 &>C+5`bg  
    [U/h'A.j  
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    不同位置的Talbot图样 a`n)aXU l  
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    Gmi? xGn  
    沿Z轴的强度 Y&j`HO8f  
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