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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2022-05-18
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 13=.H5  
    kn"(A .R  
     t@Nyr&|D  
    XEZF{lP  
    建模任务 4X(H ;  
    y<bDTeoo  
     SG4%}wn%  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) [R7Y}k:9U  
     r{%qf;  
    某一位置的Talbot图样 M+9gL3W  
    xpx\=iAe  
     }I6vqG  
       f.`*Qg L  
    某一位置的Talbot图样 qXjxNrK  
    QS]1daMIK<  
     nL.<[]r  
    +|>kCtZH%  
    不同位置的Talbot图样 Q({ r@*g  
    _Z,\Vw:\F  
     O|N{ v"o  
    Y]u+\y~  
    不同位置的Talbot图样 `P;s 8~  
    E'.7xDN  
     )M//l1  
    DXK}-4"\  
    沿Z轴的强度 A:9?ZI/X  
    ~PahoRS  
     {Z5nGG  
    2oRg 2R}  
    走进VirtualLab Fusion X<; f  
    ,V:SN~P66+  
     ([LSsZ]sj  
    df#$ 9 -  
    VirtualLab Fusion的工作流程 -701j'q{  
    o"BoZsMk  
     构建光栅结构 {9aE5kR  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] pDCeQ6?  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] kO*$"w#X[p  
    KC#q@InK  
     通过参数运行计算不同位置的强度 D^3vr2  
    - 参数运行文件的使用 [用例] dIBE!4 V[  
    w+E,INd i  
    s)Cjc.Qs  
    TNh1hhJ$b  
    VirtualLab Fusion技术 W+X6@/BO  
    9dUravC7  
     :#?5X|Gz  
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