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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-05-18
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 $oDc  
    O3 x9S,1i  
     (_Ph{IN  
    }(FF^Mh  
    建模任务 >cpT_M&C,  
    I!Z=3 $,  
     =ss(~[  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) leR-oeSO  
     CC"}aV5  
    某一位置的Talbot图样 R6eKI,y\"  
    +-"uJIwMD  
     Y=6569U2  
       Gl; xd  
    某一位置的Talbot图样 <A@}C+  
    z0!k  
     .z0NMmz0z  
    ~}Xd{afo  
    不同位置的Talbot图样 J[ ;g \  
    N hG?@N  
     [ *P~\' U  
    PuO5@SP~  
    不同位置的Talbot图样 %wil'  
    W2yNwB+{  
     &UrPb%=2H  
    2 zE gAc  
    沿Z轴的强度 gV~_m  
    BRSI g]  
     6,Z.R T{5  
    ,! b9  
    走进VirtualLab Fusion Y2$wL9">  
    BLaF++Fop  
     S(2_s,J^  
     /dI8o  
    VirtualLab Fusion的工作流程 7! sR%h5p  
    u0;k_6N  
     构建光栅结构 `@3{}  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] @V}!elV  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] 6K7DZ96L  
    _|jEuif  
     通过参数运行计算不同位置的强度 7H])2:)  
    - 参数运行文件的使用 [用例] V |cPAT%  
    n?(sn  
    h~`^H9?M  
    mE"(d*fe'  
    VirtualLab Fusion技术 4++ &P9  
    "UYlC0 S\  
     TTagZI$  
       &v)/mc7D  
     
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