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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-05-18
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 &AeNrtGu  
    MwQt/Qv=  
     {+{p.  
    %`lJAW[  
    建模任务 $II ~tO  
    7D 3-/_v  
     rADzJ#CU \  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) DC BN89#  
     eMV8`&c'  
    某一位置的Talbot图样 H;tE=  
    BjTgZ98J  
     ^Ojg}'.Ygv  
       6<5:m:KE  
    某一位置的Talbot图样 4 540Lw'A  
    v*As:;D_  
     ~>0H k}Hv  
    ){eQ.yW  
    不同位置的Talbot图样 Nx*1m BC  
    W*(- * \1[  
     61gyx6v  
    @}{uibLD\  
    不同位置的Talbot图样 iG~&uEAJ  
    #QSSpsF@  
     bt.3#aj  
    9~a5R]x2  
    沿Z轴的强度 kG}F/GN?  
    Vwjic2lGI  
     OpIeo+^X*  
    r[GH#vF;7  
    走进VirtualLab Fusion 3qH1\  
    B J I N  
     asmu<  
    vo&h6'i>7  
    VirtualLab Fusion的工作流程 >w.%KVBJ  
    3=Rk(%:;  
     构建光栅结构 \M0's&1(  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] !su773vo  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] OZ"76|H1`  
    BTG_c_ ?]e  
     通过参数运行计算不同位置的强度 m9&%A0  
    - 参数运行文件的使用 [用例] 0E (G1o'  
    YH^@8   
    E:PPb9Kd  
    =d:3]M^  
    VirtualLab Fusion技术 u3wd~.  
    #,XZ@u+  
     2*Pk1 vrI  
       "sY}@Q7  
     
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