切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 Zemax光学设计从基础到实践 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) ZEMAX光学系统设计实战
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 光学设计与光学元件 CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    • 1061阅读
    • 0回复

    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    在线infotek
    科学家
     
    发帖
    5937
    光币
    23838
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-05-18
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 O&'/J8  
    lLCdmxbT  
     bx>i6 R2  
    o:UXPAj  
    建模任务 te'*<HM  
    %-j&e44  
     wPnybb{  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) %MJ;Q?KB  
     LC-)'Z9}5  
    某一位置的Talbot图样 T~s}Nx#  
    3k' .(P|F  
     Gzm$OHbn  
       84M3c  
    某一位置的Talbot图样 & iSD/W  
    =nVmthGw  
     (~()RkT  
    5 =Z!hQ}  
    不同位置的Talbot图样 \FifzKA  
    Jps .;yjk  
     }.{}A(^YR  
    :'*DMW~  
    不同位置的Talbot图样 ?63&g{vA  
    Coa-8j*R7  
     @GG ccF  
    $(q8y/,R*-  
    沿Z轴的强度 D;js.ZF  
    /cY^]VLe  
     hI~SAd ,#A  
    @vs@>CYdz  
    走进VirtualLab Fusion {L0;{  
    G|9B )`S  
     (wA?;]q(  
    !T'X 'Q  
    VirtualLab Fusion的工作流程 ZBc|438[  
    ]k+m=OR{/  
     构建光栅结构 2u:4$x8  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] "=|t~`  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] +?d}7zh  
    dr })-R  
     通过参数运行计算不同位置的强度 OVswt  
    - 参数运行文件的使用 [用例] nNn56&N]  
    e.;M.8N#SQ  
    t(?<#KUB-  
    `ROEV~  
    VirtualLab Fusion技术 N z~" vi(t  
    &" h]y?Q  
     {}\CL#~y  
       `Q%NSU?  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表