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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-05-18
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 5V]!xi  
    v:|_!+g:  
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    建模任务 M*$#j|  
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     `B-jwVrN(  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) 7a\at)q/y  
     gd#+N]C_  
    某一位置的Talbot图样 !W^P|:Qt  
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    不同位置的Talbot图样 D?A3p6%  
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    不同位置的Talbot图样 SI\ O>a 9{  
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    J;wDvt]]1  
    沿Z轴的强度 :< X&y  
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    走进VirtualLab Fusion 1K\z amBg  
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    DsX+/)d  
    VirtualLab Fusion的工作流程 s`#g<_{X  
    "d"6.ND  
     构建光栅结构 8GlRO4yd  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] oDW)2*8yF  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例]  |pgrR7G'  
    uSQRI9/ir2  
     通过参数运行计算不同位置的强度 *{<46 0`!q  
    - 参数运行文件的使用 [用例] b@X+vW{S  
    gUGMoXSTI|  
    :yxP3e%rp  
    !KC4[;Y  
    VirtualLab Fusion技术 Y+)qb);  
    T\v~"pMu*0  
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