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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-05-18
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 .jU9{;[  
    Uka 4iya  
     $8)/4P?OL  
    `XQ5>c  
    建模任务 _19k@a  
    'J}lnt[V  
      `S|gfJ  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) #,sJd^uI  
     W+vm!7wX0  
    某一位置的Talbot图样 $HRpG  
    +t f=  
     w}iflAnjq  
       %o-*~GQ@B  
    某一位置的Talbot图样 A<&9   
    x =k$^V~  
     `?:'_K i  
    BLRrHaX0  
    不同位置的Talbot图样 %2.T1X%!  
    :}lE@Y,R   
     rqIt}(J  
    +x1sV*S  
    不同位置的Talbot图样 J0`?g6aY  
     Cfi5r|S  
     =~)n,5  
    C/XOI >  
    沿Z轴的强度 Tb[GZ,/%;  
    V}("8L  
      /Wa+mp  
    #Xc~3rg9  
    走进VirtualLab Fusion "H({kmR  
    $8s&=OW  
     ^m~=<4eX  
    z}5XLa^  
    VirtualLab Fusion的工作流程 rpvm].4  
    (HEjmQjE  
     构建光栅结构 = #`FXO1C  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] Cs$g]&a  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] 8n56rOW!  
    .]" o-(gB  
     通过参数运行计算不同位置的强度 /a,q4tD@  
    - 参数运行文件的使用 [用例] TZ/u"' ZS  
    &CS=*)>$  
    te`4*t  
    pG (8VteH  
    VirtualLab Fusion技术 - na]P3 s  
    )TxhJB5|  
     =Ij;I~  
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