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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-05-18
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 V^9%+L+E5  
    ZZ0b!{qj3  
     ER]C;DYX  
    b;mpZ|T.  
    建模任务 NlG!_D"(y  
    qP%[ nY  
     l_q1h]/   
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) 6l>016 x  
     9fSX=PVRmQ  
    某一位置的Talbot图样 *i7-_pT  
    Zr\G=0`  
     c$hoqi |tD  
       {\!@ k\__  
    某一位置的Talbot图样 x4_FG{AIu  
    exm*p/  
     \HJt}  
    }<P%W~  
    不同位置的Talbot图样 rlDJHR6  
    {-5 b[m(  
     );F /P0P  
    ZcN%F)htm  
    不同位置的Talbot图样 Q F_K^(  
    MES|iB  
     w\.z-6G  
    @2$iFZq~  
    沿Z轴的强度 vC5 (  
    Cd'SPaR  
     J&b&*3   
    xF9PjnWF=  
    走进VirtualLab Fusion Tq.%_/@M<  
    PmE2T\{s!  
     m4T` Tg#P  
    !}uev  
    VirtualLab Fusion的工作流程 pe@/tO&I  
    h<2O+"^  
     构建光栅结构 ^Ul *Nm  
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    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] W r;?t!  
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