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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-05-18
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 9tW=9<E  
    n]/7UH}(<&  
      xZ*.@Pkr  
    ?lh `>v  
    建模任务 ddDl~&}o  
    \\F@_nB,b  
     < c[+60p"  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) AwhXCq|k  
     ,cR=W|6cQm  
    某一位置的Talbot图样 hhTM-D1Ehs  
    ZiBTe,;  
     Z|YiYQl[)  
       n\Z& sc  
    某一位置的Talbot图样 cxhS*"Ph  
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    不同位置的Talbot图样 lNcXBtwK@#  
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    不同位置的Talbot图样 yq{k:)  
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    沿Z轴的强度 r-#23iT.~  
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    走进VirtualLab Fusion x)M=_u2 _  
    K)|#FRPM u  
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     构建光栅结构 %,u_ `P  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] IS; F9{  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] ,LjB%f[  
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     通过参数运行计算不同位置的强度 X G fLi  
    - 参数运行文件的使用 [用例] $`:/O A<.  
    S0V%JY;Gv  
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    VirtualLab Fusion技术 _w+ix9Fr?  
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