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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-05-18
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 e }Mf  
    njc-=o  
     bksv2@ar  
    yeI> b 1>Q  
    建模任务 3vs{*T"  
    +Bf?35LP  
     N;`/>R4|I  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) kuI~lBWI  
     wRvh/{xB  
    某一位置的Talbot图样 9Pb6Z}  
    p$t|eu  
     57~y 7/0  
       o_1N "o%  
    某一位置的Talbot图样 Mj{w/'  
    W=#AfPi$&  
     ?-zuy US  
    ZfH +Iqd  
    不同位置的Talbot图样 R_O=WmD  
    ^)wKS]BQ..  
     0k#7LubWZl  
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    不同位置的Talbot图样 Wqkzj^;"G  
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    B>W8pZu-J  
    沿Z轴的强度 drMMf[  
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     9b&|'BBW  
    D<m0G]Ht*  
    走进VirtualLab Fusion LFI#wGhXVk  
    fZezDm(Q  
     \ )=WA!  
    cT(6>@9@  
    VirtualLab Fusion的工作流程 WR3,woo  
    > 1(J  
     构建光栅结构 V"Z8-u  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] V^,eW!  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] 0'Si ^>bW  
    NJ)Dw`|%|)  
     通过参数运行计算不同位置的强度 MoE&)~0u&  
    - 参数运行文件的使用 [用例] Bb:C^CHIQm  
    F~8'3!<9  
    fz\Q>u'T  
    h~m,0nGO  
    VirtualLab Fusion技术 b,^Gj]7  
    J09jBQ] R  
     X%+lgm+  
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