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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-05-18
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 V~ -<VM6  
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    建模任务  Qj(q)!Ku  
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    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) %v=z|d5-3  
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    某一位置的Talbot图样 v  P8.{$  
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    沿Z轴的强度 @$'k1f(u>  
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    走进VirtualLab Fusion HHu|X`tc  
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    VirtualLab Fusion的工作流程 0eq="|n^|  
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     构建光栅结构 K(RG:e~R0i  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] [*zB vj}G  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] A-<\?13uW  
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     通过参数运行计算不同位置的强度 i/;Ql, gm  
    - 参数运行文件的使用 [用例] KK" uSC  
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    VirtualLab Fusion技术 >mRA|0$  
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