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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-05-18
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 8j%'9vPi  
    9)+@0fG)  
     -hWC_X:9jP  
    BQ#3QL't  
    建模任务 _\.{6""  
    7+}JgUh  
     c-kA^z{f  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) Ln. 9|9  
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    某一位置的Talbot图样 ~-TOsRvxR  
    +t98 @  
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    某一位置的Talbot图样 f1mHN7hxW  
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     jd 1jG2=f  
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    不同位置的Talbot图样 G?`-]FMO  
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    不同位置的Talbot图样 u%u&F^y  
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     FJeiY#us  
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    沿Z轴的强度 s~^}F+n  
    m:uPEpcU  
     [dB$U}SEj  
    k$N0lR4:p  
    走进VirtualLab Fusion  c 6"Ib)  
    ^s&W>hTX:  
     ~S*b  
    |a-fE]{7  
    VirtualLab Fusion的工作流程 ZF6c{~D  
    @MiH(.Dq  
     构建光栅结构 HeLG?6  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] "Y;}G lE  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] Qd]we$ G  
    _V2xA88  
     通过参数运行计算不同位置的强度 s$w;q\1z  
    - 参数运行文件的使用 [用例] 3BdX  
    ;),"M{"v  
    ^{F_ a  
    "l7NWqfB  
    VirtualLab Fusion技术 h|D0z_f  
    f>2MI4nMG  
     X(@uwX$m  
       /@"Y^  
     
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